TAILIEUCHUNG - MEMS Mechanical Sensors - Stephen Beeby Part 13

Tham khảo tài liệu 'mems mechanical sensors - stephen beeby part 13', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 230 Flow Sensors Table Data for Commercial Flow Sensors Company Flow Range Sensitivity Response Time Fluid Operating Maximum Resolution Temperature Overpressure Robert Bosch 1 000 kg h Air -40 C to GmbH 73 120 C HL Planartech- Air -40 C to nik GmbH 74 120 C Fraunhofer Institute for Silicon 2-700 g s 2 ms Air Technology 75 HSG-IMIT 61 10ul h to 5 l h 4 mV K 5 ms Liquid slpm1 4 mV K 5 ms Gas Sensirion AG 150 nl min to 50 nl min 20 ms Water 10 C to 5 bar 62 1 500 ul min 50 C 1 nl min up to 50 ul min 50 ms Water 100 bar sccm2 sccm2 Nitrogen 2 bar bypass 100 Nitrogen 0 C to l min 70 C Leister 77 sccm2 2 ms Gas -10 C to 70 C 10 bar SLS Micro Tech- 000 mV ul 230 us Gas -20 C to bar nology 78 sccm2 with bypass 120 C GeSiM 79 1-70 ul min 100 uV ul min Water 40 bar Mierij Meteo m s 0 to 360 1 sec Air -25 C to 80 70 C 1 slpm standard liter per minute. 2 1 000 sccm 1 l min. pressure drop along a flow channel with known fluidic resistance Rf and calculating the flow Q from the fluidic equivalent to Ohm s law Q Ap Rf. It is comparable to measuring the current Q in an electric circuit by sensing the voltage drop Ap over a fixed resistance Rf . The sensor presented by Cho et al. 81 uses a silicon-glass structure with capacitive read-out Figure a . Fluid enters the chip through the inlet at pressure p1 flows through a channel and leaves the sensor with pressure pr If the flow channel is small enough to create a resistance to the flow a pressure drop Ap appears across the channel. The pressure above the membrane and the pressure at the inlet are kept equal. The pressure difference is measured by a capacitive pressure sensor which is switched at 100 kHz. Capacitive pressure sensing principles are also used in the devices described by Oosterbroek 82 83 . In addition a hybrid piezoresistive readout was fabricated. Two separate capacitive pressure sensors were used for the sensor shown in Figure b . This enables the .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp