TAILIEUCHUNG - Power dependence of polycrystalline silicon thin film crystallinities with multiline beam continuous-wave laser lateral crystallization

Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors (poly-Si TFTs) have been played as important driving elements for Flat panel display (FPD). In this work, we studied crystallinities of laser-crystallized poly-Si thin films using Multi-Line Beam (MLB) –CLC and investigated the dependence of poly-Si thin films on the conditions of laser power along with scanning speed. Surface orientation of poly-Si thin films were observed by X-Ray Diffraction (XRD) and Electron Back Scattering Diffraction (EBSD) measurement. In addition, the stress values of polySi thin films varied with laser powers were calculated from Raman spectra. We found that highly (100)-surface oriented poly-Si thin films were obtained as changing the laser power along with changing scanning speeds from 5 W to 7 W. The poly-Si thin films formed at low laser power values had better (100)-surface orientation. | Power dependence of polycrystalline silicon thin film crystallinities with multiline beam continuous-wave laser lateral crystallization

Lâm Tuyền 91 7 pdf

Upload

Bấm vào đây để xem trước nội dung

Tải xuống

TÀI LIỆU LIÊN QUAN

TÀI LIỆU XEM NHIỀU

Một Case Về Hematology (1)

8 462088 59

Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở

14 23867 75

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 11131 537

Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học

14 10377 458

Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”

3 9657 106

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8669 1151

Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức

16 8364 423

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 7948 2250

Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ

17 6994 260

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)

152 6802 1617

TỪ KHÓA LIÊN QUAN

TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG

Sáng tạo trong thuật toán và lập trình với ngôn ngữ Pascal và C# Tập 2 - Chương 4

47 294 2 02-07-2024

Management and Services Part 1

10 191 1 02-07-2024

HƯỚNG DẪN SỬ DỤNG PHẦN MỀM CAITA part 9

18 160 0 02-07-2024

báo cáo hóa học:" Increased androgen receptor expression in serous carcinoma of the ovary is associated with an improved survival"

6 127 1 02-07-2024

MẪU CHỨNG CHỈ QUẢN LÝ VŨ KHÍ, VẬT LIỆU NỔ, CCHT

1 145 0 02-07-2024

ĐỀ THI THỬ ĐẠI HỌC 2009 – THPT ĐÔNG SƠN 1 – LẦN 2 – MÔN TOÁN

8 125 1 02-07-2024

Quy Trình Canh Tác Cây Bông Vải

8 131 0 02-07-2024

Hướng dẫn chế độ dinh dưỡng cho người bệnh viêm khớp

5 144 0 02-07-2024

CHƯƠNG 2: RỦI RO THÂM HỤT TÀI KHÓA

28 133 0 02-07-2024

Giáo án điện tử tiểu học môn lịch sử: Cách mạng mùa thu

39 138 0 02-07-2024

TÀI LIỆU HOT

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 7948 2250

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)

152 6802 1617

Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng

112 4042 1304

Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1

62 5732 1201

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8669 1151

Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu

561 3658 667

Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân

122 3850 601

Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm

274 4422 548

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 11131 537

Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe

35 4307 484