TAILIEUCHUNG - The Materials Science of Thin Films 2011 Part 5

Tham khảo tài liệu 'the materials science of thin films 2011 part 5', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 178 Chemical Vapor Deposition SUSCEPTOR WAFERS .7- -TO VENT B2H6 mixtures generate BPSG. As noted in Section LPCVD processes have largely surpassed atmospheric CVD methods for depositing such films. - GAS FLOW RF HEATING o RADIANT HEATING Figure 4-13. Schematic diagrams of reactors employed in epitaxial Si deposition top horizontal lower left pancake lower right barrel. Reprinted with permission from John Wiley and Sons from s. M. Sze Semiconductor Devices Physics and Technology Copyright 1985 John Wiley and Sons . . High-Temperature Systems There is need to reduce semiconductor processing temperatures but the growth of high-quality epitaxial thin films can only be achieved by high-temperature CVD methods. This is true of Si as well as compound semiconductors. High-temperature atmospheric systems are also extensively employed in metallurgical coating operations. The reactors can be broadly divided into hot-wall and cold-wall types. Hot-wall reactors are usually tubular in form and heating is accomplished by surrounding the reactor with resistance elements. An example of such a reactor for the growth of single-crystal compound semiconductor films by the hydride process was given in Fig. 4-3. Higher temperatures are maintained in the source and reaction zones 800-850 C relative to the deposition zone 700 C . Prior to deposition the substrate is sometimes . CVD Processes and Systems 179 etched by raising its temperatures to 900 C. Provision for multiple temperature zones is essential for efficient transport of matrix as well as dopant atoms. By programming flow rates and temperatures the composition doping level and layer thickness can be controlled making it possible to grow complex multilayer structures for device applications. Cold-wall reactors are utilized extensively for the deposition of epitaxial Si films. Substrates are placed in good thermal contact with SiC-coated graphite susceptors which can be inductively heated while the .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp