TAILIEUCHUNG - Đề tài: Tìm hiểu về độ phân giải trong SEM

Độ phân giải là thông số tới hạn khống chế sự thực hiện của SEM. Thật vậy,độ phân giải là kết quả của sự cân đối giữa hiệu ứng quang sai của thấu kính cuối cùng và hiệu ứng nhiễu xạ. Đối với hầu hết các thiết bị hiện nay, độ phân giải cỡ 3,5 – 5 nm • Để đạt độ phân giải siêu cao trong SEM phải tạo được đường kính chùm tia X nhỏ nhất và nguồn điện tử có độ rọi lớn nhất kết hợp với khả năng thu điện tử thứ cấp phát xạ với hiệu xuất cao nhất. | Tìm hiểu về độ phân giải trong SEM Gv hướng dẫn: Nguyễn Thị Ngọc Linh Sv thực hiện : Nguyễn Thị Nga Độ phân giải trong SEM Khái niệm Độ phân giải là thông số tới hạn khống chế sự thực hiện của SEM. Thật vậy,độ phân giải là kết quả của sự cân đối giữa hiệu ứng quang sai của thấu kính cuối cùng và hiệu ứng nhiễu xạ. Đối với hầu hết các thiết bị hiện nay, độ phân giải cỡ 3,5 – 5 nm Để đạt độ phân giải siêu cao trong SEM phải tạo được đường kính chùm tia X nhỏ nhất và nguồn điện tử có độ rọi lớn nhất kết hợp với khả năng thu điện tử thứ cấp phát xạ với hiệu xuất cao nhất Độ phân giải trong SEM a) Sự ảnh hưởng của đường kính chùm điện tử lên độ phân giải Đường kính chùm điện tử thay đổi khi ta điều chỉnh dòng của kính hội tụ. khi đường kính chùm giảm thì: + Độ phân giải gia tăng + Quang sai của các thấu kính giảm + Dòng điện tử giảm Độ phân giải trong SEM VD về hình ảnh của một vật liệu gốm Đường kính chùm điện tử nhỏ hơn nên hình ảnh sắc nét hơn. Dòng chùm điện tử nhỏ đưa đến độ

• Khoa học tự nhiên
• độ phân giải trong SEM
• đường kính chùm điện tử
• vật liệu gốm
• độ sâu trường
• vật kính
• thấu kính giảm