TAILIEUCHUNG - Electrical Properties Of Nb-Doped TiO2 Thin Films Deposited By Co-sputtering Process

Nb-doped TiO2 thin films were fabricated by co-sputtering of TiO2 doped 6%wt by Nb2O5and Nb targets. The anatase polycrystalline thin films were obtained by post-annealing at 350oC in vacuum atmosphere. The electrical properties of the film were determined by the Hall method using standard clove-leaf geometry. | VNU Journal of Science: Mathematics – Physics, Vol. 33, No. 3 (2017) 44-50 Electrical Properties Of Nb-Doped TiO2 Thin Films Deposited By Co-sputtering Process Hoang Ngoc Lam Huong*, Nguyen Minh Hieu, Nguyen Thi Tien, Nguyen Tran Thuat, Nguyen Hoang Luong Faculty of Physics, VNU University of Science, 334 Nguyen Trai, Hanoi, Vietnam Received 12 March 2017 Revised 20 April 2017; Accepted 15 September 2017 Abstract: Nb-doped TiO2 thin films were fabricated by co-sputtering of TiO2 doped 6%wt by Nb2O5and Nb targets. The anatase polycrystalline thin films were obtained by post-annealing at 350oC in vacuum atmosphere. The electrical properties of the film were determined by the Hall method using standard clove-leaf geometry. The results indicated that: when the Nb concentration increases followed by the numbers of electrons increase from 4×1018 cm-3 to ×1020 cm-3. Meanwhile the resistivity fall down from 10 to ×10-3 Ωcm. It means that this co-sputtering process is good method to improve conducting properties of Nb:TiO2 thin film. With low resistivity and high optical transmittance (higher than 80% in the visible range), the fabricated thin film can be applicable for transparent conducting electrodes. Keywords: Nb-doped TiO2, TNO thin film, co-sputtering method, transparent conducting. 1. Introduction Transparent conducting oxides (TCOs) are among the key materials supporting optoelectronics technology [1], and sputter-deposited Sn-doped In2O3 (ITO) has been widely used as a practical TCO material because of its excellent resistivity ρ (~2 × 10-4Ωcm) and transparency in the visible region [2]. However, rapid growth of new optoelectronic devices, including blue light-emitting diodes, vertical cavity surface emitting lasers (VCSEL) and solar cells, requires the development of new TCOs with unique properties that conventional TCOs do not possess, such as high work function and durability against atomic hydrogen [3]. In addition, effort for the development of new .

• Vật lý
• Tạp chí khoa học
• Khoa học tự nhiên
• TNO thin film
• Co sputtering method
• Transparent conducting
• Xứng đáng tạp chí khoa học
• Tạp chí khoa học chuyên ngành
• Tìm hiểu tạp chí khoa học
• Giới thiệu tạp chí khoa học
• Tài liệu tạp chí khoa học
• Chất lượng tạp chí khoa học
• Hoạt động nghiên cứu khoa học
• Phát triển Tạp chí khoa học
• Nâng cao chất lượng Tạp chí khoa học
• Chuyển đổi số tạp chí khoa học
• Mục lục Tạp chí
• Tổng Mục lục Tạp chí Khoa học xã hội Việt Nam
• Tổng Mục lục Tạp chí Khoa học xã hội
• Tạp chí Khoa học xã hội
• Tạp chí Khoa học xã hội Việt Nam
• Tạp chí khoa học Việt Nam
• Phản biện khoa học
• Phản biện xã hội
• Hệ thống tạp chí khoa học
• Thực trạng hệ thống tạp chí khoa học
• Ưu điểm hệ thống tạp chí khoa học
• Hệ thống tạp chí khoa học Việt Nam
• Ấn phẩm khoa học
• Hệ thống tạp chí
• Dữ liệu tạp chí Việt Nam
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam năm 2020
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 1+2A
• Startup Việt Nam
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 3A
• Ứng dụng tế bào gốc
• Dữ liệu ảnh Landsat đa thời gian
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 3B
• Địa tầng và địa mạo đảo Lý Sơn
• Cà phê hòa tan ở Việt Nam
• Tạp chí khoa học
• Bài báo khoa học
• Giải pháp xây dựng tạp chí khoa học
• Tiếu chí tạp chí khoa học theo tiêu chuẩn quốc tế
• Tiêu chuẩn quốc tế về tạp chí khoa học
• Phân loại tạp chí khoa học
• Phân loại tạp chí
• Mã số quốc tế
• Trang điện tử của tạp chí và sách
• Hội nhập quốc tế
• Các tạp chí khoa học ở Việt Nam
• Hội nhập quốc tế của các tạp chí
• Thực trạng hội nhập quốc tế tạp chí
• Tạp chí Khoa học Công nghệ Việt Nam
• Tổng mục lục tạp chí
• Tạp chí thông tin Khoa học xã hội
• Khoa học xã hội
• Tổng hợp tạp chí Khoa học xã hội 2016
• Tạp chí nghiên cứu và không gian khoa học
• Tạp chí nghiên cứu
• Không gian khoa học
• Nghiên cứu khoa học
• Đề tài nghiên cứu khoa học cấp trường
• Hệ thống phân loại tạp chí
• Tạp chí ISI
• Quản lý hoạt động của tạp chí
• Tạp chí Kinh tế đối ngoại
• Quản lý báo chí
• Hoạt động quản lý tạp chí khoa học
• Báo cáo luật sửa đổi bổ sung
• Báo cáo khoa học luật
• Báo cáo nghiên cứu khoa học
• Tạp chí khoa học luật
• Phát triển Học viện Ngân hàng
• Tạp chí Khoa học và Đào tạo Ngân hàng
• Thông tin Khoa học Ngân hàng
• Nâng cao chất lượng tạp chí
• Tạp chí khoa học và công nghệ số 4
• Tạp chí khoa học và công nghệ năm 2014
• Cấu trúc giếng lượng tử silicon
• Công thức khai triển nghiệm đa thức
• Cấu trúc giếng lượng tử
• Tiêu chuẩn quốc tế của tạp chí khoa học
• Tiêu chuẩn quốc tế của tạp chí
• Tiêu chuẩn quốc tế
• Viện Thông tin khoa học Mỹ
• Cơ sở dữ liệu
• Khoa học xã hội Việt Nam
• Tạp chí Việt Nam
• Nâng cao chất lượng tạp chí khoa học xã hội
• Tạp chí Khoa học Kỹ thuật
• Quản lý Tạp chí Khoa học Kỹ thuật
• Khoa học Kỹ thuật Mỏ Địa chất
• Công nghệ thông tin quản lý tạp chí
• Hệ thống tiện ích của Internet
• Tự động hóa quy trình quản lý
• Tạp chí Khoa học kỹ thuật Thú y
• Kỹ thuật Thú y
• Tạp chí Khoa học kỹ thuật Thú y số 3
• Tạp chí Khoa học kỹ thuật Thú y năm 2019
• Dịch tả lợn châu Phi
• Vi khuẩn Escherichia coli trên giống vịt biển
• Tạp chí Nghiên cứu và Phát triển
• Khoa học Tập chí
• Tạp chí phổ biến khoa học đầu tiên
• Ban biên tập
• Cộng tác viên
• Khoa học và Công nghệ
• Khoa học kỹ thuật