TAILIEUCHUNG - Báo cáo hóa học: " Properties of silicon dioxide layers with embedded metal nanocrystals produced by oxidation of Si:Me mixture"

Tuyển tập báo cáo các nghiên cứu khoa học quốc tế ngành hóa học dành cho các bạn yêu hóa học tham khảo đề tài: Properties of silicon dioxide layers with embedded metal nanocrystals produced by oxidation of Si:Me mixture | Novikau et al. Nanoscale Research Letters 2011 6 148 http content 6 1 148 o Nanoscale Research Letters a SpringerOpen Journal NANO EXPRESS Open Access Properties of silicon dioxide layers with embedded metal nanocrystals produced by oxidation of Si Me mixture Andrei Novikau1 Peter Gaiduk1 Ksenia Maksimova2 Andrei Zenkevich2 Abstract A two-dimensional layers of metal Me nanocrystals embedded in SiO2 were produced by pulsed laser deposition of uniformly mixed Si Me film followed by its furnace oxidation and rapid thermal annealing. The kinetics of the film oxidation and the structural properties of the prepared samples were investigated by Rutherford backscattering spectrometry and transmission electron microscopy respectively. The electrical properties of the selected SiO2 Me nanocomposite films were evaluated by measuring C-V and I-V characteristics on a metal-oxide-semiconductor stack. It is found that Me segregation induced by Si Me mixture oxidation results in the formation of a high density of Me and silicide nanocrystals in thin film SiO2 matrix. Strong evidence of oxidation temperature as well as impurity type effect on the charge storage in crystalline Me-nanodot layer is demonstrated by the hysteresis behavior of the high-frequency C-V curves. Introduction During the last decade much attention has been focused on the investigation of semiconductor and metallic nanocrystals NCs or nanoclusters embedded in dielectric matrices. The interest is motivated by possible applications of such nanocomposite structures. Particularly semiconductor or metal NCs embedded in SiO2 dielectric layer of a metal-oxide-semiconductor fieldeffect transistor may replace SiNx floating gate in conventional Flash memory devices allowing for thinner injection oxides and subsequently smaller operating voltages longer retention time and faster write erase speeds 1-3 . The performance of such memory structure strongly depends on the characteristics of the NCs .

TÀI LIỆU LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.