TAILIEUCHUNG - Mems

Technologies et applications des microsystèmes optiques | Dossier MEMS Technologies et applications des microsystèmes optiques Les technologies de microfabrication héritées de la microélectronique offrent un large panorama de possibilités pour la réalisation des microsystèmes comportant des fonctions optiques. Ces technologies ont d abord été développées pour le domaine des MEMS micro electro mechanical systems. puis des fonctions optiques ont été ajoutées il s agit alors de MOEMS pour micro electro mechanical systems et diverses applications ont été démontrées. Des investissements importants ont été récemment réalisés dans ce domaine en particulier pour des applications aux communications par fibres optiques. Cependant ces microsystèmes peuvent trouver des débouchés dans tous les domaines en particulier dans celui des capteurs. d attaque et défini par photolithographie l attaque chimique fait apparaître des plans bien déterminés ce qui permet d obtenir des formes définies avec grande précision dans l épaisseur du substrat. Les plans cristallins obtenus peuvent avoir de bonnes qualités optiques et éventuellement servir comme miroirs. Cependant comme les formes produites sont limitées par des plans cristallins il n est pas possible d obtenir une forme géométrique arbitraire. Une application populaire de cette technologie est la production de rainures en V servant de supports de précision aux fibres optiques. Des rainures en V permettant d assurer le positionnement vertical enterrage du cœur d une fibre optique avec un décalage de 0 6 pm 0 3 pm par rapport à la cote visée ont ainsi été réalisées à l IMFC. Les technologies de base de microfabrication Les technologies modernes de microfabrication sont essentiellement basées sur la photolithographie. Grâce à un masque la photolithographie permet de définir par projection des formes géométriques planes avec une précision de l ordre du micromètre. Ces formes sont ensuite utilisées comme base pour réaliser des formes tridimensionnelles par enlèvement ou par apport de matière. La

• Tự động hoá
• Tự động hóa
• Điện – điện tử
• Cơ khí chế tạo máy
• Kiến trúc xây dựng
• kỹ thuật viễn thông
• Bài giảng Tự động hóa
• Tự động hóa quá trình sản xuất
• Tự động hóa quá trình lắp ráp
• Định vị chi tiết
• Lắp ráp tự động
• Xác định chế độ lắp ráp tự động
• Ứng dụng Robot trong lắp ráp tự động
• tự động hóa trong xây dựng
• giáo trình tự động hóa trong xây dựng
• bài giảng tự động hóa trong xây dựng
• tài liệu tự động hóa trong xây dựng
• lý thuyết tự động hóa trong xây dựng
• hệ thống tự động hóa trong xây dựng
• Giáo trình Tự động hóa
• Tự động hóa trong hệ thống điện
• Tài liệu tự động hóa
• Tìm hiểu tự động hóa hệ thống điện
• Khái niệm tự động hóa
• Lịch sử tự động hóa
• Sửa chữa thiết bị tự động hóa
• Thiết bị tự động hóa
• Giáo trình Lắp đặt thiết bị đo lường tự động hóa
• Lắp đặt thiết bị đo lường tự động hóa
• Thiết bị đo lường tự động hóa
• Dầu bôi trơn
• đề cương tự động hóa
• phương pháp tự động hóa
• Hệ thống tự động hóa
• Tự động hóa trong quá trình sản xuất
• Hệ thống điều khiển tự động
• Tự động hóa quá trình cắt phôi
• Tự động hóa quá trình kiểm tra
• Tự động điều khiển máy móc
• Tự động hóa quá trình công nghệ
• Lý thuyết điều khiển tự động
• Hệ thống rửa xe tự động
• Đồ án tự động hóa
• Hệ thống tự động
• Kiểm tra tự động
• Thiết bị phân loại tự động
• Hệ thống sản xuất tự động hóa
• lập trình tự động hóa
• tài liệu lập trình tự động hóa
• hướng dẫn lập trình tự động hóa
• phương pháp lập trình tự động hóa
• kinh nghiệm lập trình tự động hóa