TAILIEUCHUNG - Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 18

Tham khảo tài liệu 'microsensors, mems and smart devices - gardner varadhan and awadelkarim part 18', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Index Accelerometer 263-5 hybrid 414-16 MEMS-IDT 398-412 smart 422 Acceptor atoms 28 Acoustic device plate mode 328-30 various types 316 see also SAW microsensor Acoustic wave 380-14 in solids 320-350 instrumentation 337-8 Love 312-14 propagation 320-1 325-34 shear horizontal 311-12 velocity 311 Actuator representation 228 smart 419 see also Microactuator Adhesion problems 170-1 AGC SAW circuit 341 AMANDA process 213-5 Anisotropic wet etching 118-24 Anodic bonding 140-3 see also Bonding Antenna 365 413 433 see also Microantenna APCVD 12 APM 328-30 Application-specific IC 62 see also ASIC Array fibre-optic 186 ASIC 62 112-16 relative costs 116 technologies 114 Atomic bonding 40-4 one-electron model 35 Axle micro 214 Avalanche diode 243-4 see also Diode AZ-1350J 20 75 see also Resist Bacteria detection 426 Ball grid array 111-12 see also Bonding BCC 47 BGA 111-12 see also Bonding Bio chemical microsensor 280-299 calorimetric 297-9 classification of 282 potentiometric 292-9 resistive 283-96 Biochip 438-42 BioMEMS chip 438-42 Biosensor see Biochemical microsensor Bipolar diode 80 processing 73-82 resistor 81 transistor 88 BJT characteristics 82-90 Body-centred cubic 47 Bonding anodic 140-3 atomic 40-4 ball grid array 111-12 covalent 43 die 100-1 flip-TAB 103 ionic 42 metallic 43-4 silicon fusion 138-40 494 INDEX Bonding Continued tape-automated 101-3 wire 100-1 Boron etch-stop 125 see also Etch-Stop technique Bulk micromachining 117-144 see also Etching Buried oxide process 137 Calorimetric gas microsensor 297-9 Camera web 423-4 Cantilever beam deflection 249-51 fabrication 133-4 136-7 worked example 123-4 133-7 Car micro 198 Carbon structure 48 Carrier concentration intrinsic 31 Catalytic-gate MOSFET 293 see also MOSFET CB configuration 86 cc configuration 86 CCD 423-4 commercial 424 CE configuration 86 Ceramic materials 58 MSL 197-201 PCBs 108 Chemical microsensor see Bio chemical microsensor Chlorine molecule bonding 43 Circuit SAW oscillator 342 see also Equivalent

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp