Đang chuẩn bị nút TẢI XUỐNG, xin hãy chờ
Tải xuống
Tiểu luận Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron gồm có 3 chương, trong đó chương 1 - Tổng quan; chương 2 - Thực nghiệm và phương pháp nghiên cứu; chương 3 - Kết quả và bàn luận. Mời các bạn tham khảo. | TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHI ÊN TP HCM KHOA VậT lý Bộ Môn VẬT LÝ ỨNG DỤNG BÀI TI ỂU LUẬN NGHIÊN CƯU CHE TẠO MÀNG ITO BẰNG phương pháp PHÚN XẠ MAGNETRON GVHD TS. Lê Tr ấn HVTH Nguy ễn Thanh Tú Tp.HCM Tháng 5 2010 Thắc mắc xin đưa lên diễn đàn tại www.myyagy.com mientay MỤC LỤC Chương 1. TỔNG QUAN. 3 1.1. Giới thiệu sơ lược về phương pháp tạo màng dẫn điện trong suốt.3 1.1.1. Các phương pháp.3 1.1.2. Phương pháp phún x ạ magnetron DC.3 1.2. Giới thiệu màng ITO.4 1.2.1. Giới thiệu màng trong suốt dẫn điện TCO .4 1.2.2. Giới thiệu màng ITO.4 Chương 2. THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU.6 2.1. Tạo màng bằng phương pháp phún xạ trong hệ Univex 450.6 2.1.1. Hệ tạo màng mỏng Univex 450 .6 2.1.2. Quy trình tạo màng.7 2.2. Các phép đo xác định tính chất của m àng.9 Chương 3. KẾT QUẢ VÀ BÀN LU ẬN. 10 3.1. Ảnh hưởng của quá tr ình chế tạo lên tính chất điện và quang của màng ITO trong phương pháp phún xạ magnetron DC. 10 3.1.1. Khoảng cách bia - đế và áp suất phún xạ. 10 3.1.2. Công suất phún xạ. 13 3.1.3. Nhiệt độ đế. 15 3.1.4. Độ dày màng. 17 3.1.5. Khí Ôxi.20 3.1.6. Xử lý nhiệt sau khi phủ. 22 3.2. Kết luận . 25 TÀI LIỆU THAM KHẢO 2 Chương 1. TỔNG QUAN 1.1. Giới thiệu sơ lược về phương pháp tạo màng dẫn điện trong suốt 1.1.1. Các phương pháp Hiện nay có nhiều phương pháp tạo màng oxide trong suốt dẫn điện TCO như - Phương pháp solgel - Phương pháp xung laser - Phương pháp phún xạ - Phương pháp bay hơi ngưng tụ hóa học - Phương pháp bốc bay nhiệt bốc bay bằng ch ùm electron - Phương pháp mạ ion hoạt tính Mỗi phương pháp đều có những đặc điểm ri êng việc lựa chọn phương pháp phụ thuộc vào nhiều yếu tố khác nhau như - Loại vật liệu tạo m àng - Kích thước đế vật liệu đế - Các tính chất lý hóa cần đạt được - Tính đơn giản trong chế tạo 1.1.2. Phương pháp phún xạ magnetron DC Đề tài này sử dụng phương pháp phún xạ magnetron DC. Ta chọn phương pháp này vì nó có những tiện lợi sau - Nhiệt độ đế thấp có thể xuống đến nhiệt độ ph òng - Độ bám dính tốt của màng trên đế - Vận tốc
