TAILIEUCHUNG - Advances in Solid State Part 14

Tham khảo tài liệu 'advances in solid state part 14', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Germanium Doped Czochralski Silicon 381 could be gathered by germanium atoms to generate germanium-vacancy-related complexes and thus benefit the generation of polyhedral precipitates so that the oxygen precipitates could be presented as mixed morphologies in GCZ silicon. Normally when subjected to the high temperature treatments the inner Si-O and Si-Si bonding in the oxygen precipitates can be easily cracked and the oxygen atoms situated in the precipitate originally could revert to interstitial oxygen atoms and finally diffuse out the precipitates. Ascribed to the distribution of smaller-sized and higher-density precipitates the total surface area of oxygen precipitates in GCZ silicon can be dramatically heightened. The net oxygen flux out of precipitates is enhanced and the precipitates can be therefore dissolved easier in GCZ silicon. 5. Void defects Voids the main micro-defects in modern large diameter silicon crystal play more important roles in the reliability and yield of ULSI devices. It is well established that voids especially those locate in the near-surface region of wafers can deteriorate gate oxide integration GOI and enhance the leakage current of metal-oxide-semiconductor devices Huth et al. 2000 Park et al. 2000 . As a result of the agglomerations of excess vacancies during crystal growth it is believed that voids are normally of an octahedral structure about 100-300 nm in size and with a thin oxide film of about 2nm on their 111 surfaces Itsumi et al. 1995 Yamagishi et al. 1992 . It has been reported that during cooling-down process of silicon crystal from the melting point to room temperature grown-in voids are formed with densities between 105-107cm-3 Yamagishi et al. 1992 . The techniques to control voids have been studied extensively over years and three different ways to achieve this have been widely accepted 1 thermally controlled CZ silicon crystal growth Voronkov 1982 2 high-temperature annealing Wijaranakula 1994 and 3 nitroge doping Yu

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• hướng dẫn cơ khí
• tài liệu cơ khí
• ôn thi cơ khí
• sổ tay cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp