TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu cấu trúc của màng ZnO: Ag chế tạo bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron

Bài báo này trình bày một số kết quả nghiên cứu chế tạo màng mỏng trong suốt ZnO: Ag (0% - 4%) trên đế thủy tinh hoặc Si, bằng phương pháp phún xạ . magnetron. Ảnh hưởng của 3 mức công suất phún xạ là 125W, 150W, 175W lên tính chất của màng mỏng chế tạo trong môi trường Ar ở áp suất cố định 1 Pa đã được khảo sát. Cấu trúc của màng mỏng được nghiên cứu bằng các phương pháp nhiễu xạ tia X và tán xạ Raman. Kết quả cho thấy màng thu được có độ kết tinh tốt, có thể ứng dụng trong lĩnh vực điện tử hoặc quang điện tử. | 32 Trần Thị Ngọc Anh . Tạp chí Khoa học và Công nghệ Đại học Duy Tân 4 47 2021 32-36 4 47 2021 32-36 Nghiên cứu cấu trúc của màng ZnO Ag chế tạo bằng phương pháp phún xạ . magnetron Study structure of ZnO Ag thin films prepared by magnetron sputtering Trần Thị Ngọc Anha Hồ Khắc Hiếub d Nguyễn Thị Diệu Thuc Nguyễn Thị Hồng Hạnha Trịnh Ngô Minh Thănga Phạm Nguyên Hảia Nguyễn Việt Tuyêna Trần Thị Hàa c Tran Thi Ngoc Anha Ho Khac Hieub d Nguyen Thi Dieu Thuc Nguyen Thi Hong Hanha Trinh Ngo Minh Thanga Pham Nguyen Haia Nguyen Viet Tuyena Tran Thi Haa c a Khoa Vật lý Đại học Khoa học Tự nhiên Đại học Quốc Gia Hà Nội 334 Nguyễn Trãi Thanh Xuân Hà Nội a Faculty of Physics Vietnam National University University of Science 334 Nguyen Trai Thanh Xuan Hanoi b Viện Nghiên cứu và Phát triển Công nghệ Cao Ðại học Duy Tân Ðà Nẵng Việt Nam b Institute of Research and Development Duy Tan University Da Nang 550000 Vietnam c Khoa Khoa học Cơ bản Đại học Mỏ - Địa chất 18 Phố Viên Bắc Từ Liêm Hà Nội c Faculty of Fundamental Science Hanoi University of Mining and Geology 18 Vien Street North Tu Liem Hanoi d Khoa Môi trường và Khoa Học Tự nhiên Đại học Duy Tân Đà Nẵng Việt Nam d Department of Environment and Natural Science Duy Tan University Danang Vietnam Ngày nhận bài 28 02 2021 ngày phản biện xong 22 3 2021 ngày chấp nhận đăng 09 5 2021 Tóm tắt Bài báo này trình bày một số kết quả nghiên cứu chế tạo màng mỏng trong suốt ZnO Ag 0 - 4 trên đế thủy tinh hoặc Si bằng phương pháp phún xạ . magnetron. Ảnh hưởng của 3 mức công suất phún xạ là 125W 150W 175W lên tính chất của màng mỏng chế tạo trong môi trường Ar ở áp suất cố định 1 Pa đã được khảo sát. Cấu trúc của màng mỏng được nghiên cứu bằng các phương pháp nhiễu xạ tia X và tán xạ Raman. Kết quả cho thấy màng thu được có độ kết tinh tốt có thể ứng dụng trong lĩnh vực điện tử hoặc quang điện tử. Từ khóa ZnO pha tạp Ag phún xạ Raman nhiễu xạ tia X. Abstract In this paper we report the results of preparation of transparent ZnO .

• Hoá học
• Cấu trúc của màng ZnO
• Cấu trúc của màng Ag chế tạo
• Phương pháp phún xạ r f magnetron
• ZnO pha tạp Ag
• Nhiễu xạ tia X
• Ảnh hưởng của nhiệt độ
• Tính chất quang của màng mỏng ZnO
• Cấu trúc quang của màng mỏng ZnO
• Phương pháp CVD
• Tiền chất kẽm Axetylaxetonat
• Màng mỏng oxide dẫn điện trong suốt
• Màng mỏng ZnO
• Cấu trúc tinh thể
• Màng mỏng oxide
• Thiết bị quang điện tử
• Màn hình hiển thị
• Cấu trúc màng Zn
• Tính chất quang màng Zn
• Độ dày màng Zn
• Tính chất điện màng Zn
• Sơ đồ nhiễu xạ của màng ZnO
• Bề mặt hình học của màng Zn
• Ảnh hưởng của nhiệt độ lắng đọng
• Nhiệt độ lắng đọng lên cấu trúc tinh thể
• Tính chất điện và quang
• Quang của màng mỏng ZnO pha tạp F
• Phương pháp phún xạ magnetron
• Đồng pha tạp Indium
• Đồng pha tạp Gallium
• Phún xạ Magnetron DC
• Ảnh hưởng của đồng pha tạp
• Luận án Tiến sĩ Vật lý
• Luận án Tiến sĩ
• Vật liệu màng mỏng
• Quang học
• Vật liệu ZnO
• Đĩa nano dạng lục giác
• Vật liệu nano
• Công nghệ lắng đọng
• Cấu trúc PMT màng mỏng
• Phương pháp phổ trở kháng phức CIS
• Phương pháp phun phủ nhiệt
• Pin mặt trời màng mỏng
• Pin mặt trời dạng SSSC
• Tóm tắt Luận án Khoa học vật liệu
• Màng ôxít titan
• Cấu trúc nano
• Điện cực thu điện tử
• Pin mặt trời
• Bài giảng Nhiễu xa tia X
• Nhiễu xa tia X
• Thông số về tia X
• Phổ quang phát xạ tia X
• Phổ hấp thụ tia X
• Sự nhiễu xạ tia X
• Bài giảng Sự nhiễu xạ tia X
• Tinh thể chất rắn
• Vật liệu rắn
• Họ mặt của mạng tinh thể
• Sự tán xạ tia X bởi electron
• Máy nhiễu xạ tia X
• Vậy lý ứng dụng
• Công thức Bragg
• Phương pháp phân tích bằng tia X
• Tài liệu Vật lý ứng dụng
• Kỹ thuật phân tích vật liệu rắn
• Phân tích cấu trúc tinh thể
• Phương pháp nhiễu xạ tia X
• Phương pháp nhiễu xạ
• Tổng quát về tia X
• các phương pháp phân tích
• tinh thể bằng tia X
• hiện tượng phát quang
• khả năng đâm xuyên tinh thể
• Phương pháp phân tích tia X
• Bài thuyết trình Vật lý
• Huỳnh quang tia X
• Phổ kế quang điện tử tia X
• Phương pháp Laue
• Nhiễu xạ ánh sáng
• Phương pháp đới cầu Fresnel
• Nhiễu xạ của sóng cầu
• Nhiễu xạ của sóng phẳng
• Giới hạn nhiễu xạ
• Nhiễu xạ của tia X
• Bài giảng Vật lý 1
• Vật lý 1
• Bài giảng Điện từ
• Nhiễu xạ sóng phẳng Fraunhofer
• Nhiễu xạ qua nhiều khe hẹp
• phân tích huỳnh quang của tia X
• quang điện tử
• nhiễu xạ điện tử
• các phép phân tích của tia X
• năng lượng điện tử
• Tạp chí Dầu khí
• Công nghệ điện
• Phân tích nhiễu xạ tia X
• Kính hiển vi điện tử quét
• Khoáng vật sét
• Khí hậu cổ địa lý
• Khóa luận tốt nghiệp
• Vật lí chất rắn
• Cấu trúc vật rắn
• Tích chất vật lý của vật liệu
• Phương pháp ngoại suy
• Mạng của tinh thể
• Hằng số mạng của tinh thể
• Cấu trúc lập phương
• Phân tích cấu trúc vật liệu
• Bài giảng Vật lý 2
• Vật lý 2
• Nhiễu xạ trên khe hẹp
• Nguyên lý Huygens
• Hoạt tính xúc tác quang
• Phương pháp đốt cháy
• Tính chất quang xúc tác
• Tán xạ năng lượng tia X
• Phổ phản xạ khuếch tán UV Vis
• Bài giảng Vật lý đại cương 2
• Hiện tượng nhiễu xạ
• Tính chất đới cầu Fresnel
• Biên độ dao động sáng
• Phân bố cường độ sáng
• Phản ứng benzyl hóa benzene
• Hạt nano α Fe2O3
• Phổ tán xạ năng lượng tia X
• Vật liệu composite
• Cơ sở vật lý chất rắn
• Bài giảng Cơ sở vật lý chất rắn
• Cầu phản xạ của Ewald
• Chụp tinh thể bằng tia X
• Tổ hợp Bi2Sn2O7 CoFe2O4
• Hoạt tính quang xúc tác
• Phân hủy Rhodamine B
• Phổ khuếch tán phản xạ UV Vis
• Hiển vi điện tử quét
• Phổ tán sắc năng lượng tia X
• Vật liệu khung hữu cơ kim loại
• Khung hữu cơ kim loại UiO 66
• Khử hấp phụ N2
• Năng lượng tán xạ tia X
• Than hoạt tính
• Hấp phụ xanh methylene
• Carbon hoạt tính
• Phương pháp tán xạ năng lượng tia X
• Hợp chất phóng xạ hòa tan
• Vật liệu đồng Hexacyano ferrate
• Phương pháp phổ hồng ngoại Furier
• Phổ nhiễu xạ tia X
• Quang phổ phân tán năng lượng tia X
• chỗi xoán kép DNA
• tia X
• cấu trúc ba chiều
• cấu trúc xoắn
• Tách thori oxit từ quặng monazite
• Khóa luận tốt nghiệp Hóa học
• Quặng monazite Phan Thiết
• Kết tủa chọn lọc