Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Khoa Học Tự Nhiên
Hoá học
Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng
TAILIEUCHUNG - Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng
Màng kim cương được nuôi trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng công suất 1,3KV. Nhiệt độ của đế là 700 độ C áp suất buồng phản ứng là 50 Torr, thời gian nuôi kéo dài 5g. Mâm tạo màng kim cương là bột kim cương được lắng đọng trên đế Si bằng phương pháp rung siêu âm. Kết quả cho thấy vai trò quan trọng của quá trình tạo màng kim cương rất quan trọng. Ảnh đo SEM chỉ ra rằng màng kim cương mọc trên đế Si được rửa sạch sau khi rung siêu âm với bột kim cương có độ đồng đều về các hạt tốt hơn. Cửa sổ kim cương đã được chế tạo bằng cách ăn mòn ướt để Si có diện tích cỡ 1cm với chiều dày khoảng 15Mm. Các phép đo về cấu trúc và tính chất quang của cửa sổ kim cương sẽ được trình bày trong bài viết này. | HỘI NGHỊ VẬT LÝ CHẤT RÁN TOÀN QUÓC LÀN THỨ 5 - Vũng Tàu 12-14 11 2007 KÉT QUẢ BƯỚC ĐẦU NGHIÊN cứu CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO CỬA SÒ KIM CƯƠNG TREN ĐÉ Si BẰNG PHƯƠNG PHÁP LANG ĐỌNG HOÁ HỌC SỬ DỤNG PLASMA VI SÓNG Nguyễn Đức Dũng Ngô Thi Thanh Tâm Nguyễn Ngọc Khoái Phan Ngọc Hồng Phan Ngọc Minh Phòng thí nghiệm trọng điểm Quổc Gia về Vật liệu và phòng Linh kiện điện tử Viện Khoa học Vật liệu Viện Khoa học và Cồng nghệ Việt Nam 18 Hoàng Quểc Việt cầu Giấy Hà Nội E-maik tamngo@ TÓM TÁT Màng kim cương được nuôi trên để Si bằng phương pháp lắng đọng hoá học sử dụng plasma vi sóng Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition MP-CVD công suất 1 3 KW. Nhiệt độ của đế là 700 C ảp suất buồng phàn ứng là 50 Torr thời gian nuôi kéo dài 5 giờ. Mầm tạo màng kim cương là bột kim cương được lẳng đọng trên để Si bằng phương phảp rung siêu âm. Kết quà cho thây vai trò của mầm trong quá trình tạo màng kim cương rât quan trọng. Ành đo SEM chì ra răng màng kim cương mọc trên đế Si được rửa sạch sau khi rung siêu âm vởi bột kim cương có độ đồng đều về các hạt tốt hơn. Cừa sồ kim cương đã được chế tạo bàng cách ăn mòn ướt đế Si cỏ diện tích cỡ 1 cm2 với chiều dày khoảng 15 ụm. Các phép đo về cấu trúc và tính chất quang cùa cửa sổ kim cương sẽ được trình bày trong bảo cảo. MỎ ĐÀU Màng mòng kim cương được ứng dụng trong công nghệ chế tạo các hệ vi điện tử do các đặc tính quí báu như độ cứng rẩt cao điện trở suất lớn có khà năng truyền ảnh sáng hồng ngoại và chịu đựng được hoá chất. Do có tính dẫn nhiệt tốt màng mòng kim cương còn là vật liệu lý tưởng làm môi trường tản nhiệt trong các linh kiện điện tử công suất lớn. Trong công nghệ chế tạo màng kim cương việc nghiên cứu vai trò cùa mầm nuôi cơ chế mọc màng kim cương đang còn là vấn đề thời sự cần nghiên cứu kỹ. Mẩm nuôi có ảnh hưởng quyết định tới tính chẩt cùa màng kim cương như hình thái học độ đồng đều độ bám dính của màng đối với đế mang 1- 3 . Báo cáo này trình bày một số kểt quà nghiên cứu vai trò của mầm nuôi trong quả trình mọc
Thúy Mai
81
3
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Ngân hàng câu hỏi ôn tập môn học công nghệ chế tạo máy
24
453
23
Đề thi trắc nghiệm: Công nghệ chế tạo máy có lời giải
39
1490
231
Chương trình đào tạo Công nghệ chế tạo máy
16
249
0
Đồ án Công nghệ chế tạo máy ”Thiết kế qui trình công nghệ chế tạo chi tiết đòn quay gạt số ”
36
210
2
Giáo trình công nghệ chế tạo máy part 1 - Phạm Ngọc Dũng, Nguyễn Quang Hưng
1
262
5
Giáo trình công nghệ chế tạo máy part 2 - Phạm Ngọc Dũng , Nguyễn Quang Hưng
1
192
4
Giáo trình công nghệ chế tạo máy part 3 - Phạm Ngọc Dũng, Nguyễn Quang Hưng
1
240
8
Giáo trình công nghệ chế tạo máy part 4 - Phạm Ngọc Dũng, Nguyễn Quang Hưng
1
216
3
Giáo trình công nghệ chế tạo máy part 5 - Phạm Ngọc Dũng, Nguyễn Quang Hưng
1
182
1
Giáo trình công nghệ chế tạo máy part 6 - Phạm Ngọc Dũng, Nguyễn Quang Hưng
1
160
1
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
461869
55
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
22655
59
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10896
529
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10068
446
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9524
104
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8287
1125
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8241
423
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7865
2220
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6689
253
Vật lý hạt cơ bản (1)
29
5774
85
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Hoá học
Công nghệ chế tạo
Phương pháp lắng đọng hóa học
Plasma vi sóng
Màng kim cương
Công nghệ hóa học
Công nghệ chế tạo máy
Bài tập công nghệ chế tạo máy
Giáo trình công nghệ chế tạo máy
bài giảng công nghệ chế tạo máy
Tài liệu công nghệ chế tạo máy
Đề cương công nghệ chế tạo máy
Đề thi Công nghệ chế tạo máy
Trắc nghiệm Công nghệ chế tạo máy
Công nghệ chế tạo máy có lời giải
Ôn thi Công nghệ chế tạo máy
Ôn tập Công nghệ chế tạo máy
Câu hỏi Công nghệ chế tạo máy
Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
Chương trình đào tạo chế tạo máy
Hướng dẫn đào tạo chế tạo máy
Ngành công nghệ chế tạo máy
Vấn đề đào tạo ngành chế tạo máy
Đồ án công nghệ chế tạo máy
Thiết kế đồ án chế tạo máy
Kỹ thuật chế tạo máy
Thiết kế quy trình công nghệ
Quy trình công nghệ chế tạo máy
Đồ án chế tạo máy
Đề cương Công nghệ chế tạo máy 2
Môn Công nghệ chế tạo máy 2
Công nghệ chế tạo máy 2
Chế tạo máy 2
Bài tập Công nghệ chế tạo máy 2
Quy trình công nghệ
Gia công chế tạo máy
Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
Hệ thống cơ khí chế tạo máy
Công nghệ cơ khí
Giáo trình chế tạo máy
Bài giảng chế tạo máy
Tài liệu công nghệ chế tạo
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Giáo án mầm non chương trình đổi mới: Đề tài: Ôn xác định vị trí trên – dưới, trước- sau của đối tượng khác.
8
353
3
27-04-2024
Mass Transfer in Multiphase Systems and its Applications Part 19
40
256
1
27-04-2024
Trading Strategies Profit Making Techniques For Stock_3
23
184
0
27-04-2024
Báo cáo nghiên cứu khoa học " KẾT QUẢ NGHIÊN CỨU BƯỚC ĐẦU VỀ THIÊN ĐỊCH CHÂN KHỚP TRÊN CÂY THANH TRÀ Ở THỪA THIÊN HUẾ "
7
175
0
27-04-2024
THE ANTHROPOLOGY OF ONLINE COMMUNITIES BY Samuel M.Wilson and Leighton C. Peterson
19
146
0
27-04-2024
Giáo trình CẤU TRÚC DỮ LIỆU VÀ GIẢI THUẬT - Chương 1
5
126
0
27-04-2024
QUẢN LÝ CHẤT LƯỢNG KHÔNG KHÍ
75
138
0
27-04-2024
Diseases of the Liver and Biliary System - part 1
33
125
0
27-04-2024
báo cáo hóa học:" Rare ligamentum flavum cyst causing incapacitating lumbar spinal stenosis: Experience with 3 Chinese patients"
4
96
0
27-04-2024
GIÁO TRÌNH VI XỬ LÝ 1 - CHƯƠNG 5. LẬP TRÌNH CHO VI ĐIỀU KHIỂN 80C51
23
107
1
27-04-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7865
2220
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5744
1368
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
3768
1231
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5323
1136
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8287
1125
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3501
643
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10896
529
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3687
525
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4054
516
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4130
480
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.