TAILIEUCHUNG - MEMS and Microstructures in Aerospace Applications - Robert Osiander et al (Eds) Part 3

Tham khảo tài liệu 'mems and microstructures in aerospace applications - robert osiander et al (eds) part 3', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | MEMS Fabrication 43 TABLE Common Crystalline Silicon Etchants Selectivity and Etch Rates Etchant Etch Rate 18HF 4HNO3 3Si 2H2SiF6 4NO 8H2O Si H2O 2KOH K2SiO3 2H2 Ethylene diamine pyrocatechol EDP Tetramethylammonium hydroxide TMAH Nonselective 100 m min 111 m min SiO2 m min SiN4 not etched 100 m min 1 1 1 m min SiO2 m min SiN4 m min 100 m min 111 m min SiO2 m min SiN4 m min BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB Single Crystal Silicon a Implant Boron in Single Crystal Silicon wafer SiO2 Mask 100 BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB b Deposit and Pattern Silicon Dioxide Etch Mask BBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB c KOH Etch FIGURE Boron-doped silicon used to form features or an etch stop. 2006 by Taylor Francis Group LLC 44 MEMS and Microstructures in Aerospace Applications b Completed Structure FIGURE Electrochemical etch stop process schematic. flow necessary for the reaction to occur. The p-n junction can be formed on a p-type silicon wafer with an n-type region diffused or implanted with an n-type dopant . phosphorus arsenic to a prescribed depth. With the p-n junction reverse biased the p-type silicon will be etched because a protective oxide layer cannot be formed and the etch will stop on the n-type material. Plasma Etching Plasma etching offers a number of advantages compared to wet etching Easy to start and stop the etch process Repeatable etch process Anisotropic etches Few particulates Plasma etching includes a large variety of etch processes and associated chemistries that involve varying amounts of physical and chemical attack. The plasma provides a flux of ions radicals electrons and neutral particles to the surface to be etched. Ions produce both physical and chemical attack of the surface and the radicals contribute to chemical attack. 2006 by Taylor Francis Group LLC MEMS Fabrication 45 The details and types of etch chemistries involved in plasma etching are varied and quite complex. This topic .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp