Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Điện - Điện tử
Nghiên cứu ảnh hưởng của quá trình ăn mòn đến điện trở suất tiếp giáp Ohmic của linh kiện AlGaN/GaN HEMT
TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu ảnh hưởng của quá trình ăn mòn đến điện trở suất tiếp giáp Ohmic của linh kiện AlGaN/GaN HEMT
Bài viết tìm hiểu ảnh hưởng của quá trình ăn mòn bằng nguồn plasma cảm ứng cao tần (ICP) tới điện trở suất tiếp giáp kim loại - bán dẫn đã được nghiên cứu bằng phương pháp đường truyền tuyến tính. | JST Engineering and Technology for Sustainable Development Vol. 1 Issue 2 April 2021 095-100 Nghiên cứu ảnh hưởng của quá trình ăn mòn đến điện trở suất tiếp giáp Ohmic của linh kiện AlGaN GaN HEMT Studying the Effect of Etching Process on the Ohmic Specific Contact Resistance of AlGaN GaN HEMT Nguyễn Trung Đô Lưu Thị Lan Anh Lê Thị Hồng Liên Nguyễn Hoàng Thoan Nguyễn Ngọc Trung Trường Đại học Bách khoa Hà Nội Hà Nội Việt Nam Email Tóm tắt Trong các linh kiện điện tử từ mạch tích hợp đến pin mặt trời giá trị điện trở suât ρc tiếp giáp Ohmic giữa kim loại và bán dẫn là thước đo hiệu suất của thiết bị. Trong bài báo này ảnh hưởng của quá trình ăn mòn bằng nguồn plasma cảm ứng cao tần ICP tới điện trở suất tiếp giáp kim loại - bán dẫn đã được nghiên cứu bằng phương pháp đường truyền tuyến tính LTLM . Kết quả thu được cho thấy lựa chọn độ sâu và chế độ công nghệ phù hợp cho quá trình ăn mòn bằng phương pháp ICP trước khi phủ kim loại là một công đoạn có tính quyết định trong việc chế tạo tiếp giáp Ohmic có điện trở suất thấp. Giá trị điện trở Ohmic chế tạo được thấp nhất khi độ sâu ăn mòn đảm bảo cho các lớp kim loại phủ lên vùng AlGaN pha tạp với khoảng cách bên trên bề mặt lớp 2DEG của cấu trúc AlGaN GaN HEMT khoảng 8 nm. Với công suất của nguồn ion là 30 W và công suất nguồn plasma là 250 W tốc độ ăn mòn vật liệu AlGaN là khoảng 27 21 nm phút. Điện trở suất tiếp giáp Ohmic của các lớp kim loại Ti 20 nm Al 200 nm Pd 60 nm Au 100 nm với bán dẫn AlGaN có giá trị thấp nhất là ρc 1 08 x mặc dù mẫu chỉ ủ ở nhiệt độ tương đối thấp là 650oC trong môi trường khí Nitơ. Từ khóa GaN AlGaN transistor độ linh động điện tử cao điện trở suất tiếp giáp Ohmic quá trình ăn mòn ICP. Abstract In electronic devices ranging from integrated circuits to solar cells the Ohmic specific contact resistance between metal and semiconductor is a measure of device performance. In this paper the effect of Induction Coupled Plasma etching ICP on creating .
Thảo Nhi
59
6
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Bài giảng Cấu kiện điện tử: Chương 4 - ĐH Nha trang
37
76
1
Bài giảng Kỹ thuật điện tử - Chương 3: Transistor lưỡng cực (Bipolar Junction Transistor - BJT) - ThS. Lê Thị Kim Anh
36
113
2
Bài giảng Linh kiện điện tử: Chương 4 - Nguyễn Văn Hân
37
81
2
Bài giảng kỹ thuật điện tử (Lê Thị Kim Anh) - Chương 3
36
76
1
Bài giảng Kỹ thuật điện tử: Chương 3 - Lê Chí Thông (ĐH Bách khoa TP.HCM)
21
50
1
Bài giảng Cấu kiện điện tử: Chương 5 - ĐH Nha trang
25
98
1
Bài giảng Kỹ thuật điện tử: Chương 3 - Lê Chí Thông (ĐH Bách khoa TP.HCM)
21
53
1
Luận văn Thạc sĩ Vật lý: Nghiên cứu ảnh hưởng của độ dày thân linh kiện tới đặc tính điện của transistor hiệu ứng trường xuyên hầm có cấu trúc lưỡng cổng
87
57
2
Bài giảng Điện tử cơ bản: Chương 3 - ThS. Nguyễn Lê Tường
27
47
3
Nghiên cứu khả năng phát hiện phần tử DNA và độ pH của cảm biến dùng transistor hiệu ứng trường điện cực cổng kép
5
76
0
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
462051
59
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
23747
74
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
11118
535
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10355
458
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9635
106
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8630
1148
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8356
423
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7942
2249
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6976
260
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
6695
1606
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Điện - Điện tử
Transistor độ linh động điện tử cao
Điện trở suất tiếp giáp Ohmic
Quá trình ăn mòn ICP
Linh kiện AlGaN/GaN HEMT
Điện trở suất tiếp giáp Ohmic
Kỹ thuật điện tử
Bài giảng môn Kỹ thuật điện tử
Linh kiện thụ động
Đo lường bằng máy hiện sóng
Linh kiện bán dẫn
Transistor BJT
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
TƯƠNG QUAN GIỮA MÔ HỌC, GIẢI PHẪU VÀ HÌNH ẢNH CỦA CÁC KHỐI U PHẦN PHỤ
3
190
1
26-06-2024
Bài Tiểu Luận Chuyên Đề Tổ Chức Hoạt Động Nhận Thức Trong Dạy Học Vật Lý " Định Luật Ôm Cho Các Loại Đoạn Mạch Chứa Nguồn Điện"
10
179
3
26-06-2024
MẪU GIẤY PHÉP VẬN TẢI LOẠI C
2
136
0
26-06-2024
Báo cáo nghiên cứu nông nghiệp " Biofertiliser inoculant technology for the growth of rice in Vietnam: Developing technical infrastructure for quality assurance and village production for farmers "
12
112
0
26-06-2024
ĐỀ THI THỬ ĐẠI HỌC 2009 – THPT ĐÔNG SƠN 1 – LẦN 2 – MÔN TOÁN
8
123
1
26-06-2024
The Constituents of Medicinal Plants
185
136
0
26-06-2024
Đề tài " Dự báo về tác động của Tổ chức Thương mại Thế giới WTO đối với các doanh nghiệp xuất khẩu vừa và nhỏ Việt Nam – Những giải pháp đề xuất "
72
154
0
26-06-2024
Báo cáo " Bàn về hành vi pháp luật và hành vi đạo đức "
11
142
1
26-06-2024
Báo cáo y học: "Effectiveness of injectable risperidone long-acting therapy for schizophrenia: data from the US, Spain, Australia, and Belgium"
7
108
0
26-06-2024
ETHICAL CODE HANDBOOK: Demonstrate your commitment to high standards
7
117
0
26-06-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7942
2249
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
6695
1606
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
4003
1299
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5685
1193
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8630
1148
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3633
665
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3845
601
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4378
543
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
11118
535
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4291
483
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.