TAILIEUCHUNG - Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 8

Tham khảo tài liệu 'micro electro mechanical system design - james j. allen part 8', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Design Realization Tools for MEMS 191 11. . Szymanski . Van Wyk Space efficient algorithms for VLSI artwork analysis Proc. 20th Design Automation Conf. 734-739 June 1983. 12. . Baird Fast algorithms for LSI artwork analysis Proc. 14th Design Automation Conf. 303-311 1977. 13. http memsrus . 14. . Buser . de Rooij ASEP a CAD program for silicon anisotropic etching micromechanical structure Sensors Actuators A A28 1 71-78 1991. 15. . Sequin Computer simulation of anisotropic etching Proc. 6th Int. Conf. Solid-State Sensors Actuators Transducers 91 San Francisco CA 28-28 June 1991 801-806. 16. . Hubbard . Antonsson Emergent faces in crystal etching J Microelectro-mech Syst 3 19-28 1994. 17. J. Fruhauf K. Trautmann J. Wittig D. Zielke A simulation tool for orientation dependent etching J. Micromech. Microeng 3 3 113-115 1993. 18. D. Dietrich J. Fruhauf Computer simulation of the development of dish-shaped deepenings by orientation-dependent etching of 100 silicon Sensors Actuators A A39 3 261-262 1993. 19. U. Heim A new approach for the determination of the shape of etched devices J. Micromech. Microeng. 3 3 116-117 1993. 20. D. Zielke J. Fruhauf Determination of rates for orientation-dependent etching Sensors Actuators A A48 a 151-156 1995. 21. H. Camon A. Moktadir M. Djafari-Rouhani New trends in atomic scale simulation of wet chemical etching of silicon with KOH Mater. Sci. Eng. B B37 1-3 142-145 1996. 22. . Oldham . Neureuther . Reynolds . Nandaonkar C. Sung A general simulator for VLSI lithography and etching processes II Application to deposition and etching IEEE Trans. Electron Devices ED-27 8 1455-1459 1980. 23. S. Yamamato T. Kure M. Ohgo T. Matsuzama S. Tachi H. Sunami A twodimensional etching profile simulator ESPRIT IEEE Trans. Computer-Aided Design CAD-6 3 417-422 1987. 24. J. Pelka . Muller H. Mader Simulation of dry etch processes by COMPOSITE IEEE Trans. Computer-Aided Design 7 2 154-159

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp