TAILIEUCHUNG - Sổ tay ma sát và Nano P16

Bhushan, B. “Micro/Nanotribology and Micro/Nanomechanics of MEMS.” Handbook of Micro/Nanotribology. Ed. Bharat Bhushan Boca Raton: CRC Press LLC, 1999 Micro/Nanotribology and Micro/Nanomechanics of MEMS Devices Bharat Bhushan Introduction Background • Tribological Issues 16 Experimental Techniques Description of Apparatus and Test Procedures • Test Samples Results and Discussion Micro/Nanotribological Studies of Virgin, Coated, and Treated Silicon Samples • Micro/Nanotribological Studies of Doped and Undoped Polysilicon Films, SiC Films, and Their Comparison to Single-Crystal Silicon • Macroscale Tribological Studies of Virgin, Coated, and Treated Samples • Boundary Lubrication Studies • Component Level Studies Closure References Introduction Background The advances in silicon photolithographic process technology since 1960s have led to. | Bhushan R Micro Nanotribology and Micro Nanomechanics of MEMS. Handbook of Micro Nanotribology. Ed. Bharat Bhushan Boca Raton CRC Press LLC 1999 16 Micro Nanotribology and Micro Nanomechanics of MEMS Devices Bharat Bhushan Introduction Background Tribological Issues Experimental Techniques Description of Apparatus and Test Procedures Test Samples Results and Discussion Micro Nanotribological Studies of Virgin Coated and Treated Silicon Samples Micro Nanotribological Studies of Doped and Undoped Polysilicon Films SiC Films and Their Comparison to Single-Crystal Silicon Macroscale Tribological Studies of Virgin Coated and Treated Samples Boundary Lubrication Studies Component Level Studies Closure References Introduction Background The advances in silicon photolithographic process technology since 1960s have led to the development of microcomponents or microdevices known as microelectromechanical systems MEMS . More recently lithographic processes have been developed to process nonsilicon materials. These lithographic processes are being complemented with nonlithographic micromachining processes for fabrication of milliscale components or devices. Using these fabrication processes researchers have fabricated a wide variety of miniaturized devices such as acceleration pressure and chemical sensors linear and rotary actuators electric motors gear trains gas turbines nozzles pumps fluid valves switches grippers tweezers and optoelectronic devices with dimensions in the range of a couple to a few thousand microns for an early review see Peterson 1982 for recent reviews see Muller et al. 1990 Madou 1997 Trimmer 1997 and Bhushan 1998a . MEMS technology is still in its infancy and the emphasis to date has been on the fabrication and laboratory demonstration of individual components. MEMS devices have begun 1999 by CRC Press LLC to be commercially used particularly in the automotive industry. Silicon-based high-g acceleration sensors are used

• Cơ khí - Chế tạo máy
• Ma sát
• sức bền vật liệu
• công nghệ nano
• hao mòn kim loại
• kim loai dẻo
• Bài giảng Lực ma sát
• Lực ma sát
• Định nghĩa lực ma sát
• Đặc điểm lực ma sát
• Lực ma sát trượt
• Lực ma sát lăn
• Phân loại ma sát
• Hệ số ma sát
• Ứng dụng ma sát
• Giảm ma sát
• Ma sát lăn
• Ma sát học
• Tài liệu Ma sát học
• Giới thiệu về ma sát
• Phân tích ma sát
• Quá trình ma sát
• Thành phần cơ bản của ma sát
• Giáo trình ma sát học
• Ebook ma sát học
• Kỹ thuật ma sát học
• Lý thuyết ma sát
• Giáo trình kỹ thuật ma sát
• tài liệu học đại học
• Nguyên lý máy
• Ma sát trượt
• giáo án vật lý
• tác hại của ma sát
• tính lực ma sát
• giảm lực ma sát
• Bài giảng Cơ học kỹ thuật
• Cơ học kỹ thuật
• Ma sát trượt khô
• Ma sát Coulomb
• Ma sát giữa dây đai và đai
• Tìm hiểu về ma sát
• Bài giảng Chi tiết máy
• Chi tiết máy
• Các vấn đề về ma sát
• Hiện tượng ma sát
• Lợi ích của ma sát
• Định luật Coulomb
• Bài giảng Ma sát học
• máy và ma sát học
• lịch sử phát triển ngành Tribology
• chất lượng bề mặt ma sát
• tiếp xúc của bề mặt ma sát
• Kỹ thuật bôi trơn
• Bôi trơn khí
• Tính ma sát
• Ma sát ướt
• Mòn cặp ma sát
• bộ truyền bánh ma sát
• bài giảng truyền động
• truyền động bánh ma sát
• giáo trình cơ khí
• động cơ
• chế tạo máy
• bánh ma sát trục
• Chất lượng bề mặt tiếp xúc
• Ma sát ngoài
• Bề mặt ma sát
• Mòn vật liệu
• Tính mòn khớp ma sát
• Máy đo ma sát
• lí thuyết về ma sát
• Ghép nối máy tính
• kỹ thuật cơ điện tử
• Nguyên nhân ma sát
• Lực ma sát tĩnh
• Chuyển động tịnh tiến
• Chất lượng bề mặt
• Cặp ma sát
• Độ tin cậy
• Tuổi thọ chi tiết máy
• Hệ thống lái trợ lực thủy lực
• Mô hình ma sát LuGre
• Mô hình ma sát LuGre sửa đổi
• Mô hình ma sát ở trạng thái ổn định
• Đặc tính ma sát ở trạng thái ổn định
• Chế tạo máy xác định đặc tính ma sát
• Chế tạo máy xác định
• Đặc tính ma sát
• Máy kiểm tra ma sát – mòn
• Tốc độ mòn
• Mô hình Chốt trên Đĩa
• Mô hình mài mòn
• Ma sát mòn bôi trơn
• Cảm biến lực
• Kết nối Bluetooth
• Vi điều khiển Arduino
• Lực ma sát nghỉ
• Giáo trình
• giáo án
• giáo dục đào tạo
• giọt chất treo lơ lửng
• hiện tượng lực ma sát
• các hiện tượng vật lý
• tài liệu về lực ma sát
• tính toán ma sát
• khớp động
• tính toán hiệu suất
• cơ cấu và máy