TAILIEUCHUNG - Advances in Solid State Part 12

Tham khảo tài liệu 'advances in solid state part 12', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Dimension Increase in Metal-Oxide-Semiconductor Memories and Transistors 321 n-channel p-channel b Strained silicon FET with tensile-or compressive-CVD SiN cap films Fig. 18. Typical strained silicon MOSFET s SiGe buried layer a and CVD SiN cap films b . decomposited CVD whereas the compressive strain may be given by plasma-enhanced CVD. Almost 50 increase in carrier mobilities of both n- and p-channel transistors were obtained. Proposals of quasi 3-D transistors To cope with short-channel effects which will be more and more serious in response to the scaling of conventional 2-D transistors transistors of which channel was formed on both side walls of a silicon beam named trench-isolated transistor using side-wall gates TIS Hieda et al. 1987 and fully depleted lean-channel transistor DELTA Hisamoto et al. 1989 were proposed as shown in Fig. 19 a and b respectively. Because of horizontal current flow of the transistor this kind of transistors is called quasi 3-D in this article. In TIS full side walls were not used while main channel was formed on side walls of the thin silicon beam in DELTA. The bottom of the silicon beam is fully oxidized with localoxidation of silicon process LOCOS the beam is isolated from silicon substrate like SOI substrate. Advantages of the thin silicon channel were estimated. Fig. 19. Proposed quasi 3-D transistors of trench-isolated transistor using side-wall gates TIS a and fully depleted lean-channel transistor DELTA b 322 Advances in Solid State Circuits Technologies The author s group has proposed several devices with respect to quasi-3-D structures. One of them is corrugated channel transistor CCT Furukawa et al 2003 Sunami et al 2004 as shown in Fig. 20. Plural beam channels with 111 surface are formed by a crystallographically preferential etching with tetramethylammonium hydroxide TMAH atomically flat channel surface can be formed expecting less mobility degradation by avoiding rough surface of the channel. The current .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• hướng dẫn cơ khí
• tài liệu cơ khí
• ôn thi cơ khí
• sổ tay cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp