Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Cơ khí - Chế tạo máy
Nghiên cứu chế tạo khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực
TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu chế tạo khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực
Tham khảo sách 'nghiên cứu chế tạo khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | NGHIÊN cứu CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT CÁC ĐẶC TRUNG CỦA CẢM biến VI Cơ ĐO Lực Vũ Ngọc Hùng Nguyễn Đức Chiến Trịnh Quang Thông Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu ITIMS Đinh Văn Dũng Khoa Vật lý Truờng ĐhSp Hà nội 2 Tóm tắt Các cảm biến đo lực kích thước nhỏ chế tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kế và chế tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biến này gồm một màng silic chiều dày cữ 45 micron ở tâm có thiết kế thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở hoặc điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lôi ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý qui trình chế tạo và các khảo sát đặc trưng của cảm biến. Fabrication and characterization of michromachined force sensors Abstract Silicon micromachined force sensors have been designed and fabricated successfully for the first time in Vietnam by the MEMS group at ITIMS. The structure of the sensors consists of a membrane with a stiff center the membrane thickness is about 45 microns the stiff center serves as a forced point. The mechanical signal is converted into output voltage signal by a Wheastone resistor bridge or 4 terminal gage diffused on the membrane. In this paper the sensor configuration fabrication process and characteristics have been presented. 1. MỞ ĐẦU Các cấu trúc đo tín hiệu co tiêu biểu thuờng có dạng các màng hoặc các thanh dầm đuợc chế tác 3 chiều từ các vật liệu khối. Chỉ có thể chế tạo các cấu trúc này với độ chính xác cao nhờ công nghệ vi co micromachining technology . Do tính đặc thù cũng nhu khả năng đặc biệt của công nghệ vi co công nghệ này đã đuợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nhu trong công nghiệp kỹ thuật y tế quân sự . Trong những năm gần đây với sự hỗ trợ đắc lực của công nghệ vi điện tử và công nghệ tin học công nghệ vi co đã phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật .
Xuân Bình
69
6
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Nguyên lý cắt : CƠ SỞ LÝ THUYẾT VÀ NGUYÊN LÝ CẮT GỌT part 1
5
93
0
Nguyên lý cắt : CƠ SỞ LÝ THUYẾT VÀ NGUYÊN LÝ CẮT GỌT part 2
5
113
1
Nguyên lý cắt : CƠ SỞ LÝ THUYẾT VÀ NGUYÊN LÝ CẮT GỌT part 3
5
124
0
Nguyên lý cắt : CƠ SỞ LÝ THUYẾT VÀ NGUYÊN LÝ CẮT GỌT part 4
4
90
0
Nguyên lý cắt : CẮT REN part 1
6
90
0
Nguyên lý cắt : CẮT REN part 2
6
95
1
Nguyên lý cắt : CẮT REN part 3
5
93
0
Nguyên lý cắt : CẮT RĂNG part 1
5
85
1
Nguyên lý cắt : CẮT RĂNG part 2
5
68
0
Nguyên lý cắt : CẮT RĂNG part 3
5
81
0
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
461913
55
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
22862
64
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10950
531
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10136
449
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9555
104
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8336
1127
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8268
423
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7881
2224
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6763
253
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5942
1435
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Cơ khí - Chế tạo máy
Nguyên lý cắt
nguyên lý hàn
kỹ thuật cắt kim loại
kỹ thuật hàn hồ quang
biến dạng dẻo
mảng nhiệt
bài giảng Nguyên lý cắt
tài liệu Nguyên lý cắt
đề cương Nguyên lý cắt
giáo trình Nguyên lý cắt
lý thuyết Nguyên lý cắt
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Giáo án mầm non chương trình đổi mới: Đề tài: Ôn xác định vị trí trên – dưới, trước- sau của đối tượng khác.
8
359
3
10-05-2024
Đánh giá hao mòn và độ tin cậy của chi tiết và kết cấu trên đầu máy diezel part 3
12
319
0
10-05-2024
TƯƠNG QUAN GIỮA MÔ HỌC, GIẢI PHẪU VÀ HÌNH ẢNH CỦA CÁC KHỐI U PHẦN PHỤ
3
171
0
10-05-2024
MySQL Database Usage & Administration PHẦN 7
37
163
0
10-05-2024
Đóng mới oto 8 chỗ ngồi part 9
10
123
0
10-05-2024
báo cáo hóa học:" Endoscopic decompression for intraforaminal and extraforaminal nerve root compression"
7
113
0
10-05-2024
QUẢN LÝ CHẤT LƯỢNG KHÔNG KHÍ
75
140
0
10-05-2024
Báo cáo tốt nghiệp: Vận hành và bảo dưỡng trong MPLS
92
147
3
10-05-2024
Data Structures and Algorithms - Chapter 9: Hashing
54
117
0
10-05-2024
Data Structures and Algorithms - Chapter 8: Heaps
41
125
0
10-05-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7881
2224
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5942
1435
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
3779
1247
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5373
1137
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8336
1127
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3531
651
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10950
531
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3719
525
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4130
522
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4157
481
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.