TAILIEUCHUNG - Addressing the needs of complex mems design

Microelectromechanical systems are moving from the simple single-function devices of the past to more elaborate systems with complex structural intricacies with rich dynamic subtleties. However, despite the relatively large number of CAD for MEMS tools, products, and vendors, MEMS design today still largely consists of working at the whiteboard with colleagues and entering simplified equations into Mathcad, if not writing them by hand on the back of an envelope. Today’s CAD tools are useful for design verification, but are not often used in the early phases of design. Additionally they are generally useful for in-depth simulation of an individual device fabricated in a new process, rather than a collection of devices forming. | ADDRESSING THE NEEDS OF COMPLEX MEMS DESIGN . Clark1 D. Bindel2 W. Kao2 E. Zhu2 A. Kuo6 N. Zhou4 J. Nie2 J. Demmel2 Z. Bai5 S. Govindjee . Pister2 M. Gu2 A. Agogino4 1Applied Science Technology 2Electrical Engineering Computer Science 3Civil Engineering 4Mechanical Engineering 1-4University of California at Berkeley USA 5Computer Science University of California at Davis USA 6Electrical Engineering University of Michigan USA ABSTRACT In this paper we report several advances in the MEMS system simulation package including reduced-order modeling techniques simple hierarchical description of complex structures synthesis tools a variety of models and a web-based interface. Examples include the modeling of a torsional micromirror with lateral actuators compared to experiment and the prototyping of a microrobot. 1 INTRODUCTION Microelectromechanical systems are moving from the simple single-function devices of the past to more elaborate systems with complex structural intricacies with rich dynamic subtleties. However despite the relatively large number of CAD for MEMS tools products and vendors MEMS design today still largely consists of working at the whiteboard with colleagues and entering simplified equations into Mathcad if not writing them by hand on the back of an envelope. Today s CAD tools are useful for design verification but are not often used in the early phases of design. Additionally they are generally useful for in-depth simulation of an individual device fabricated in a new process rather than a collection of devices forming an entire microsystem. Sugar 1 was created to investigate remedies to the above problems. Its framework exploits the familiar open-code Matlab environment which invites features and modifications from users. We have previously shown that the number of equations that describe many MEMS designs can be greatly reduced using modified nodal analysis while still maintaining accuracy within fabrication limits 2-4 . Test .

• Tự động hoá
• Tự động hóa
• Năng lượng
• Cơ khí chế tạo máy
• Điện – điện tử
• Kiến trúc xây dựng
• Bài giảng Tự động hóa
• Tự động hóa quá trình sản xuất
• Tự động hóa quá trình lắp ráp
• Định vị chi tiết
• Lắp ráp tự động
• Xác định chế độ lắp ráp tự động
• Ứng dụng Robot trong lắp ráp tự động
• tự động hóa trong xây dựng
• giáo trình tự động hóa trong xây dựng
• bài giảng tự động hóa trong xây dựng
• tài liệu tự động hóa trong xây dựng
• lý thuyết tự động hóa trong xây dựng
• hệ thống tự động hóa trong xây dựng
• Giáo trình Tự động hóa
• Tự động hóa trong hệ thống điện
• Tài liệu tự động hóa
• Tìm hiểu tự động hóa hệ thống điện
• Khái niệm tự động hóa
• Lịch sử tự động hóa
• đề cương tự động hóa
• phương pháp tự động hóa
• Hệ thống tự động hóa
• Tự động hóa trong quá trình sản xuất
• Thiết bị tự động hóa
• Hệ thống điều khiển tự động
• Tự động hóa quá trình cắt phôi
• Tự động hóa quá trình kiểm tra
• Tự động điều khiển máy móc
• Tự động hóa quá trình công nghệ
• Lý thuyết điều khiển tự động
• Hệ thống rửa xe tự động
• Đồ án tự động hóa
• Hệ thống tự động
• Kiểm tra tự động
• Thiết bị phân loại tự động
• Hệ thống sản xuất tự động hóa
• lập trình tự động hóa
• tài liệu lập trình tự động hóa
• hướng dẫn lập trình tự động hóa
• phương pháp lập trình tự động hóa
• kinh nghiệm lập trình tự động hóa