TAILIEUCHUNG - IC Fabrication Technology

A number of converging forces are bringing industrial-scale design and manufacturing tools to a tipping point where they will become cheap, reliable, easy, and versatile enough for personal use. The rapid adoption of personal manufacturing technologies is accelerated by low cost machinery, active online user communities, easier-to-use computer aided design (CAD) software, a growing number of online electronic design blueprints, and more easily available raw materials. Personal manufacturing technologies will profoundly impact how we design, make, transport, and consume physical products. . | IC Fabrication Technology History 1958-59 J. Kilby Texas Instruments and R. Noyce Fairchild Key Idea batch fabrication of electronic circuits An entire circuit say 107 transistors and 5 levels of wiring -- can be made in and on top of a silicon crystal by a series of process steps similar to printing. More than 100 copies of the circuit are typically made at the same time. The silicon crystal is called a wafer. Results 1. Complex systems can be fabricated reliably 2. Cost per function drops as the process improves . finer printing since the cost per processed wafer remains about the same EE 105 Fall 2000 Page 1 Week 2 Lithography the Wafer Stepper The mask is imaged on a photosensitive film photoresist that coats the wafer and then the wafer is scanned stepped to the next position Mask pattern is aligned automatically to patterns on the underlying layers to a precision of micron. EE 105 Fall 2000 Page 2 Week 2 Lithography Exposure Development and Pattern Transfer Simple example of a mask layout and a process or recipe Mask layout is the set of patterns on the glass plates for patterning the layers one in this case Process is the sequence of fabrication steps Visualize by generating cross sections through the structure as it is built up through the process 0 1 2 3 4 5 6 x mm EE 105 Fall 2000 Page 3 Week

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.