Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Khoa Học Tự Nhiên
Vật lý
Physical and chemical properties affected by temperature in copper films chemical mechanical polishing
TAILIEUCHUNG - Physical and chemical properties affected by temperature in copper films chemical mechanical polishing
The results indicated that the removal rate will increase with higher rotation speed and increasing loading pressure. Besides, higher polishing temperature will cause the higher removal rate and higher surface roughness and the slurry with 3wt% hydrogen peroxide has the highest removal rate for copper CMP process. | 中國機械工程學會第二十五屆全國學術研討會論文集 中華民國九十九年十一月二十一日、二十二日 大葉大學 彰化 大村 論文編號: Physical and chemical properties affected by temperature in copper films chemical mechanical polishing Shih-Jyun Liao1, NTai-Hao Kuo2 , Wen-Shan Lin2, Chia-Ling Liao2, Ssu-Hua Chien2, Trung Kien Vi 1 ,Tsung-Chieh 1* Cheng 1 Graduate Institute of Mechanical and Precision Engineering, National Kaohsiung University of Applied Science,Taiwan 2 Microsystems Technology Center,Industrial Technology Research Institute South,Taiwan Abstract Chemical mechanical polishing (CMP) of copper films in is one of the most essential processes for the manufacturing of semiconductor devices, nextgeneration compact 3D microelectronic devices and integrated microelectromechanical system with through holes plating. In this paper, we firstly discuss the thermal bending effect for CMP process of 4 inch p-type silicon wafers. In our experiment, surface roughness and removal rate increased with polishing temperature because of wafer thermal bending. In order to avoid thermal bending effect, the softer pad - 545N polishing cloth which is better than IC 1000 was used in our CMP experiments because of its better polishing selectivity. Therefore, we also use 545N polishing cloth to experiment with many important fabrication conditions which involve physical and mechanical mechanisms such as pad rotation speed, down force, temperature, pad types and chemical additive concentration. The results indicated that the removal rate will increase with higher rotation speed and increasing loading pressure. Besides, higher polishing temperature will cause the higher removal rate and higher surface roughness and the slurry with 3wt% hydrogen peroxide has the highest removal rate for copper CMP process. Keywords: chemical mechanical polishing, polishing temperature, thermal bending effect 1. Introduction The use of copper as an interconnect or wiring material in ultra large scale integration (ULSI) of microelectronic devices, vertical .
Thiên Ân
82
6
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Distributed security system for mobile ad hoc computer networks
8
117
0
A survey of format preserving encryption modes
4
103
0
Emerging trends of cyber security in segregating approach
5
112
0
Science and Communication Networks, Regeneration of ZVS converter with resonant inductor
8
108
0
Hardware software co design using primitive interface
4
143
2
Intelligent public transport system with information forensics and security
4
108
0
Modeling and simulation of PV array and its performance enhancement using MPPT (P&O) technique
8
108
1
A model of ICT acceptance and use for teachers in higher education institutions
19
95
0
Effect of commutation inductor in ZVS and clamped voltage
9
93
0
Design and analysis of ZVZCS converter with active clamping
11
82
0
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
461886
55
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
22719
61
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10905
530
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10083
447
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9540
104
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8301
1127
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8248
423
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7867
2220
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6711
253
Vật lý hạt cơ bản (1)
29
5793
88
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Vật lý
International Journal of Computer Science and Telecommunications
Physical and chemical properties affected by temperature
Copper films chemical mechanical polishing
The highest removal rate
Copper CMP process
Multiple sequence alignment
The grid computing using cache technique
The previous alignment results
The cache storage technique
Optimized FPGA design
Neuro fuzzy controller for PMSM drives
Neuro fuzzy controller
Field programmable gate array
Finite state machine
Toward the influenza virus data mining
DNA data bank
The influenza virus
Data banks of flu virus
Hemodynamics and mechanical behaviors of aortic heart valves
A numerical evaluation
Aortic heart valves
Polyurethane prosthetic valve
Load balancing program for network services
Load balancing program
New load balancing program
Network services running
Quasi steady flow dynamics study
Human aortic valve
An evaluation with numerical techniques
Optimize the prosthesis aortic design
Iimpingement takes place
Simulink modelsim co simulation
Sensorless PMSM speed controller
Space vector pulse width modulation
Electronic Design Automation
Removing lipid from crude collagen of pangasius hypophthalmus
Supercritical carbon dioxide
Pangasius hypophthalmus fish skin
Stock index forecasting for Vietnam’s stock market
Vietnam’s stock market
Stock index forecasting
Root mean square error
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Đánh giá hao mòn và độ tin cậy của chi tiết và kết cấu trên đầu máy diezel part 3
12
314
0
01-05-2024
Báo cáo khoa học: Loss of kinase activity in Mycobacterium tuberculosis multidomain protein Rv1364c
14
236
0
01-05-2024
Động cơ đốt trong và máy kéo công nghiêp tập 1 part 7
23
260
0
01-05-2024
Động cơ đốt trong và máy kéo công nghiêp tập 2 part 8
32
262
0
01-05-2024
Mass Transfer in Multiphase Systems and its Applications Part 19
40
258
1
01-05-2024
Bibliography on Medieval Women, Gender, and Medicine 1980-2009
82
211
0
01-05-2024
BeginningMac OS X Tiger Dashboard Widget Development 2006 phần 2
34
215
0
01-05-2024
Trading Strategies Profit Making Techniques For Stock_3
23
185
0
01-05-2024
Trading Strategies Profit Making Techniques For Stock_8
23
176
1
01-05-2024
TƯƠNG QUAN GIỮA MÔ HỌC, GIẢI PHẪU VÀ HÌNH ẢNH CỦA CÁC KHỐI U PHẦN PHỤ
3
168
0
01-05-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7867
2220
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5790
1388
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
3772
1233
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5333
1136
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8301
1127
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3518
644
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10905
530
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3694
525
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4071
516
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4136
480
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.