TAILIEUCHUNG - The MEMS Handbook MEMS Applications (2nd Ed) - M. Gad el Hak Episode 1 Part 4

Tham khảo tài liệu 'the mems handbook mems applications (2nd ed) - m. gad el hak episode 1 part 4', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 3-32 MEMS Applications TABLE Device dimensions and measurement results from Park and Gianchandani 2003 which are in terms of gauge pressure. C0 is the capacitance at zero gauge pressure. Linearity for DEV 1 was measured over 0-250 kPa. For DEV2 DEV3 and DEV4 linearities were measured over 0-100 kPa. Reprinted with Permission from Park . and Gianchandani . 2003 A Servo-Controlled Capacitive Pressure Sensor Using a Capped-Cylinder Structure Microfabricated by a Three-Mask Process IEEE ASME Journal of Microelectromechanical Systems 12 2 pp. 209-220. DEVICE DEV1 DEV2 DEV3 DEV4 Segmented Skirt T1 T3 gm 12 12 12 T2 gm 18 18 20 20 H G1 gm 10 15 15 15 R1 gm 500 500 500 500 R2 gm 1000 1000 1000 1000 Bonding Temperature C 550 550 450 450 Unpackaged Open Loop C pF Sensitivity -408 -154 -124 -136 ppm kPa Sensitivity fF kPa Linearity Closed Loop Sensivity V kPa Linearity 20kPa Packaged Open Loop C0 pF Sensitivity -137 -164 ppm kPa ac ap fF kPa Linearity Closed Loop Sensitivity V kPa Linearity 20kPa For the predictive modeling of this device finite element analysis is preferred because the simultaneous flexing of the diaphragm skirt electrode and sidewall are not easily expressed in closed-form analytical manner. In general it is necessary to use coupled-field analysis to model this device because both pressure and electrostatic forces must be simulated. Experimentally a number of devices with 2 mm overall diameter but varying in other dimensions were fabricated and alternative design in which skirt electrode was divided into segments to relieve residualstress provided 10 -20 more open-loop sensitivity for similar overall dimensions. The device dimensions and performance results are summarized in Table . In addition Figures and respectively provide examples of the open-loop and .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp