TAILIEUCHUNG - Non-Destructive Resonant Frequency Measurement on MEMS Actuators

Resonant frequency measurements provide useful insight into the repeatability of MicroElectroMechanical Systems (MEMS) manufacturing processes. Several techniques are available for making this measurement. | Non-Destructive Resonant Frequency Measurement on MEMS Actuators Norman F. Smith1 Danelle M. Tanner1 Scot E. Swanson1 and Samuel L. Miller2 Sandia National Laboratories . Box 5800 MS 1081 Albuquerque NM 87185-1081 email smithnf@ http 2MEMX Inc. 5600 Wyoming Blvd. NE Suite 20 Albuquerque NM 87109 Abstract Resonant frequency measurements provide useful insight into the repeatability of MicroElectroMechanical Systems MEMS manufacturing processes. Several techniques are available for making this measurement. All of these techniques however tend to be destructive to devices which experience sliding friction since they require the device to be operated at resonance. A non-destructive technique will be presented which does not require the device to be continually driven at resonance. This technique was demonstrated on a variety of MEMS actuators. Introduction Parametric measurements are at the heart of microelectronics manufacturing. These measurements allow the manufacturing processes to be continually monitored and corrections to be made when necessary. Without these crucial measurements the mass production of microelectronics would soon be impossible. The growing MEMS industry is in need of similar parametric measurements that can provide the insight required to control these processes. This will provide the yields necessary for inexpensive mass production of microsystems devices. Some of the required parametric measurements for MEMS such as sheet resistance contact resistance and electrical line width are directly transferable from the microelectronics industry. MEMS devices also require measurements that have no microelectronics counterpart. Resonant frequency measurements are one of those with no microelectronics counterpart. Several techniques are available to measure resonant frequency. These techniques range from manual and computer-controlled blurenvelope techniques 1 to sophisticated electronic measurements 2 . All of these .

• Tự động hoá
• Điện – điện tử
• Tự động hóa
• Cơ khí chế tạo máy
• Kiến trúc xây dựng
• kỹ thuật viễn thông
• mạch điện ứng dụng
• vi mạch điện tử
• linh kiện điện tử
• điện gia dụng
• điện tử công suất
• điện tử số
• công nghệ điện tử
• điện tử
• giáo trình điện tử
• tài liệu điện tử
• bải giảng điện tử
• lý thuyết điện tử
• Cơ sở mạch điện
• giáo trình Cơ sở mạch điện
• tổng quan Cơ sở mạch điện
• tài liệu Cơ sở mạch điện
• mạch điện
• Mạch điện tử
• giáo trình Mạch điện tử
• bài giảng Mạch điện tử
• tài liệu Mạch điện tử
• đề cương Mạch điện tử
• lý thuyết Mạch điện tử
• Thương mại điện tử
• Tài liệu về thương mại điện tử
• Giáo trình thương mại điện tử
• Bài giảng thương mại điện tử
• Đặc trưng của thương mại điện tử
• Loại hình giao dịch thương mại điện tử
• Hoạt động thương mại điện tử
• Kinh doanh điện tử
• Thư điện tử
• Thanh toán điện tử
• Giao dịch ngân hàng
• Trao đổi dữ liệu điện tử
• Túi tiền điện tử
• Giao dịch ngân hàng số hóa
• Hình thức kinh doanh thương mại điện tử
• Tổng quan thương mại điện tử
• Đặc trưng thương mại điện tử
• Lợi ích thương mại điện tử
• Hạn chế thương mại điện tử
• Kinh doanh thương mại điện tử
• Thị trường thương mại điện tử
• Phương thức thanh toán điện tử
• Tài liệu thanh toán điện tử
• Hình thức thanh toán điện tử
• Bài giảng thanh toán điện tử
• Giao dịch thương mại điện tử
• Bài giảng Nhập môn cơ điện tử
• Nhập môn cơ điện tử
• Cơ điện tử
• Điều khiển trong cơ điện tử
• Các thành phần của hệ cơ điện tử
• Mô hình hệ thống cơ điện tử
• Thiết kế hệ thống cơ điện tử
• Vai trò hệ thống cơ điện tử
• Giáo trình Máy điện
• máy điện cơ bản
• tổng quan Máy điện
• Bài giảng Kỹ thuật điện điện tử
• Kỹ thuật điện tử
• Kỹ thuật điện điện tử
• Tìm hiểu kỹ thuật điện tử
• Tài liệu kỹ thuật điện điện tử
• Dòng điện hình sin
• giáo trình kỹ thuật điện
• kỹ thuật mạch điện tử
• giáo trình thiết kế điện
• bài giảng điện tử
• Bảo vệ thương mại điện tử
• Nhân lực thương mại điện tử
• Khách hàng thương mại điện tử
• Kinh doanh thương mại điện điện tử
• An ninh thương mại điện điện tử
• Hạ tầng thương mại điện điện tử
• Dịch vụ thanh toán điện tử
• Thực hiện thương mại điện tử
• Thực hiện thương mại điện tử doanh nghiệp
• Triển khai thương mại điện tử
• Phân loại thương mại điện tử
• Vai trò thương mại điện tử
• Thương mại điện tử Việt Nam
• Pháp lý thương mại điện tử
• Phát triển thương mại điện tử
• điện tử ứng dụng
• kỹ thuật công nghệ
• điện điện tử
• Giáo trình Kỹ thuật điện điện tử
• Kỹ thuật điện
• Tính chất của dòng điện hình sin
• Máy điện đồng bộ
• Máy điện một chiều
• Giáo trình Đo lường điện điện tử
• Đo lường điện
• Đo lường điện tử
• Đơn vị điện hệ SI
• Cơ cấu đo
• Ampe đo điện một chiều
• Cầu điện cảm
• Đo lường bằng máy hiện sóng
• Giáo trình Kỹ thuật điện điện tử
• Phương pháp phân tích mạch
• Mạch điện xoay chiều ba pha
• Giáo trình Thực hành Đo lường điện và điện tử
• Đo lường điện và điện tử
• Dụng cụ đo điện tử
• Dụng cụ đo cơ điện
• Phần tử của cơ điện tử
• Lịch sử phát triển của cơ điện tử
• Vai trò của cơ điện tử
• Ứng dụng của cơ điện tử
• hệ thống điện
• điện tử tương tự
• giáo trình điện tử tương tự
• lý thuyết điện tử tương tự
• tài liệu điện tử tương tự
• chuyên ngành điện tử
• Ví điện tử trên điện thoại di động
• Ví điện tử cá nhân
• Ví điện tử doanh nghiệp
• Thanh toán bằng ví điện tử
• Đề tài Ví điện tử
• Đề tài Thương mại điện tử
• Bài thuyết trình Phát xạ quang điện tử
• Phát xạ quang điện tử
• Hiện tượng quang điện tử
• Phát xạ quang điện tử với kim loại
• Phát xạ quang điện tử chất cách điện
• Phát xạ quang điện tử chất dẫn điện
• Kiến thức căn bản
• Bài giảng Giới thiệu về thương mại điện tử
• Sự hình thành thương mại điện tử
• Khái niệm thương mại điện tử
• Đặc điểm thương mại điện tử
• Xu hướng thương mại điện tử