TAILIEUCHUNG - Photolithographic Process

(a) Substrate covered with silicon dioxide barrier layer (b) Positive photoresist applied to wafer surface (c) Mask in close proximity to surface (d) Substrate following resist exposure and development (e) Substrate after etching of oxide layer (f) Oxide barrier on surface after resist removal (g) View of substrate with silicon dioxide pattern on the surface. • Each mask step requires many individual process steps • Number of masks is a common measure of overall process complexity | Photolithographic Process Substrate covered with silicon dioxide barrier layer Positive photoresist applied to wafer surface Mask in close proximity to surface Substrate following resist exposure and development Substrate after etching of oxide layer Oxide barrier on surface after resist removal View of substrate with silicon dioxide pattern on the surface For the exclusive use of adopters of the book Introduction to Microelectronic Fabrication, Second Edition by Richard C. Jaeger. ISBN0-201-44494-1. © 2002 Pearson Education, Inc., Upper Saddle River, NJ. All rights reserved. This material is protected under all copyright laws as they currently exist. No portion of this material may be reproduced, in any form or by any means, without permission in writing from the publisher. Photolithographic Process Each mask step requires many individual process steps Number of masks is a common measure of overall process complexity For the exclusive use of adopters of the book Introduction to .

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.