TAILIEUCHUNG - Engineering Materials and Processes phần 8

Sự thất bại electromigration Al (Cu) kết nối đã được điều tra bởi vì việc sử dụng ưu thế của Al (Cu) là dây dẫn trong các thiết bị vi điện tử trong nhiều thập kỷ. Gần đây, nghiên cứu electromigration Củ đã được tiến hành đáng kể và, 5 bạc Electromigration kháng (lưu lượng khối - khối lượng dòng chảy ra) | Integration Issues 89 14 13 12 E 11 I I I I I r Ag 200nm Al 30nm on SiO2 400oC 500oC - A 600oC _ - 10 ID Õ5 7 6 30 40 50 60 70 80 90 time1 2 s1 2 Figure . Al oxide thickness as a square root function of time for an Ag 200nm Al 30 nm bilayer system 8 Growth Kinetics of Oxide Surface Layer In order to investigate the growth kinetics the thickness of either aluminum or silver was changed. The influence of the initial Al thickness on the oxide growth kinetics was studied by considering the following two bilayers structures Ag 200 nm Al 20 nm and Ag 200 nm Al 30 nm . The AlxOy thickness x derived from the RBS data presented in the previous sections was plotted as a function of the square root of annealing time t1 2 for the range 15 to 120 minutes Figures and . Note the square root of annealing time is expressed in seconds in Figures and . The plots of thickness x versus square root of time are straight lines which imply that the oxide growth follows a parabolic growth behavior x2 t . In Figure the slopes of the 500 and 600 C are almost parallel compare to the 400 C anneal. For the thicker Al 30 nm the lines are almost all parallel to each other Figure . The diffusion coefficient D for the different bilayers Ag 200 nm Al 20 nm and Ag 200 nm Al 30 nm systems annealed at different temperatures were determined by taking the squares of the slopes of the plots in Figures and . The results of these diffusion coefficients are given in Table and reflect the behavior of the plots of thickness versus time1 2. The diffusion coefficient increases as a function of temperature and is the highest for the 600 C anneal. It was found that the growth rates are much higher in Ag 200 nm Al 20 nm than those in Ag 200 nm Al 30 nm bilayers. 90 Silver Metallization Table . Effect of temperature on the rate constants in the Ag Al bilayer system for annealing times greater than 15 minutes 8 Temperature C .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• ngành cơ khí
• động cơ máy
• nguyên lí hoạt động
• hệ thống máy móc
• cơ khí hóa
• động cơ máy móc
• chế tạo động cơ
• Ngành công nghiệp cơ khí
• Phát triển ngành công nghiệp cơ khí
• Định hướng ngành công nghiệp cơ khí
• Nền kinh tế quốc dân
• Tìm hiểu ngành công nghiệp cơ khí
• Tham khảo ngành công nghiệp cơ khí
• Dự báo phát triển ngành Cơ khí
• Cơ khí xây dựng
• Cơ khí giao thông vận tải
• Cơ khí nông nghiệp
• Cơ sở sản xuất ngành Cơ khí
• Chương trình đào tạo Cơ khí ô tô
• Ngành Cơ khí ô tô
• Cơ khí ô tô
• Giới thiệu Cơ khí ô tô
• Tìm hiểu ngành Cơ khí ô tô
• Kiến thức ngành Cơ khí ô tô
• Từ điển chuyên ngành cơ khí
• Từ điển chuyên ngành ô tô
• Từ vựng chuyên ngành cơ khí
• Từ điển chuyên ngành Cơ khí ô tô
• Anh Văn chuyên ngành cơ khí
• Tiếng Anh chuyên ngành ô tô
• Đào tạo ngành Cơ khí
• Chất lượng đào tạo ngành Cơ khí
• Đồ án chi tiết máy
• Nâng cao chất lượng ngành Cơ khí
• Thiết kế chế tạo chi tiết máy
• Ngành cơ khí chế tạo Việt Nam
• Ngành cơ khí chế tạo
• Thúc đẩy ngành cơ khí chế tạo
• Công nghiệp sản xuất
• Phát triển ngành cơ khí chế tạo
• Ngành công nghiệp cơ khí Việt Nam
• Tiến trình hội nhập kinh tế quốc tế
• Công nghiệp cơ khí
• Hội nhập kinh tế quốc tế
• Thực trạng ngành công nghiệp cơ khí
• Đề thi học kỳ
• Đề thi Anh văn chuyên ngành cơ khí
• Bài tập Anh văn chuyên ngành cơ khí
• Cơ khí chế tạo máy
• Đề thi cuối học kỳ II
• Đào tạo nguồn lực ngành cơ khí
• Chiến lược phát triển ngành cơ khí
• Cơ khí chế tạo
• Đào tạo nguồn nhân lực
• Chiến lược phát triển khoa học công nghệ
• Giáo trình khí nén điện khí nén
• cơ khí đại cương
• tài liệu cơ khí
• chuyên ngành cơ khí
• lý thuyết cơ khí
• giáo trình cơ khí đại cương
• bài giảng cơ khí
• Anh văn chuyên ngành
• Báo cáo thực tập ngành cơ khí
• Thực tập ngành cơ khí
• Luận văn cơ khí
• Công nghệ chế tạo cơ khí
• Kỹ thuật cơ khí
• Đề tài kỹ thuật cơ khí
• từ điển chuyên ngành
• tiếng anh chuyên ngành
• từ vựng cơ khí
• thuật ngữ cơ khí
• Từ vựng Tiếng Anh
• Từ vựng Tiếng Anh chuyên ngành Cơ khí
• Tiếng Anh chuyên ngành Cơ khí
• Tiếng Anh cho người đi làm
• Tổng hợp từ vựng Tiếng Anh ngành Cơ khí
• Giáo trình cơ khí
• Cơ sở tự động hóa ngành cơ khí
• Điều khiển tự động
• Tự động hóa ngành cơ khí
• Nguyên tắc điều khiển tự động
• phương pháp tính
• Công nghiệp cơ khí Việt Nam
• Thương mại hóa
• Kinh tế quốc tế
• Luận văn công nghiệp cơ khí
• Tiếng Anh cơ khí ô tô
• Tiếng Anh chuyên ngành cơ khí ô tô
• Special English for automobile engineering
• Từ vựng tiếng Anh chuyên ngành ô tô
• Giáo trình tuoc bin nhiệt điện
• cơ khí đại cương
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt