TAILIEUCHUNG - Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC
Màng mỏng SnO được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC với bia phún xạ kim loại thiếc và khí phản ứng oxi, nhiệt độ đế (Ts) thay đổi từ 150o C đến 300o C trong suốt quá trình phún xạ. Khi nhiệt độ đế thay đổi từ 150o C đến 300o C thì có sự xuất hiện các pha ngoại lai β-Sn và SnO2 trong cấu trúc màng SnO. Các đặc trưng của màng SnOx được đánh giá thông qua phổ UV-Vis, giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD), hiệu ứng Hall, hình thái bề mặt bằng ảnh AFM. | Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC TẠP CHÍ KHOA HỌC - ĐẠI HỌC ĐỒNG NAI, SỐ 14 - 2019 ISSN 2354-1482 CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ ĐẾN CÁC ĐẶC TRƯNG CỦA MÀNG SnO ĐƯỢC CHẾ TẠO BỞI PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ PHẢN ỨNG MAGNETRON DC Phạm Hoài Phương1 Nguyễn Thị Hải Yến1 Nguyễn Thị Phương Thúy2 Trần Quang Trung2 TÓM TẮT Màng mỏng SnO được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC với bia phún xạ kim loại thiếc và khí phản ứng oxi, nhiệt độ đế (Ts) thay đổi từ 150oC đến 300oC trong suốt quá trình phún xạ. Khi nhiệt độ đế thay đổi từ 150oC đến 300oC thì có sự xuất hiện các pha ngoại lai β-Sn và SnO2 trong cấu trúc màng SnO. Các đặc trưng của màng SnOx được đánh giá thông qua phổ UV-Vis, giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD), hiệu ứng Hall, hình thái bề mặt bằng ảnh AFM. Màng SnO chế tạo ở nhiệt độ 250oC có tính chất điện tốt nhất, có nồng độ hạt tải NH = 1,, độ linh động µ = 7,581 cm2/Vs, điện trở suất ρ = 5,31 (Ωcm) và độ dẫn σ = 0,19 (Ω-1cm-1) và không xuất hiện hiện các pha ngoại lai, β-Sn và SnO2 đủ điều kiện cơ bản ứng dụng làm lớp thu lỗ trống trong linh kiện quang điện Từ khóa: Tin oxide thin films, P type SnO, N type SnO2, reactive DC magnetron sputtering 1. Giới thiệu nhiều (gần như bị lãng quên) trong một Màng mỏng oxit dẫn điện trong khoảng thời gian dài xuyên suốt quá suốt (TCOs) đã được nghiên cứu và sử trình phát triển vật liệu TCOs do tính dụng rộng rãi trong chế tạo các linh kém bền điện của chúng trong môi kiện quang điện như: pin mặt trời, màn trường. Cụ thể, trong những năm gần hình phẳng, cảm biến khí và cửa sổ đây việc nghiên cứu chế tạo và khảo sát thông minh bởi những tính chất dẫn TCO loại P điển hình là màng ZnO pha điện và quang vượt trội của nó. Hầu hết tạp N được nhiều nhóm nghiên cứu các loại TCOs có độ linh động hạt tải quan tâm nhưng kết quả chưa như mong cao thường là bán .
đang nạp các trang xem trước
