TAILIEUCHUNG - Heat Transfer Theoretical Analysis Experimental Investigations Systems Part 4

Tham khảo tài liệu 'heat transfer theoretical analysis experimental investigations systems part 4', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 110 Heat Transfer - Theoretical Analysis Experimental Investigations and Industrial Systems 2004 where pressure information is required. Arrays of current pressure sensors can be readily fabricated along the channel or in a micromixer for more detailed flow information. They can also be fabricated at inlet outlet or inside of a micropump for evaluation of its performance. Theoretical modeling for the stress and deformation of the diaphragm is derived. Numerical calculation is provided for diaphragm design consideration. Finally the current pressure sensors made can provide a much better thermal insulation than the ones made by the previous surface micromachining process of silicon because of the use of the extremely low thermal conductivity materials such as the SU-8 and the Pyrex glass. The SU-8 material has a thermal conductivity of W mK Monat et al. 2007 where the Pyrex glass has a value of W mK. This is highly important in the fabrication of a micro thermal system where thermal insulation should be seriously considered. More detailed fabrication techniques and performance evaluation of this sensor are also provided and discussed. Design consideration Before fabrication process the size of the SU-8 diaphragm used in the pressure sensor should be determined from a proper analysis and design. The size of the SU-8 diaphragm is actually determined by the pressure range to be measured the maximum strain that the diaphragm can sustain and the sensitivity required. The deformation of SU-8 diaphragm can be modeled as a square shell or plate with four edge clamped under a uniform normal pressure force as shown in Figure 19. Fig. 19. Schematic diagram for the square plate deformed under pressure force. From the solving of the governing equation for the deflection of the plate the deflection of plate can obtain qn b rn nny u 4 s Xn x sin 6-4 Microchannel Heat Transfer 111 By letting n 1 3 and 5 only the maximum deflection can be found as follows pb4 max c 1 .

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.