TAILIEUCHUNG - Ferroelectrics Applications Part 3

Tham khảo tài liệu 'ferroelectrics applications part 3', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 2 MEMS Based on Thin Ferroelectric Layers Igor L. Baginsky and Edward G. Kostsov Institute of Automation and Electrometry Russian Academy of Sciences Russia 1. Introduction Micro-Electro-Mechanical Systems MEMS are devices that display the most intense development in modern microelectronics Kostsov 2009 . The main challenge of microelectromechanics is the design of unique micromechanical structures for various purposes. This research direction is based on achievements of advanced microelectronic technologies and inherits the basic advantages of electronic microchips high reliability and reproducilbility of characteristics low cost and large scales of applications Esashi Ono 2005 . The essence of micromechanics implies that advanced microelectronic technologies for instance deep etching of silicon or silicon-on-insulator SOI make it possible to create integrated circuits ICs simultaneously with micromechanical structures with unique parameters determined by their microscopic or nanoscopic sizes with the transported mass being 10-4 to 10-18 g controlled by electronic circuits. The most important feature of MEMS is the precision fabrication of moving elements of mechanical structures earlier inaccessible in mechanics and their unification in one technological cycle with controlling and processing electronic elements created on the basis of CMOS technology. MEMS applications include the following areas Kostsov 2009 - microoptoelectromechanics displays adaptive optics optical microswitches fastresponse scanners for cornea inspection diffraction gratings with an electrically tunable step controlled two- and three-dimensional arrays of micromirrors etc. - high frequency HF devices HF switches tunable filters and antennas phased antenna array etc. - displacement meters gyroscopes highly sensitive two- and three-axial accelerometers with high resolution which offer principally new possibilities for a large class of electronic devices - sensors of vibrations pressures .

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.