TAILIEUCHUNG - Giáo trình CÔNG NGHỆ VI ĐIỆN TỬ - Chương 3

Chương 3:Công nghệ xử lý CMOS CÔNG NGHỆ XỬ LÝ CMOS Quy trình tạo Wafer Silic là chất bán dẫn trong trạng thái tinh khiết hay bán dẫn thuần, là chất có độ dẫn điện nằm giữa chất dẫn điện và chất cách điện. Độ dẫn điện của bán dẫn có thể thay đổi bằng cách pha tạp chất vào Silic từ đó hình thành hai loại chất bán dẫn mới là n và p, tùy thuộc vào nồng độ pha mà ta có n+ và p+. Từ một lò nấu nỏng chảy Silic đa tinh thể kéo ra được thỏi. | Chương 3 Công nghệ xử lý CMOS Chương 3 CÔNG NGHỆ XỬ LÝ CMOS Quy trình tạo Wafer Silic là chất bán dẫn trong trạng thái tinh khiết hay bán dẫn thuần là chất có độ dẫn điện nằm giữa chất dẫn điện và chất cách điện. Độ dẫn điện của bán dẫn có thể thay đổi bằng cách pha tạp chất vào Silic từ đó hình thành hai loại chất bán dẫn mới là n và p tùy thuộc vào nồng độ pha mà ta có n và p . Từ một lò nấu nỏng chảy Silic đa tinh thể kéo ra được thỏi Silic đơn tinh thể bằng cách dùng thạc anh làm mồi và kéo lên phương pháp này gọi là phương pháo Czochralski. Ngày nay phương pháp phổ biến là sản xuất thẳng vật liệu đơn tinh thể bằng cách cho lượng tạp chất bổ sung vào Silic nóng chảy để cho đơn tinh thể với các chất dẫn điện theo yêu cầu. Beginning of crystal growth Hình Phương pháp Czochralski 10 Chương 3 Công nghệ xử lý CMOS Melting of Introduction of Beginning of polysilicon the seed crystal the crystal doping growth Crystal Formed crystal pulling with a residu of melted silicon Hình Thỏi Silic được kéo ra Từ một thỏi Silic hình trục cưa ngang ta được các miếng wafer. b Grind c Saw off ingot into ingot to ingot wafers -diameter ends damage Hình Các tạo một wafer 11 Chương 3 Công nghệ xử lý CMOS Có nhiều độ rộng wafer khác nhau và càng ngày kích thước càng được tăng rộng Single die ----Wafer AMDỈ1 th on Hình Hình dạng và kích thước wafer Phương pháp khuếch tán và bắn electron Để tạo nên các linh kiện khác nhau thì cần phải có các bán dẫn khác nhau như n p n và p . Để tạo được các chất bán dẫn khác nhau cần phải pha tạp chất với những tỷ lệ khác nhau muốn làm được điều này cần phải sử dụng Epitaxy lắng đọng hay nuôi cấy và khuếch tán. Epitaxy bao hàm việc nuôi một màng đơn tinh thể lên bề mặt của Silic đã là đơn tinh thể rồi bằng đưa bề mặt wafer chịu nhiệt độ nâng cao và nguồn của chất pha vào. Lắng đọng phải bao hàm quá trình bốc hơi vật liệu kích thích vào vật liệu Silic theo sau bằng một .

• Điện - Điện tử
• vi điện tử
• công nghệ điện tử
• mạch tích hợp IC
• chất bán dẫn
• công nghệ vi xử lý
• Kỹ thuật vi điện tử
• Sách điện tử viễn thông
• Chế tạo vi điện tử
• Cấu trúc mạch vi điện tử
• Một số họ vi mạch cơ bản
• mạch điện ứng dụng
• vi mạch điện tử
• linh kiện điện tử
• điện gia dụng
• điện tử công suất
• điện tử số
• điện tử
• giáo trình điện tử
• tài liệu điện tử
• bải giảng điện tử
• lý thuyết điện tử
• Ví điện tử trên điện thoại di động
• Ví điện tử cá nhân
• Ví điện tử doanh nghiệp
• Thanh toán bằng ví điện tử
• Đề tài Ví điện tử
• Đề tài Thương mại điện tử
• điện tử ứng dụng
• kỹ thuật công nghệ
• điện điện tử
• Giáo trình điện tử vi mạch điện tử số
• Điện tử vi mạch
• Cơ sở toán học của điện tử số
• Các cổng logic cơ bản
• Hiển vi điện tử
• Khoa học sự sống
• Tiêu bản hiển vi điện tử truyền qua
• Kính hiển vi điện tử truyền qua
• Kính hiển vi điện tử quét
• Máy kinh vĩ điện tử
• Hướng dẫn sử dụng máy kinh vĩ
• Cách sử dụng máy kinh vĩ điện tử
• Cấu tạo máy kinh vĩ điện tử
• Tìm hiểu máy kinh vĩ điện tử
• Bài giảng Ví thanh toán điện tử
• Ví thanh toán điện tử
• Tài khoản điện tử
• Công cụ thanh toán điện tử
• Xây dựng ví thanh toán điện tử
• Ví điện tử
• kỹ thuật mạch điện tử
• bài giảng điện tử
• tài liệu mạch điện tử
• Dịch vụ Vi thanh toán
• dịch vụ ngân hàng điện tử
• sự phát triển ngân hàng điện tử
• Các hệ logic tổ hợp
• Hệ logic tuần tự
• Chuyển đổi tin hiệu
• giáo trình kỹ thuật điện
• đề cương vi xử lí
• vi điều khiển
• tài liệu vi điều khiển
• giáo trình vi điều khiển
• lý thuyết vi điều khiển
• chuyên ngành điện tử
• Bài giảng Pháp luật thương mại điện tử
• Pháp luật thương mại điện tử
• Giải quyết tranh chấp trong thương mại điện tử
• Vi phạm pháp luật trong thương mại điện tử
• Phương thức giải quyết tranh chấp thương mại điện tử
• Phòng ngừa vi phạm pháp luật trong thương mại điện tử
• Thiết kế cung cấp điện
• thiết bị điện
• tính toán phụ tải
• Thiết kế sơ đồ cấp điện
• hệ thống điện
• giáo trình thiết kế điện
• giáo trình mạch điện tử
• Trường điện từ
• tài liệu môn điện
• Thương mại điện tử
• Vi thanh toán
• Tài liệu thương mại điện tử
• Thanh toán siêu nhỏ
• Thanh toán qua mạng
• Cồng thanh toán
• vi xử lý
• Bài giảng vi điện tử
• mạch tích hợp