TAILIEUCHUNG - A force measuring microsystem bases on electrothermal V-shaped actuator

This paper describes design and calculation of an electrothermal V-shaped actuator (EVA) and an amplification mechanism integrated into a force measuring microsystem (FMMS), aims to apply for characterization of a micro beam. Displacement and driving force are generated by thermal expansion of the V-shaped silicon beams while applying a voltage to the electrodes of the EVA. ANSYS simulation helps to find out the relations between thermal force and displacement corresponding to driving voltage and determine the temperature of V-shaped beam at various applying voltages. |

Ngọc Quang 24 8 pdf

Upload

Bấm vào đây để xem trước nội dung

Tải xuống

TÀI LIỆU LIÊN QUAN

TÀI LIỆU XEM NHIỀU

Một Case Về Hematology (1)

8 461916 55

Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở

14 22916 64

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 10961 531

Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học

14 10151 450

Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”

3 9557 104

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8346 1127

Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức

16 8271 423

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 7883 2224

Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ

17 6787 255

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)

152 5993 1441

TỪ KHÓA LIÊN QUAN

TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG

Trading Strategies Profit Making Techniques For Stock_8

23 181 1 14-05-2024

MySQL Database Usage & Administration PHẦN 7

37 163 0 14-05-2024

báo cáo hóa học:" Increased androgen receptor expression in serous carcinoma of the ovary is associated with an improved survival"

6 104 0 14-05-2024

A Practical Guide for Health Researchers - part 7

24 113 0 14-05-2024

MẪU CHỨNG CHỈ QUẢN LÝ VŨ KHÍ, VẬT LIỆU NỔ, CCHT

1 125 0 14-05-2024

Báo cáo nghiên cứu nông nghiệp " Biofertiliser inoculant technology for the growth of rice in Vietnam: Developing technical infrastructure for quality assurance and village production for farmers "

12 92 0 14-05-2024

Hướng dẫn chế độ dinh dưỡng cho người bệnh viêm khớp

5 125 0 14-05-2024

ĐỀ THI THỬ ĐH NĂM 2011 MÔN VẬT LÍ _ ĐỀ SỐ 101

7 90 0 14-05-2024

báo cáo hóa học:" Quality of data collection in a large HIV observational clinic database in sub-Saharan Africa: implications for clinical research and audit of care"

7 94 0 14-05-2024

ĐỀ ÔN TẬP THI ĐH & CĐ NĂM 2011 MÔN VẬT LÍ

6 94 0 14-05-2024

TÀI LIỆU HOT

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 7883 2224

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)

152 5993 1441

Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng

112 3780 1248

Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1

62 5392 1137

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8346 1127

Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu

561 3532 651

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 10961 531

Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân

122 3729 526

Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm

274 4151 523

Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe

35 4173 481