TAILIEUCHUNG - MEMS Mechanical Sensors - Stephen Beeby Part 12

Tham khảo tài liệu 'mems mechanical sensors - stephen beeby part 12', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 210 Inertial Sensors Conf. Solid-State Sensors and Actuators Transducer 95 Stockholm Sweden 1995 pp. 663-665. 49 Leung A. M. et al. Micromachined Accelerometer Based on Convection Heat Transfer Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop MEMS 98 Heidelberg Germany 1998 pp. 627-630. 50 Abbaspour-Sani E. R. S. Huang and C. Y. Kwok A Linear Electromagnetic Accelerometer Sensors and Actuators Vol. A44 1994 pp. 103-109. 51 Clark W. A. R. T. Howe and R. Horowitz Surface Micromachined Z-Axis Vibratory Rate Gyroscope Digest of Solid-State Sensors and Actuator Workshop 1996 pp. 283-287. 52 Oh Y. et al. A Surface-Micromachined Tunable Vibratory Gyroscope Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop MEMS 98 Nagoya Japan 1999 pp. 272-277. 53 Hashimoto M. et al. Silicon Angular Rate Sensor Using Electromagnetic Excitation and Capacitive Detection Journal of Microelectromechanical Systems Vol. 5 1995 pp. 219-225. 54 Choi J. K. Minami and M. Esashi Application of Deep Reactive Ion Etching for Silicon Angular Rate Sensor Microsystem Technologies Vol. 2 1996 pp. 186-190. 55 Lutz M. et al. A Precision Yaw Rate Sensor in Silicon Micromachining Proc. 9th Int. Conf. Solid-State Sensors and Actuators Transducer 97 Vol. 2 Chicago IL 1997 pp. 847-850. 56 Paoletti F. M. A. Gretillat and N. F. de Rooij A Silicon Vibrating Micromachined Gyroscope with Piezoresistive Detection and Electromagnetic Excitation Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop MEMS 96 San Diego CA 1996 pp. 162-167. 57 Voss R. et al. Silicon Angular Rate Sensor for Automotive Applications with Piezoelectric Drive and Piezoresistive Readout Proc. 9th Intl. Conf. Solid-State Sensors and Actuators Transducer 97 Vol. 2 Chicago IL 1997 pp. 879-882. 58 Kubena R. L et al. A New Tunnelling-Based Sensor for Inertial Rotation Rate Measurements Journal of Microelectromechanical Systems Vol. 8 1999 pp. 439-447. 59 Degani O. et al. Optimal Design and Noise Consideration of Micromachined Vibrating Rate .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp