TAILIEUCHUNG - Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 17

Để các chi tiết trên mặt nạ, trên phiến silicon của lần chế tạo trước đó (với một mặt khác trong cả bộ) trùng khít lên những chi tiết của mặt nạ hiện tại người ta phải dùng một kỹ thuật gọi là kỹ thuật đồng chỉnh (so mask hay mask aligner). Kỹ thuật này được thực hiện thông qua những dấu hiệu gọi là dấu so (mask marks) với sự trợ giúp quang học (kính hiển vi, CCD camêra ) và hệ vi chỉnh cơ khí theo các chiều X,Y và chỉnh méo. . | Computer Design Rule Checks Pũlysiiicon Polysihcon FIGURE Transistor source width. If a designer creates or changes a geometrical specification file manually a design rule check DRC is required. Because of the large number of geometries and the wide variation in number and style of geometrical design rules in today s circuits computer-based DRCs are necessary. Two different styles of DRC programs arc in wide use. These can be categorized as polygonal checks and raster scan checks. Both styles will be described briefly. Polygonal design rule checks are widely used witbin the semiconductor industry. The geometrical specification file is expanded to produce polygons defining all connected areas for the layer s of interest. Note that the layer of interest may be a composite area such as active transistor area or perhaps depletion transistor area. Or it may be a difference area such as the ion implantation overhang created by subtracting the depletion transistor area from the ion implan- Drain Apparent diffusion diffusion Source diffusion đ Source Drain diffusion Apparent diffusion Source tat ion area. These special areas can be defined by logical operations on primitive layers. Once the polygonal definitions are formed they can be analyzed for width and spacing errors. One valuable feature of encircling a connected area with a single polygon is that electrical connectivity Information is immediately available. Polygonal design rule checks require substantial computing resources because of the many mathematical operations that must be performed during the check. Design rule checks can also be performed in a relatively simple way as raster scan checks by passing small filters over a rasterized image of the integrated circuit. To allow this an entire geometrical specification file is instantiated expanded into the geometries and layers that represent the layout within a twodimensional array where the dimensions represent the A and y coordinates of a point and the .

• Điện - Điện tử
• Bài giảng vi điện tử
• vi mạch điện tử
• đề cương vi xử lí
• kỹ thuật mạch điện tử
• giáo trình thiết kế điện
• Bài giảng Toán 2 Chương 5 bài 23
• Chu vi tam giác
• Chu vi tứ giác
• Cách tìm chu vi tam giác
• Bài giảng điện tử Toán 2
• Bài giảng điện tử lớp 2
• Bài giảng điện tử
• Bài giảng Ví thanh toán điện tử
• Ví thanh toán điện tử
• Tài khoản điện tử
• Công cụ thanh toán điện tử
• Xây dựng ví thanh toán điện tử
• Ví điện tử
• Bài giảng Pháp luật thương mại điện tử
• Pháp luật thương mại điện tử
• Giải quyết tranh chấp trong thương mại điện tử
• Vi phạm pháp luật trong thương mại điện tử
• Phương thức giải quyết tranh chấp thương mại điện tử
• Phòng ngừa vi phạm pháp luật trong thương mại điện tử
• Bài giảng Toán 3 Chương 2 bài 35
• Chu vi hình chữ nhật
• Công thức tính chu vi hình chữ nhật
• Cách tính chu vi hình chữ nhật
• Bài giảng điện tử Toán 3
• Bài giảng điện tử lớp 3
• Bài giảng Toán 3 Chương 2 bài 36
• Chu vi hình vuông
• Công thức tính chu vi hình vuông
• Cách tính chu vi hình vuông
• Bài giảng Sinh học 6 bài 50
• Bài giảng điện tử Sinh học 6
• Bài giảng điện tử lớp 6
• Bài giảng lớp 6 Sinh học
• Hình dạng của vi khuẩn
• Kích thước của vi khuẩn
• Cấu tạo của vi khuẩn
• Bài giảng Vật lý 7 Bài 24
• Cường độ dòng điện
• Tác dụng dòng điện
• Đơn vị Am pe kế
• Đơn vị cường độ dòng điện
• Bài giảng điện tử Vật lý 7
• Bài giảng điện tử lớp 7
• Thương mại điện tử
• Tranh chấp thương mại điện tử
• Giải quyết tranh chấp thương mại điện tử
• Vi phạm pháp luật thương mại điện tử
• Bài giảng Vật lý 11 Bài 6
• Bài giảng điện tử Vật lý 11
• Bài giảng điện tử lớp 11
• Bài 6 Tụ điện
• Cấu tạo của tụ điện
• Đơn vị điện dung
• Ý nghĩa điện dung
• Bài giảng Thanh toán điện tử
• Thanh toán điện tử
• Hệ thống thanh toán ví điện tử
• Quy trình thanh toán ví điện tử
• Phân loại ví điện tử
• các vi mạch số
• Giáo trình vi xử lý
• kỹ thuật điện điện tử
• tài liệu điện tử viễn thông
• bài giảng vi xử lý
• điện tử số
• công nghệ điện tử
• tài liệu mạch điện tử
• Bài giảng Sinh học 6 bài 5
• Bài giảng môn Sinh học lớp 6
• Kính hiển vi và cách sử dụng
• Kính lúp và kính hiển vi
• Các bước sử dụng kính hiển vi
• Công nghệ vi điện tử
• Giáo trình Công nghệ vi điện tử
• Bài giảng Công nghệ vi điện tử
• Mạch tính hợp
• Đặc tính linh kiện MOS
• Công nghệ xử lý CMOS
• Bài giảng Sinh học 10 bài 26
• Bài giảng điện tử Sinh học 10
• Bài giảng điện tử lớp 10
• Bài giảng lớp 10 Sinh học
• Sinh sản của vi sinh vật
• Sinh trưởng của vi sinh vật
• Sinh sản ở vi sinh vật nhân sơ
• Bài giảng Tiếng việt 4 Tuần 13
• Tập đọc Người tìm đường lên các vì sao
• Người tìm đường lên các vì sao
• Tập viết Người tìm đường lên các vì sao
• Bài giảng điện tử Tiếng việt 4
• Bài giảng điện tử lớp 4
• Bài giảng Toán 3 Chương 3 bài 4
• So sánh số trong phạm vi 10000
• Đọc các số trong phạm vi 10000
• So sánh các số tự nhiên
• Bài giảng Toán 3 Chương 4 bài 3
• So sánh số trong phạm vi 100000
• Đọc các số trong phạm vi 100000
• Bài giảng Toán 1 chương 2 bài 17
• Bài giảng điện tử Toán 1
• Bài giảng Toán lớp 1
• Bài giảng điện tử lớp 1
• Bảng cộng và bảng trừ trong phạm vi 10
• Bảng cộng trong phạm vi 10
• Bảng trừ trong phạm vi 10
• giáo trình mạch điện tử
• vi điều khiển
• hệ thống vi xử
• lập trình hợp ngữ
• Bài giảng Linh kiện điện tử
• Linh kiện điện tử
• Vi mạch tích hợp
• Phân loại vi mạch tích hợp
• Phương pháp chế tạo vi mạch tích hợp
• Chế tạo vi mạch tích hợp bán dẫn
• Vi mạch tuyến tính
• hệ thống điện
• mạch điện ứng dụng
• điện tử công suất
• Trường điện từ
• tài liệu môn điện
• giáo trình điện tử