TAILIEUCHUNG - Tiểu luận Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Tiểu luận Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron gồm có 3 chương, trong đó chương 1 - Tổng quan; chương 2 - Thực nghiệm và phương pháp nghiên cứu; chương 3 - Kết quả và bàn luận. Mời các bạn tham khảo. | TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHI ÊN TP HCM KHOA VậT lý Bộ Môn VẬT LÝ ỨNG DỤNG BÀI TI ỂU LUẬN NGHIÊN CƯU CHE TẠO MÀNG ITO BẰNG phương pháp PHÚN XẠ MAGNETRON GVHD TS. Lê Tr ấn HVTH Nguy ễn Thanh Tú Tháng 5 2010 Thắc mắc xin đưa lên diễn đàn tại mientay MỤC LỤC Chương 1. TỔNG QUAN. 3 . Giới thiệu sơ lược về phương pháp tạo màng dẫn điện trong . Các phương . Phương pháp phún x ạ magnetron . Giới thiệu màng . Giới thiệu màng trong suốt dẫn điện TCO .4 . Giới thiệu màng Chương 2. THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN . Tạo màng bằng phương pháp phún xạ trong hệ Univex . Hệ tạo màng mỏng Univex 450 .6 . Quy trình tạo . Các phép đo xác định tính chất của m Chương 3. KẾT QUẢ VÀ BÀN LU ẬN. 10 . Ảnh hưởng của quá tr ình chế tạo lên tính chất điện và quang của màng ITO trong phương pháp phún xạ magnetron DC. 10 . Khoảng cách bia - đế và áp suất phún xạ. 10 . Công suất phún xạ. 13 . Nhiệt độ đế. 15 . Độ dày màng. 17 . Khí . Xử lý nhiệt sau khi phủ. 22 . Kết luận . 25 TÀI LIỆU THAM KHẢO 2 Chương 1. TỔNG QUAN . Giới thiệu sơ lược về phương pháp tạo màng dẫn điện trong suốt . Các phương pháp Hiện nay có nhiều phương pháp tạo màng oxide trong suốt dẫn điện TCO như - Phương pháp solgel - Phương pháp xung laser - Phương pháp phún xạ - Phương pháp bay hơi ngưng tụ hóa học - Phương pháp bốc bay nhiệt bốc bay bằng ch ùm electron - Phương pháp mạ ion hoạt tính Mỗi phương pháp đều có những đặc điểm ri êng việc lựa chọn phương pháp phụ thuộc vào nhiều yếu tố khác nhau như - Loại vật liệu tạo m àng - Kích thước đế vật liệu đế - Các tính chất lý hóa cần đạt được - Tính đơn giản trong chế tạo . Phương pháp phún xạ magnetron DC Đề tài này sử dụng phương pháp phún xạ magnetron DC. Ta chọn phương pháp này vì nó có những tiện lợi sau - Nhiệt độ đế thấp có thể xuống đến nhiệt độ ph òng - Độ bám dính tốt của màng trên đế - Vận tốc

• Khoa học tự nhiên
• Tiểu luận Vật lý
• Nghiên cứu chế tạo màng ITO
• Phương pháp phún xạ Magnetron
• Màng trong suốt dẫn điện
• Công suất phún xạ
• Xử lý nhiệt sau khi phủ
• Tiểu luận vật lý hạt nhân
• Tiểu luận phân rã hạt nhân
• Tiểu luận phân rã Alpha
• Tiểu luận phân rã Beta
• Tiểu luận phân rã Gamma
• Đề tài nghiên cứu vật lý
• Phương pháp luận nghiên cứu Vật lí
• Quy cách trình bày bài luận văn
• Cách trình bày luận văn
• Tiểu luận phương pháp luận Vật lý
• Nghiên cứu Vật lý
• Tiểu luận xử lý số liệu thực nghiệm
• Luận văn vật lý
• Tiểu luận vật lý học
• Phương pháp bình phương tối tiểu tuyến tính
• Phương pháp bình phương tối thiểu phi tuyến
• trắc nghiệm lí thuyết vật lí
• vật lí nâng cao
• tài liệu ôn thi vật lý
• kiến thức vật lý căn bản
• nghiên cứu khoa học
• chuyên đề vật lý
• luận văn khoa vật lý
• vật lý ứng dụng
• Tiểu luận hấp phụ xử lý môi trường
• Tiểu luận môi trường
• Tiểu luận vật liệu hấp phụ
• ứng dụng hấp phụ trong xử lý môi trường
• Tiểu luận xử lý môi trường
• Hấp phụ trong xử lý môi trường
• vật lí hạt nhân
• công suất điện
• cơ ứng dụng
• tiểu luận nghiên cứu đề tài
• phương pháp động lực học
• Luận án Tiến sĩ Ngữ văn
• Luận án Tiến sĩ
• Luận án Tiến sĩ ngành Văn học Việt Nam
• Tiểu thuyết tự lực văn đoàn
• Nghệ thuật miêu tả tâm lý nhân vật
• Tâm lý nhân vật trong tiểu thuyểt
• giải bài tập vật lí
• giáo án vật lí cơ bản
• bài tập trắc nghiệm vật lí
• bài tập vật lí nâng cao
• Đồ án cơ điện tử
• Tiểu luận điện tử học
• Điện tử học ứng dụng trong vật lý
• Tiểu luận vật lý lý thuyết
• Đề tài điện tử học
• Đề tài cảm biến biến dạng
• Tiểu luận triết học
• Đề tài triết học
• Tiểu luận phép biện chứng duy vật
• Báo cáo triết học
• Phép biện chứng duy vật trong vật lý
• Đề tài phép biện chứng duy vật
• luận văn quản lý xây dựng
• tiểu luận quản lý vật lieuj xây dựng
• báo cáo vật liệu xây dựng
• hiệu lực quản lí
• xây lắp vật liệu xây dựng
• Lý luận về cái riêng
• Lý luận về cái chung
• Phép biện chứng duy vật
• Vận dụng phép biện chứng duy vật
• Tiểu luận môn Vật lý đại cương A1
• Vật lý đại cương A1
• Lực hấp dẫn
• Định luật vạn vật hấp dẫn
• Tiểu luận Mác Lênin
• Những nguyên lý cơ bản Mác–Lênin
• Chủ nghĩa duy vật biện chứng
• Thế giới quan khoa học
• các dạng bài tập vật lí
• bài báo cáo thực tập
• laser
• tính điện trở
• Bài thuyết trình Quang lượng tử
• Tiểu luận quang lượng tử
• Đề tài quang lượng tử
• Công ty vật tư Nông sản
• quản lý vật tư
• quản trị chất lượng
• báo cáo quản trị chất lượng
• thực trạng quản trị chất lượng
• luận văn quản trị
• chất lượng sản phẩm
• tiểu luận