Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Cơ khí - Chế tạo máy
An Introduction to MEMs Engineering - Nadim Maluf and Kirt Williams Part 4
TAILIEUCHUNG - An Introduction to MEMs Engineering - Nadim Maluf and Kirt Williams Part 4
Tham khảo tài liệu 'an introduction to mems engineering - nadim maluf and kirt williams part 4', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 40 Processes for Micromachining For deposition below 400 C nonstoichiometric silicon nitride SixNy is obtained by reacting silane with ammonia or nitrogen in a PECVD chamber. Hydrogen is also a byproduct of this reaction and is incorporated in elevated concentrations 20 -25 in the film. The refractive index is an indirect measure of the stoichiometry of the silicon nitride film. The refractive index for stoichiometric LPCVD silicon nitride is and ranges between and for PECVD films. A high value in the range is indicative of excess silicon and a low value generally represents an excess of nitrogen. One of the key advantages of PECVD nitride is the ability to control stress during deposition. Silicon nitride deposited at a plasma excitation frequency of MHz exhibits tensile stress of about 400 MPa whereas a film deposited at a frequency of 50 kHz has a compressive stress of 200 MPa. By alternating frequencies during deposition one may obtain lower-stress films. Spin-On Methods Spin-on is a process to put down layers of dielectric insulators and organic materials. Unlike the methods described earlier the equipment is simple requiring a variable-speed spinning table with appropriate safety screens. A nozzle dispenses the material as a liquid solution in the center of the wafer. Spinning the substrate at speeds of 500 to 5 000 rpm for 30 to 60 seconds spreads the material to a uniform thickness. Photoresists and polyimides are common organic materials that can be spun on a wafer with thicknesses typically between and 20 um though some specialpurpose resists such as epoxy-based SU-8 can exceed 200 um. The organic polymer is normally in suspension in a solvent solution subsequent baking causes the solvent to evaporate forming a firm film. Thick 5-100 um spin-on glass SOG has the ability to uniformly coat surfaces and smooth out underlying topographical variations effectively planarizing surface features. Thin um SOG was heavily investigated
Công Lập
57
20
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Chương trình giáo dục đại học ngành Công nghệ chế tạo máy
21
250
0
Đề thi cuối học kỳ I năm học 2015-2016 môn Cơ sở công nghệ chế tạo máy (Mã đề 01) - ĐH Sư phạm Kỹ thuật
5
169
2
Đề thi cuối học kỳ II năm học 2015-2016 môn Cơ sở công nghệ chế tạo máy (Mã đề 01) - ĐH Sư phạm Kỹ thuật
4
249
2
Đề thi cuối học kỳ II năm học 2019-2020 môn Cơ sở công nghệ chế tạo máy (Mã đề 01) - ĐH Sư phạm Kỹ thuật
5
190
4
Hướng dẫn đồ án công nghệ chế tạo máy - Phụ lục I
41
274
2
HIỆN TRẠNG CÔNG NGHỆ TẠO MẪU NHANH (RP Y2010)
51
249
0
Thiết Kế Chi Tiết Máy Trên Máy Tính: Phần 2 - GS TS An Hiệp, PGS TS Trần Vĩnh Hưng, KS Nguyễn Văn Hiệp
124
229
1
Chế tạo "ống xả sạch" xử lý ô nhiễm trên ô-tô
47
249
0
Thiết kế chế tạo mô hình máy phay CNC điều khiển hai trục
118
290
14
CÁC PHƯƠNG PHÁP HÀN ÁP DỤNG TRONG CÔNG NGHIỆP TÀU THỦY
100
287
6
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
461742
55
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
22075
54
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10740
524
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
9929
445
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9427
104
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8134
1122
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8134
421
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7819
2212
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6502
247
Vật lý hạt cơ bản (1)
29
5680
81
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Cơ khí - Chế tạo máy
cơ khí chế tạo máy
tài liệu cơ khí
sổ tay cơ khí
hướng dẫn cơ khí
ôn thi cơ khí
Ngành Công nghệ chế tạo máy
Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
Hệ thống cơ khí chế tạo máy
Đề thi học kỳ
Công nghệ chế tạo máy
Đề thi Công nghệ chế tạo máy
Bài tập Công nghệ chế tạo máy
Cơ khí máy
Cơ sở công nghệ chế tạo máy
động cơ đốt trong
gia công cơ khí
giáo trình công nghệ chế tạo máy
vẽ kỹ thuật cơ khí
sổ tay thiết kế cơ khí
công nghệ cơ khí
đồ án công nghệ
chế tạo máy
tính lượng dư gia công
thiết kế đồ gá
gia công vật liệu
cơ khí động lực
chế tạo nhanh
cơ khí chế tạo
kỹ thuật cơ khí
công nghệ chế tạo
cơ kỹ thuật
Thiết Kế Chi Tiết Máy
khí thải ô tô
Chế tạo ống xả sạch
xử lý ô nhiễm trên ô tô
Cơ khí ô tô
ô nhiễm môi trường
bộ lọc khí xả
Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
Đồ án cơ khí chế tạo máy
Đồ án công nghệ chế tạo máy
Đồ án chế tạo máy
Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
Đề tài chế tạo máy CNC
cơ cấu phân phối khí
phương pháp hàn
công nghiệp tàu thủy
Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
Quá trình sản xuất cơ khí
máy tiện ren vít vạn năng
tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
tài liệu môn cơ khí chế tạo
cách vẽ môn cơ khí chế tạo
học môn cơ khí chế tạo
Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
Chương trình đào tạo Tiến sĩ
Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
Đề cương Kỹ thuật cơ khí
Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
Thiết kế đồ án chế tạo máy
Kỹ thuật chế tạo máy
Gia công chế tạo máy
Chi tiết máy
Inventor
Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
Sổ tay công nghệ chế tạo máy
Sử dụng rôbốt công nghiệp
chuyên đề tốt nghiệp
báo cáo thực tập
đồ án kỹ thuật
kỹ thuật xây dựng
Khoa học công nghệ
Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
Ngành Cơ khí chế tạo
Cơ khí lắp ráp máy
Cơ khí đường sắt
công nghệ chế tạo phụ tùng
bài giảng môn cơ khí
tài liệu môn chế tạo máy
kiến thức về chế tạo máy
cơ khí giao thông
công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Giáo trình về phân tích môi trường - Phần 1 - CHƯƠNG 7
10
295
1
29-03-2024
Ebook Quản lý dự án công nghệ thông tin
170
252
4
29-03-2024
Coherence and Ultrashort Pulse Laser Emission Part 9
40
237
0
29-03-2024
Mass Transfer in Multiphase Systems and its Applications Part 19
40
238
0
29-03-2024
extremetech Hacking BlackBerry phần 9
31
225
0
29-03-2024
Oreilly learning the vi Editor phần 4
19
220
0
29-03-2024
Monstrosity, medicine, and misunderstanding
44
181
0
29-03-2024
Anh văn bằng C-124
8
162
0
29-03-2024
MySQL Basics for Visual Learners PHẦN 9
15
176
0
29-03-2024
12 Việc Không Nên Làm Sau Bữa Ăn
5
118
0
29-03-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7819
2212
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
3652
1219
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5130
1173
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8134
1122
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5037
1084
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3403
638
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3620
524
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10740
524
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
3901
502
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4027
470
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.