TAILIEUCHUNG - Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures Part 4

Tham khảo tài liệu 'micromachining techniques for fabrication of micro and nano structures part 4', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Fundamentals of Laser Ablation of the Materials Used in Microfluiducs 49 Sapphire Silicon Scan speeds 5 mm s 10 mm s 20 mm s 50 mm s Threshold Fluence J cm2 266nm Nd YAG 355nm Nd YAG Table 2. The threshold fluences of laser micromachining of sapphire and silicon Fig. 6. The ablation rates for laser micromachining versus laser fluence for sapphire with different cutting speeds using 266 nm and 355 nm Nd YAG lasers. Laser Fluence J cmA2 Fig. 7. The ablation rates of laser micromachining versus laser fluences for silicon with different cutting speeds using 266 nm and 355 nm Nd YAG lasers. 50 Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures Fig. 8. The ablation rates for laser micromachining versus laser fluences for Pyrex with different cutting speeds using 266 nm and 355 nm Nd YAG lasers. The ablation efficiency The ablation efficiency was calculated by dividing the ablation rate by the energy per pulse to normalize the ablation rate performed by the 355 nm and 266 nm Nd YAG lasers. Figures 9 - 11 show the plots of ablation efficiency as a function of laser fluence with various scan speeds using both lasers. The results indicate that at high laser fluences the ablation efficiencies of the 266 nm laser are better than that of the 355 nm laser for all three materials. Figure 10 silicon shows that the ablation rate of 266 nm Nd YAG laser micromachining is slower than 355 nm laser micromachining under 50 mm s scan speed after normalizing the ablation rate by energy per pulse. The result points out that at the laser fluences higher than 10 J cm2 the ablation efficieny of the 266 nm laser is times faster than that of the 355 nm laser at the scan speed of 50 mm s and times faster in the case of 20 mm s as shown in Table 3. Sapphire Silicon Pyrex Ablation Efficiency 50 mm s 20 mm s 266 nm 355 nm 9 13 Table 3. The comparison of Nd YAG 266 nm and 355 nm laser ablation efficiencies to sapphire .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• hướng dẫn cơ khí
• tài liệu cơ khí
• ôn thi cơ khí
• sổ tay cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp