TAILIEUCHUNG - Phún xạ phần 2

Tham khảo tài liệu 'phún xạ phần 2', kỹ thuật - công nghệ, năng lượng phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Phún xạ tiếp Hệ thống phóng điện cải tiến cho phún xạ Các thông số công nghệ thường dùng GAS MANIFOLD He0 s H2Q CATHODE rf OR de IN PUT Chân không 10-7torr Áp suất hơi Ar 1 - 5 mtorr - Điện áp 500 -1000 V một chiều hay xoay chiều tần số radio WATER- COOLED THERMIONIC EMITTER ROTATING SHUTTER - -H2O 1HZ SUBSTRATE HEATER . - DARK SPACE SHIELD ANODE IOOV PUMPING SYSTEM SUBSTRATE PLATEN rf OR de INPUT 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 11 Phún xạ tiếp Phún xạ hóa học Trong quá trình phún xạ một hay nhiều thành phần của vật liệu màng mỏng phún xạ tồn tại dưới dạng các ion tổ hợp mang điện và được vận chuyển bởi điện trường. Tại không gian gần tại bề mặt đế các thành phần đó tham gia phản ứng hóa học với các thành phần khác sẵn có hay cũng được vận chuyển tới để tạo thành vật liệu cuối cùng và lắng đọng trên bề mặt đế. Cần để ý tới hiện tượng ăn mòn rỉ do môi trường khí. 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 12 Phún xạ tiếp Phún xạ một chiều DC và xoay chiều tần số radio RF MATCHING NETWORK 13 56MHz r -V DC INSULATION TARGET J GLOW DISCHARGE SUBSTRATES ANODE GLOW DISCHARGE SPUTTERING VACUUM GAS SPUTTERING VACUUM GAS 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội .

• Năng lượng
• bản chất phún xạ
• kỹ thuật phún xạ
• quá trình phún xạ
• ưu điểm phún xạ
• tài liệu phún xạ
• Chế tạo vật liệu từ cấu trúc Nano
• Kỹ thuật mạ điện
• Phương pháp bay bốc nhiệt
• Epitaxy chùm phân tử
• Bản chất quá trình phún xạ
• Phún xạ catốt
• Phương pháp phún xạ magnetron
• Phún xạ magnetron
• Chế tạo màng mỏng
• Phương pháp chế tạo màng mỏng
• Tìm hiểu phún xạ magnetron
• Hướng dẫn phún xạ magnetron
• Phương pháp phún xạ Magnetron RF
• Bài thuyết trình Vật lý
• Phương pháp phún xạ
• Hệ số phún xạ
• Phún xạ Magnetron DC
• Sự ảnh hưởng dòng phún xạ
• Dòng phún xạ
• Tính chất quang xúc tác màng TiO2
• Phương pháp phún xạ Magnetron DC
• Sự ủ nhiệt
• Độ gồ ghề RMS
• Màng dẫn điện trong suốt SnO2Ga
• Màng dẫn điện
• Ảnh nhiễu xạ tia X
• thiết bị phún xạ
• Sơ đồ bố trí
• Bia Phiến bán dẫn Đế
• Bơm chân không
• Nguyên tử phún xạ
• Bài thuyết trình Màng từ
• Bộ phận thiết bị phún xạ
• Cơ chết thực hiện quá trình phún xạ
• Đặc điểm hạt nguyên tử
• Bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm
• Khái niệm phún xạ
• Điều kiện cần cho phún xạ
• Sản sinh plasma
• Phóng điện Townsend
• Chế tạo nhiệt độ màng SnO
• Phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC
• Phương pháp phún xạ phản ứng
• Phún xạ kim loại
• Linh kiện quang điện
• báo cáo khoa học
• Màng dẫn điện trong suốt
• SnO2Sb TCO
• đế thủy tinh
• màng dẫn điện trong suốt SnO2Sb
• Tiểu luận Vật lý
• Nghiên cứu chế tạo màng ITO
• Màng trong suốt dẫn điện
• Công suất phún xạ
• Xử lý nhiệt sau khi phủ
• Bước tạo màng ITO
• Tính chất của màng ITO
• Độ dày màng ITO
• Nghiên cứu chế tạo màng TiN
• Chế tạo màng TiN
• Màng Titanium nitride
• Phương pháp bốn mũi dò
• Chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO
• Chế tạo màng dẫn điện
• Vùng ánh sáng khả kiến
• Ma sát màng cacbon
• Mòn màng cacbon
• Cacbon giống kim cương
• Mô hình thử ma sát
• Dây nanô SnO2
• Biến tính bề mặt
• Cảm biến khí H2S
• Phún xạ trực tiếp Cu
• Phương pháp bốc bay nhiệt
• Phún xạ magnetron rf
• Hệ số ma sát
• Thể tích mài mòn
• Chống mài mòn TiZrN
• Cấu trúc của màng ZnO
• Cấu trúc của màng Ag chế tạo
• Phương pháp phún xạ r f magnetron
• ZnO pha tạp Ag
• Nhiễu xạ tia X
• Đề tài Vật lý
• Nghiên cứu chế tạo màng WO3
• Vật liệu điện sắc WO3
• Tính chất vật liệu điện sắc WO3
• Chế tạo màng WO3
• Luận văn Thạc sĩ
• Luận văn Thạc sĩ Khoa học
• Vật liệu màng mỏng
• Vật liệu TiO2
• vật liệu TiO2 pha tạp
• Kim loại học
• Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu
• Luận án Tiến sĩ
• Khoa học vật liệu
• Màng phủ nitrua
• Hợp kim cứng WC Co
• Phương pháp chế tạo màng từ
• Phương pháp đo tính chất màng từ
• Ứng dụng của màng từ
• Phóng điện phún xạ
• Cơ chế phún xạ