TAILIEUCHUNG - The MEMS Handbook (1st Ed) - M. Gad el Hak Part 10

Tham khảo tài liệu 'the mems handbook (1st ed) - m. gad el hak part 10', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Other less obvious competing technologies for LIGA-like applications are ion-beam milling laser ablation methods and even ultra-precision machining see Madou 1997 chap. 7 . The latter three are serial processes and rather slow but if we are considering making a mold then these technologies might be competitive. References Akkaraju S. Y. M. Desta B. Q. Li and M. C. Murphy A LIGA-Based Family of Tips for Scanning Probe Applications SPIE Microlithography and Metrology in Micromachining II Austin TX 1996 pp. 191-198. Anderer B. W. Ehrfeld and D. Munchmeyer Development of a 10-Channel Wavelength Division Multiplexer Demultiplexer Fabricated by an X-Ray Micromachining Process SPIE 1014 17-24 1988. Becker E. W. W. Ehrfeld D. Munchmeyer H. Betz A. Heuberger S. Pongratz W. Glashauser H. J. Michel and V. R. Siemens Production of Separation Nozzle Systems for Uranium Enrichement by a Combination of X-Ray Lithography and Galvanoplastics Naturwissenschaften 69 520-523 1982. Becker E. W. W. Ehrfeld and D. Munchmeyer Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Ront-gentiefenlitographie mit Synchrotonstrahlung KfK Report No. 3732 Karlsruhe Germany 1984. Becker E. W. W. Ehrfeld P. Hagmann A. Maner and D. Munchmeyer Fabrication of Microstructures with High Aspect Ratios and Great Structural Heights by Synchrotron Radiation Lithography Galvanoforming and Plastic Molding LIGA process Microelectron. Eng. 4 35-56 1986. Bley P. J. Gottert M. Harmening M. Himmelhaus W. Menz J. Mohr C. Muller and U. Wallrabe The LIGA Process for the Fabrication of Micromechanical and Microoptical Components in Microsystem Technologies 91 Krahn R. and Reichl H. Eds. VDE-Verlag Berlin 1991 pp. 302-314. Bley P. W. Menz W. Bacher K. Feit M. Harmening H. Hein J. Mohr W. K. Schomburg and W. Stark Application of the LIGA Process in Fabrication of Three-Dimensional Mechanical Microstructures 4th International Symposium on MicroProcess Conference Kanazawa Japan 1991 pp. 384- 389. Bley P. D. Einfeld W. Menz and H.

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp