Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Khoa Học Tự Nhiên
Vật lý
Báo cáo Phương pháp phún xạ magnetron trong chế tạo màng mỏng
TAILIEUCHUNG - Báo cáo Phương pháp phún xạ magnetron trong chế tạo màng mỏng
Phún xạ là kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên nguyên lý truyền động năng bằng cách dùng các iôn khí hiếm được tăng tốc dưới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguyên tử này bay về phía đế và lắng đọng trên đế. Để tìm hiểu sâu hơn về vấn đề này mời các bạn tham khảo "Báo cáo Phương pháp phún xạ magnetron trong chế tạo màng mỏng". | TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN KHOA VẬT LÝ BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON TRONG CHẾ TẠO MÀNG MỎNG GVHD : PGS. TS. Lê Văn Hiếu HVTH : Phạm Văn Thịnh MÔN : VẬT LÝ PLASMA Địa chỉ bạn đã tải: Nơi bạn có thể thảo luận: Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: Dự án dịch học liệu mở: Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@ Gmail: frbwrthes@ Ar+ Đế BIA I. Khái niệm về phún xạ Phún xạ(Sputtering) là kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên nguyên lý truyền động năng bằng cách dùng các iôn khí hiếm được tăng tốc dưới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguyên tử này bay về phía đế và lắng đọng trên đế. Bản chất quá trình phún xạ - Quá trình phún xạ là quá trình truyền động năng. II. CÁC LOẠI PHÚN XẠ 1. Phún xạ phóng điện một chiều (DC discharge sputtering) 2. Phún xạ phóng điện xoay chiều (RF discharge sputtering) 3. Phún xạ magnetron 4. Các cấu hình phún xạ khác 1. Phún xạ phóng điện một chiều (DC discharge sputtering) Là kỹ thuật phún xạ sử dụng hiệu điện thế một chiều để gia tốc cho các iôn khí hiếm. Bia vật liệu (tuỳ thuộc vào thiết bị mà diện tích của bia nằm trong khoảng từ 10 đến vài trăm centimet vuông) được đặt trên điện cực âm (catốt) trong chuông chân không được hút chân không cao, sau đó nạp đầy bởi khí hiếm (thường là Ar hoặc He.) với áp suất thấp (cỡ 10-2 mbar) Sơ đồ hệ phóng điện cao áp một chiều (DC-sputter) 2. Phún xạ phóng điện xoay chiều (RF discharge sputtering) Là kỹ thuật sử dụng hiệu điện thế xoay chiều để gia tốc cho iôn khí hiếm. Nó vẫn có cấu tạo chung của các hệ phún xạ, tuy nhiên máy phát là một máy phát cao tần sử dụng dòng điện tần số sóng vô tuyến (thường là 13,56 MHz). Vì dòng điện là xoay chiều, nên nó có thể sử dụng cho các bia vật liệu .
Hồng Nhật
113
31
ppt
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Báo cáo Phương pháp phún xạ magnetron trong chế tạo màng mỏng
31
84
2
Bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng
34
142
2
Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến tính chất quang và điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Ga (GTO) loại p được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron DC
10
86
0
Sự ảnh hưởng dòng phún xạ và sự ủ nhiệt lên tính chất quang xúc tác màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC không cân bằng
8
75
0
Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC
8
110
1
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng
6
66
0
Nghiên cứu chế tạo màng TiN bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron DC
10
96
1
Chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO:In bằng phương pháp phún xạ magnetron DC
6
90
0
Cơ chế pha tạp Nitơ vào tinh thể Tio2 bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron DC
5
85
0
Tiểu luận Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron
25
99
4
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
461865
55
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
22639
59
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10884
529
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10065
446
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9519
104
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8281
1125
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8238
423
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7864
2220
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6686
253
Vật lý hạt cơ bản (1)
29
5770
85
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Vật lý
Phương pháp phún xạ magnetron
Phún xạ magnetron
Chế tạo màng mỏng
Phương pháp chế tạo màng mỏng
Tìm hiểu phún xạ magnetron
Hướng dẫn phún xạ magnetron
Phương pháp phún xạ Magnetron RF
Bài thuyết trình Vật lý
Phương pháp phún xạ
Hệ số phún xạ
Phún xạ Magnetron DC
Màng dẫn điện trong suốt SnO2Ga
Màng dẫn điện
Phương pháp phún xạ magnetron DC
Ảnh nhiễu xạ tia X
Sự ảnh hưởng dòng phún xạ
Dòng phún xạ
Tính chất quang xúc tác màng TiO2
Sự ủ nhiệt
Độ gồ ghề RMS
Chế tạo nhiệt độ màng SnO
Phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC
Phương pháp phún xạ phản ứng
Phún xạ kim loại
Linh kiện quang điện
báo cáo khoa học
Màng dẫn điện trong suốt
SnO2Sb TCO
đế thủy tinh
màng dẫn điện trong suốt SnO2Sb
Nghiên cứu chế tạo màng TiN
Chế tạo màng TiN
Màng Titanium nitride
Phương pháp bốn mũi dò
Chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO
Chế tạo màng dẫn điện
Vùng ánh sáng khả kiến
Cơ chế pha tạp Nitơ vào tinh thể Tio2
Cơ chế pha tạp Nitơ
Tinh thể Tio2
Phản ứng Magnetron DC
Bột và màng TiO2
Tiểu luận Vật lý
Nghiên cứu chế tạo màng ITO
Màng trong suốt dẫn điện
Công suất phún xạ
Xử lý nhiệt sau khi phủ
Bước tạo màng ITO
Tính chất của màng ITO
Độ dày màng ITO
Phún xạ magnetron rf
Hệ số ma sát
Thể tích mài mòn
Chống mài mòn TiZrN
Cấu trúc của màng ZnO
Cấu trúc của màng Ag chế tạo
Phương pháp phún xạ r f magnetron
ZnO pha tạp Ag
Nhiễu xạ tia X
Tạp chí Khoa học và Công nghệ
Vật lý kỹ thuật
Chế tạo màng dẫn điện trong suốt
Thiết bị quang điện
Phương pháp chế tạo màng SnO2
Màng mỏng Al2O3
nh chất quang
ứng dụng Al2O3
Màng TiN
cấu trúc
điện
Nghiên cứu chế tạo màng SnO2
Vật liệu SnO2
Cơ chế tạo màng SnO2
Thực nghiệm chế tạo màng SnO2
Đặc điểm màng SnO2
Đề tài Vật lý
Nghiên cứu chế tạo màng WO3
Vật liệu điện sắc WO3
Tính chất vật liệu điện sắc WO3
Chế tạo màng WO3
Màng mỏng ZnO
Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất
Ứng dụng màng ZnO pha tạp
Hiệu ứng pha tạp của đất hiếm
Tính chất màng mỏng ZnO
Nghiên cứu chế tạo màng mỏng TiO2
Chế tạo màng mỏng TiO2
Màng mỏng TiO2
Phép đo UV VIS
Cấu trúc điện sắc
Tính chất điện sắc
Màng mỏng vanadium pentoxide
Kim loại Vanadium
Chế tạo màng mỏng dẫn điện
Hỗn hợp khí argon và hydrogen
Dẫn điện trong suốt
Linh động điện tử
Luận án Tiến sĩ
Kim loại học
Khoa học vật liệu
Tóm tắt luận án Tiến sĩ
Màng phủ nitrua
Hợp kim cứng WC Co
Luận án Tiến sĩ Vật lý
Vật liệu màng mỏng
Quang học
Mô hình Lorentz
Báo cáo Vật lý
Chế tạo màng mỏng quang xúc tác
Màng mỏng quang xúc tác TiO2
Pương pháp phún xạ Magnetron DC
Tính năng quang xúc tác
Thông số chế tạo màng TiO
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Giáo án mầm non chương trình đổi mới: Gia đình vui nhộn
4
312
1
27-04-2024
Giáo án mầm non chương trình đổi mới: Đề tài: Ôn xác định vị trí trên – dưới, trước- sau của đối tượng khác.
8
353
3
27-04-2024
Động cơ đốt trong và máy kéo công nghiêp tập 1 part 7
23
258
0
27-04-2024
Sáng tạo trong thuật toán và lập trình với ngôn ngữ Pascal và C# Tập 2 - Chương 4
47
246
1
27-04-2024
Mass Transfer in Multiphase Systems and its Applications Part 19
40
256
1
27-04-2024
beginning Ubuntu Linux phần 1
34
212
1
27-04-2024
extremetech Hacking Firefox phần 7
46
187
0
27-04-2024
Trading Strategies Profit Making Techniques For Stock_8
23
175
0
27-04-2024
Báo cáo nghiên cứu khoa học " KẾT QUẢ NGHIÊN CỨU BƯỚC ĐẦU VỀ THIÊN ĐỊCH CHÂN KHỚP TRÊN CÂY THANH TRÀ Ở THỪA THIÊN HUẾ "
7
175
0
27-04-2024
Công nghiệp gang thép Việt Nam : Một giai đoạn phát triển và chuyển đổi chính sách mới part 5
6
194
0
27-04-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7864
2220
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5727
1368
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
3767
1231
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5319
1136
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8281
1125
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3498
643
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10884
529
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3684
525
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4046
515
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4127
480
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.