TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu chế tạo màng TiN bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron DC
Màng Titanium nitride (TiN) được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC trên đế thủy tinh. Trong công trình này, chúng tôi nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đế, thế phún xạ ngưỡng theo tỉ lệ khí N2 Ar , áp suất phún xạ và khỏang cách bia - đế lên tính chất cấu trúc, điện và quang của màng. Các tính chất của màng được nghiên cứu bằng cách sử dụng phương pháp đo nhiễu xạ tia X, phương pháp bốn mũi dò, phổ truyền qua quang học. | TAÏP CHÍ PHAÙT TRIEÅN KH&CN, TAÄP 11, SOÁ 10 - 2008 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG TiN BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ PHẢN ỨNG MAGNETRON DC Lê Trấn(1), Trần Văn Phương(2), Trần Tuấn(1), Nguyễn Hữu Chí (1) (1)Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM (2)Trường Cao đẳng Lý Tự trọng (Bài nhận ngày 29 tháng 03 năm 2007, hòan chỉnh sửa chữa ngày 23 tháng 04 năm 2008) TÓM TẮT: Màng Titanium nitride (TiN) được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC trên đế thủy tinh. Trong công trình này, chúng tôi nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đế, thế phún xạ ngưỡng theo tỉ lệ khí N 2 Ar , áp suất phún xạ và khỏang cách bia - đế lên tính chất cấu trúc, điện và quang của màng. Các tính chất của màng được nghiên cứu bằng cách sử dụng phương pháp đo nhiễu xạ tia X, phương pháp bốn mũi dò, phổ truyền qua quang học. Kết quả cho thấy, nhiệt độ đế, thế phún xạ ngưỡng theo tỉ lệ N2/ Ar , áp suất phún xạ và khỏang cách bia-đế ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và quang của màng. Màng có điện trở suất thấp nhất 35 , chiết suất và hệ số tắt của màng ở bước sóng 550 nm lần lượt là và , được chế tạo ở nhiệt độ đế 2000C, khoảng cách bia-đế , áp suất phún xạ 3 mtorr, thế phún xạ ngưỡng 550 V ở tỉ lệ N 2 Ar = THIỆU Ngày nay, màng mỏng có nhiều ứng dụng trong nhiều lĩnh vực như: cơ, nhiệt, điện ,từ Đặc biệt trong lĩnh vực quang học, màng mỏng được ứng dụng rất đa dạng như: màng khử phản xạ đơn lớp và đa lớp, màng dẫn điện trong suốt, màng quang tích hợp, gương lạnh, gương nóng [1,5,9]. Trong những năm gần đây nhiều tác giả trong và ngòai nước đã và đang tập trung nghiên cứu về màng gương nóng truyền qua – màng có độ truyền qua cao ở vùng khả kiến và phản xạ cao ở vùng hồng ngọai. Màng gương nóng truyền qua có thể được tạo ra bằng nhiều hướng như: Màng đa lớp điện môi-kim lọai-điện môi, màng dẫn điện như: Bạc, vàng và đồng có độ phản xạ cao ở vùng hồng ngọai, hấp thụ ít ở vùng khả kiến, màng bán dẫn có độ phản xạ cao ở vùng hồng ngọai như: MgO, ZnO, NiO, SiO,
đang nạp các trang xem trước
