TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu chế tạo& kh.sát đặc trưng cảm biến MEMS

Các cảm biến đo lực kích thước nhỏ chế tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kế và chế tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biến này gồm một màng silic chiều dày cỡ 45 micron, ở tâm có thiết kế thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở hoặc điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lối ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý, qui trình chế. | NGHIÊN cứu CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT CÁC ĐẶC TRUNG CỦA CẢM biến VI Cơ ĐO Lực Vũ Ngọc Hùng Nguyễn Đức Chiến Trịnh Quang Thông Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu ITIMS Đinh Văn Dũng Khoa Vật lý Truờng ĐhSp Hà nội 2 Tóm tắt Các cảm biến đo lực kích thước nhỏ chê tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kê và chê tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biên này gồm một màng silic chiều dày cữ 45 micron ở tâm có thiết kê thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở hoặc điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lôi ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý qui trình chê tạo và các khảo sát đặc trưng của cảm biên. Fabrication and characterization of michromachined force sensors Abstract Silicon micromachined force sensors have been designed and fabricated successfully for the first time in Vietnam by the MEMS group at ITIMS. The structure of the sensors consists of a membrane with a stiff center the membrane thickness is about 45 microns the stiff center serves as a forced point. The mechanical signal is converted into output voltage signal by a Wheastone resistor bridge or 4 terminal gage diffused on the membrane. In this paper the sensor configuration fabrication process and characteristics have been presented. 1. MỞ ĐẦU Các cấu trúc đo tín hiệu co tiêu biểu thuờng có dạng các màng hoặc các thanh dầm đuợc chế tác 3 chiều từ các vật liệu khối. Chỉ có thể chế tạo các cấu trúc này với độ chính xác cao nhờ công nghệ vi co micromachining technology . Do tính đặc thù cũng nhu khả năng đặc biệt của công nghệ vi co công nghệ này đã đuợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nhu trong công nghiệp kỹ thuật y tế quân sự . Trong những năm gần đây với sự hỗ trợ đắc lực của công nghệ vi điện tử và công nghệ tin học công nghệ vi co đã phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật .

• Điện - Điện tử
• kỹ thuật
• công nghệ
• điện
• điện tử
• Kỹ thuật thông tin số
• kỹ thuật số hóa tín hiệu
• kỹ thuật mã hóa đường dây
• kỹ thuật mã hóa nguồn
• kỹ thuật mã hóa kênh
• kỹ thuật ghép kênh
• kỹ thuật điều chế
• kỹ thuật đa truy cập
• Kỹ thuật chế biến món ăn
• Giáo trình Kỹ thuật tỉa rau củ quả
• Kỹ thuật tỉa rau củ quả
• Kỹ thuật tỉa hoa ly
• Kỹ thuật tỉa trái bắp
• Kỹ thuật tỉa hoa cúc
• Kỹ thuật tỉa thiên nga cánh xếp
• Kỹ thuật cao áp
• tài liệu Kỹ thuật cao áp
• nghiên cứu Kỹ thuật cao áp
• ứng dụng Kỹ thuật cao áp
• cẩm nang Kỹ thuật cao áp
• sổ tay Kỹ thuật cao áp
• giáo trình Kỹ thuật cao áp
• Kỹ thuật trồng nhãn
• Kỹ thuật trồng vải
• Kỹ thuật trồng xoài
• Kỹ thuật trồng na
• Kỹ thuật trồng bưởi
• Kỹ thuật trồng dứa
• Kỹ thuật điện tử
• Ôn tập kỹ thuật điện tử
• Để cương kỹ thuật điện tử
• Bài giảng kỹ thuật điện tử
• Đề thi kỹ thuật điện tử
• Giáo rình kỹ thuật điện tử
• Kỹ thuật nuôi cá trê
• Kỹ thuật nuôi lươn
• Nuôi giun đất
• Kỹ thuật ương giống
• Kỹ thuật sản xuất giống
• Nuôi cá thịt
• Cad trong kỹ thuật
• Các bước xuất bản vẽ kỹ thuật
• Vẽ kỹ thuật
• Bản vẽ kỹ thuật
• Hướng dẫn xuất bản vẽ kỹ thuật
• Tìm hiểu bản vẽ kỹ thuật
• Kỹ thuật trồng hoa anh túc
• Trồng hoa anh túc
• Kỹ thuật trồng a phiến
• Kỹ thuật trồng thẩu
• Kỹ thuật trồng trẩu
• Kỹ thuật trồng cây nàng tiên
• Kỹ thuật nuôi gà chăn thả
• Hướng dẫn kỹ thuật nuôi
• Kỹ thuật nuôi
• Kỹ thuật nuôi ngan
• Kỹ thuật nuôi gà
• Kỹ thuật nuôi bồ câu Pháp
• Kỹ thuật nuôi đà điểu
• Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật
• Kỹ thuật cơ khí và cơ kỹ thuật
• Kỹ thuật cơ khí
• Cơ kỹ thuật
• Xây dựng mô hình cơ học
• Tính toán thiết kế thiết bị phát điện
• Năng lượng sóng biển
• Bài giảng Kỹ thuật truyền số liệu
• Kỹ thuật truyền số liệu
• Kỹ thuật mã hóa
• Kỹ thuật đồng bộ
• Kỹ thuật truy nhập đường truyền
• Kỹ thuật nén dữ liệu
• Đề thi học kỳ
• Kỹ thuật điện Điện tử
• Kỹ thuật điện
• Đề thi Kỹ thuật điện
• Bài tập Kỹ thuật điện
• Bài giảng Vẽ kỹ thuật cơ bản
• Vẽ kỹ thuật cơ bản
• Trình bày bản vẽ kỹ thuật
• Tiêu chuẩn trình bày bản vẽ kỹ thuật
• Ký hiệu bản vẽ kỹ thuật
• Hình vẽ đối xứng
• Quy tắc vẽ bản vẽ kỹ thuật
• Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Đề thi Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Ôn thi Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Bài tập Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Kỹ thuật ra quyết
• giáo án kỹ thuật lớp 4
• tài liệu kỹ thuật lớp 4
• bải giảng kỹ thuật lớp 4
• kỹ thuật lớp 4
• dạy kỹ thuật lớp 4
• Giáo trình kỹ thuật điện
• Tài liệu kỹ thuật điện
• Bải giảng kỹ thuật điện
• Chuyên đề kỹ thuật điện
• Hướng dẫn kỹ thuật điện
• Tài liệu về vẽ kỹ thuật
• Phương pháp vẽ kỹ thuật
• Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Kỹ thuật lập trình C
• Bài tập kỹ thuật lập trình
• Tài liệu kỹ thuật lập trình
• Bài giảng kỹ thuật lập trình
• Ưng dụng kỹ thuật lập trình
• Chuyên ngành kỹ thuật lập trình
• Ngôn ngữ C
• Bản vẽ vẽ kỹ thuật
• Tài liệu vẽ kỹ thuật
• Ôn thi vẽ kỹ thuật
• Bài tập vẽ kỹ thuật
• Hướng dẫn vẽ kỹ thuật
• Giáo trình kỹ thuật điện tử
• Đề cương kỹ thuật điện tử
• Tài liệu kỹ thuật điện tử
• Bài tập kỹ thuật điện tử