TAILIEUCHUNG - Power dependence of polycrystalline silicon thin film crystallinities with multiline beam continuous-wave laser lateral crystallization

Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors (poly-Si TFTs) have been played as important driving elements for Flat panel display (FPD). In this work, we studied crystallinities of laser-crystallized poly-Si thin films using Multi-Line Beam (MLB) –CLC and investigated the dependence of poly-Si thin films on the conditions of laser power along with scanning speed. Surface orientation of poly-Si thin films were observed by X-Ray Diffraction (XRD) and Electron Back Scattering Diffraction (EBSD) measurement. In addition, the stress values of polySi thin films varied with laser powers were calculated from Raman spectra. We found that highly (100)-surface oriented poly-Si thin films were obtained as changing the laser power along with changing scanning speeds from 5 W to 7 W. The poly-Si thin films formed at low laser power values had better (100)-surface orientation. | Power dependence of polycrystalline silicon thin film crystallinities with multiline beam continuous-wave laser lateral crystallization

Lâm Tuyền 92 7 pdf

Upload

Bấm vào đây để xem trước nội dung

Tải xuống

TÀI LIỆU LIÊN QUAN

TÀI LIỆU XEM NHIỀU

Một Case Về Hematology (1)

8 462284 61

Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở

14 24843 79

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 11281 542

Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học

14 10508 466

Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”

3 9785 108

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8876 1160

Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức

16 8463 426

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 8089 2279

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)

152 7465 1763

Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ

17 7185 268

TỪ KHÓA LIÊN QUAN

TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG

Báo cáo nghiên cứu nông nghiệp " Biofertiliser inoculant technology for the growth of rice in Vietnam: Developing technical infrastructure for quality assurance and village production for farmers "

12 132 2 23-11-2024

Bảng màu theo chữ cái – V

11 153 2 23-11-2024

Chương 10: Các phương pháp tính quá trình quá độ trong mạch điện tuyến tính

57 226 7 23-11-2024

BÀI GIẢNG Biến Đổi Năng Lượng Điện Cơ - TS. Hồ Phạm Huy

137 146 1 23-11-2024

Đề tài " Dự báo về tác động của Tổ chức Thương mại Thế giới WTO đối với các doanh nghiệp xuất khẩu vừa và nhỏ Việt Nam – Những giải pháp đề xuất "

72 177 2 23-11-2024

Báo cáo " Bàn về hành vi pháp luật và hành vi đạo đức "

11 169 2 23-11-2024

Báo cáo nghiên cứu khoa học " Vai trò chính quyền địa phương trong phát triển kinh tế : khu chuyên doanh gốm sứ ( Trung Quốc ) và Bát Tràng ( Việt Nam )("

11 206 1 23-11-2024

5 thói quen ăn uống hủy hoại hàm răng đẹp

5 159 1 23-11-2024

The Ombudsman Enterprise and Administrative Justice

309 132 0 23-11-2024

Data Mining Classification: Basic Concepts, Decision Trees, and Model Evaluation Lecture Notes for Chapter 4 Introduction to Data Mining

101 133 1 23-11-2024

TÀI LIỆU HOT

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 8089 2279

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)

152 7465 1763

Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng

112 4364 1369

Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1

62 6149 1258

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8876 1160

Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu

561 3786 680

Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân

122 3909 609

Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm

274 4614 562

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 11281 542

Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe

35 4447 490