TAILIEUCHUNG - Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 17

Tham khảo tài liệu 'microsensors, mems and smart devices - gardner varadhan and awadelkarim part 17', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Appendix G Properties of Electronic MEMS Semiconducting Materials Table Physical properties of common semiconductor materials used in microsensor and MEMS technology. Values are taken at 20 C where appropriate unless stated otherwise. Source most of the values were taken from either the Handbook of Chemistry and Physics CRC Press Inc. or MacMillans Chemical and Physical Data James and Lord MacMillans Press Ltd 1992 . These values are intended only as a guide and we recommend wherever possible validation against other sources Property Material Si c Poly-Si Ge c1 GaAs Density Pm kg m3 2330 2320 5350 3510 5316 Melting point T mpi C 1410 937 3827 1238 Boiling point Tbp C 2355 - 2830 4827 N A Electrical conductivity ơ 103 s cm 4 X 10 3 - 3 X 10 5 1017 -105 Energy band gap E eV Thermal conductivity k W hi K 168 34 60 1000-2600 370 Specific heat capacity Cp J K kg 678 678 310 523 - Temperature expansivity 10-6 K 1 Dielectric constant - 12 Young s modulus Em GPa 1901 161 - 542 - Yield strength Y GPa - - - - Breakdown field MV cm - - in diamond form and 111 Miller index. This page intentionally left blank Appendix H Properties of Electronic MEMS Ceramic and Polymer Materials Table Physical properties of common ceramic and insulating materials used in microsensor and MEMS technology. Values are taken at 20 C where appropriate unless stated otherwise. Source most of the values were taken from either the Handbook of Chemistry and Physics CRC Press Inc. or MacMillans Chemical and Physical Data James and Lord MacMillans Press Ltd 1992 . These values are intended only as a guide and we recommend where possible validation against other sources Property Material A12O3 SiO2 Quartz II c Quartz c SiC SÌ3N4 ZnO Density Pm kg m3 3965 2200 2650 2650 3216 3100 5606 Melting point TmpCC 2045 1713 - - 3070 1900 1975 Boiling point 7 bp C 2980 2230 - - - - - Thermal conductivity c W m K 38 12 110 20 6 .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp