TAILIEUCHUNG - Báo cáo hóa học: "Nanopatterning on silicon surface using atomic force microscopy with diamond-like carbon (DLC)-coated Si probe"

Tuyển tập báo cáo các nghiên cứu khoa học quốc tế ngành hóa học dành cho các bạn yêu hóa học tham khảo đề tài: Nanopatterning on silicon surface using atomic force microscopy with diamond-like carbon (DLC)-coated Si probe | Jiang et al. Nanoscale Research Letters 2011 6 518 http content 6 1 518 o Nanoscale Research Letters a SpringerOpen Journal NANO EXPRESS Open Access Nanopatterning on silicon surface using atomic force microscopy with diamond-like carbon DLC -coated Si probe Xiaohong Jiang 1 Guoyun Wu1 Jingfang Zhou2 Shujie Wang1 Ampere A Tseng3 and Zuliang Du1 Abstract Atomic force microscope AFM equipped with diamond-like carbon DLC -coated Si probe has been used for scratch nanolithography on Si surfaces. The effect of scratch direction applied tip force scratch speed and number of scratches on the size of the scratched geometry has been investigated. The size of the groove differs with scratch direction which increases with the applied tip force and number of scratches but decreases slightly with scratch speed. Complex nanostructures of arrays of parallel lines and square arrays are further fabricated uniformly and precisely on Si substrates at relatively high scratch speed. DLC-coated Si probe has the potential to be an alternative in AFM-based scratch nanofabrication on hard surfaces. Introduction Nanolithography is crucial to realize a size below 100 nm for nanoelectronic devices and high density recording systems 1 2 . Apart from conventional expensive optical and electron beam lithography 1 2 scanning probe microscopy SPM especially scanning tunneling microcopy STM and atomic force microscopy AFM -based nanofabrication technique have been intensively studied. To date several SPM-based nanolithography techniques have been developed including local oxidation of the surfaces of silicon and metals 3-5 dip-pen method 6 7 thermal-mechanical writing 2 8 and mechanical electrochemical modification of a material s surface 9-11 . In recent years although the uncertainty drift hysteresis creep for AFM will limit its application in nanostructure fabrication at large scale AFM-based scratch nanolithography has emerged as a promising technique for .

• Báo cáo khoa học
• báo cáo khoa học
• báo cáo hóa học
• công trình nghiên cứu về hóa học
• tài liệu về hóa học
• cách trình bày báo cáo
• trình bày báo cáo
• tài liệu báo cáo khoa học
• cách trình bày báo cáo khoa học
• báo cáo khoa học sinh học
• báo cáo khoa học toán học
• luận văn mẫu
• người lính việt nam
• sau chiến tranh
• tuyển tập báo cáo khoa học
• báo cáo ngành triết học
• báo cáo ngành lịch sử
• báo cáo ngành văn học
• nghiên cứu khoa học
• báo cáo về văn học
• báo cáo triết học
• báo cáo văn học
• chuyên đề văn học
• văn học nghệ thuật
• văn học Việt NAm
• báo cáo ngành toán học
• báo cáo ngành vật lý
• báo cáo ngành chăn nuôi
• văn học Trung Hoa
• báo cáo khoa học kinh tế
• Kỷ yếu tóm tắt báo cáo khoa học
• Báo cáo khoa học y học
• Báo cáo y học
• Hội nghị khoa học tim mạch
• Báo cáo khoa học y khoa
• Tăng huyết áp
• báo cáo sinh học
• bảo tồn nguồn gen
• báo cáo ngành kỹ thuật
• Báo cáo quản lý chất thải sinh hoạt
• Báo cáo khoa học môi trường
• Báo cáo khoa học công nghệ
• Nghiên cứu khoa học về môi trường
• Đề tài nghiên cứu khoa học
• Báo cáo nghiên cứu khoa học