TAILIEUCHUNG - 21st Century Manufacturing Episode 2 Part 1

Tham khảo tài liệu '21st century manufacturing episode 2 part 1', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 194 Semiconductor Manufacturing Chap. 5 im SiOj b Figure Simplified views of the oxidation equipment and process from Semiconductor Device Fundamentals by Pierret 1996. Reprinted by permission of Prentice-Hall Inc. Upper Saddle River NJ . However dry oxygen is again preferred for growing the gate oxide s SiO2 because it gives better Si to SiO2 interface properties. Rapid thermal oxidation RTO allows short time oxidation at suitably high temperatures Campbell 1996 . Creating Photomasks The CAD flies containing the desứed cừcuit patterns are transferred to a set of photographic plates or photomasks. To do this the CAD files are first fed into a pattern generator a computer controlled exposure machine. The generator uses flash exposure to transfer the IC pattern onto a light-sensitive plate known as the mask. This step is similar to photographic developing. The generator flashes onto the plate a large series of rectangles that correspond to the circuit diagram. The plate is covered in an emulsion photoresist material which deliberately breaks down under the exposure. Then once the exposed resist is sloughed off the plate is transparent just in those areas that correspond to the circuit. Photolithography Projecting the Mask Pattern onto the Wafer Many steps follow to transfer the pattern in each photomask to the wafer. Hie wafer surface is coated with light-sensitive photoresist material. Typically photoresist liquid is poured onto the center of the round wafer which is spun at 1 000 to 5 000 rpm in order to produce a uniform thin adhesion. The thickness of the film can be controlled by altering liquid viscosity and spinning speed. The photoresist is dried in a warm nitrogen or plain air oven. Photolithography is shown in Figures through . In the early days of IC manufacture contact and proximity printing were used Wolf and Tauber 1986 . In such methods the photomask was in contact with or very close to the wafer. Moro

• Cơ khí - Chế tạo máy
• Cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• ôn tập cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• luyện thi cơ khí
• test cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp