TAILIEUCHUNG - Sổ tay ma sát và Nano P13

Muller, . “Microdynamic Systems in the Silicon Age” Handbook of Micro/Nanotribology. Ed. Bharat Bhushan Boca Raton: CRC Press LLC, 1999 © 1999 by CRC Press LLC Microdynamic Systems in the Silicon Age Richard S. Muller Introduction Origins 13 Micromachining Substrate Micromachining • Surface Micromachining • Polycrystalline Silicon Properties • Tribology in MEMS MEMS Structures and Systems MEMS Actuation Forces • MEMS for Microphotonics • Coupling Efficiency Berkeley Microphotonics Research Acknowledgments References ABSTRACT With the proven record of accomplishment in very large integrated circuits (VLSI) brought about by batch-fabrication technology for electronic devices of ever-decreasing size, there is widespread enthusiasm about emerging opportunities to design mixed micromechanical and microelectronic systems | Muller . Microdynamic Systems in the Silicon Age Handbook of Micro Nanotribology. Ed. Bharat Bhushan Boca Raton CRC Press LLC 1999 1999 by CRC Press LLC 13 Microdynamic Systems in the Silicon Age Richard S. Muller Introduction Origins Micromachining Substrate Micromachining Surface Micromachining Polycrystalline Silicon Properties Tribology in MEMS MEMS Structures and Systems MEMS Actuation Forces MEMS for Microphotonics Coupling Efficiency Berkeley Microphotonics Research Acknowledgments References ABSTRACT With the proven record of accomplishment in very large integrated circuits VLSI brought about by batch-fabrication technology for electronic devices of ever-decreasing size there is widespread enthusiasm about emerging opportunities to design mixed micromechanical and microelectronic systems. New development based heavily on integrated-circuit-related technologies have led to rapid progress in the development of microdynamic systems. These systems are based upon the science technology and design of moving micromechanical devices and are a subclass of what is known in the . as microelectromechanical systems MEMS . The dimensions of the micromechanical devices in MEMS are typically smaller than 100 pm. Recent rapid progress gives promise for new designs of integrated sensors actuators and other devices that can be combined with on-chip microcircuits to make possible high-performing compact portable low-cost engineering systems. Mechanical materials for some of the microdynamic systems that have thus far been demonstrated consist of deposited thin films of polycrystalline silicon silicon nitride aluminum polyimide and tungsten among other materials. To make mechanical elements using thin-film processing microstructures are freed from the substrate by etching a sacrificial layer of silicon dioxide. First demonstrated as a means to produce electrostatically driven doubly supported beam bridges this sacrificial-layer technology has proved .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• Ma sát
• sức bền vật liệu
• công nghệ nano
• hao mòn kim loại
• kim loai dẻo
• Bài giảng Lực ma sát
• Lực ma sát
• Định nghĩa lực ma sát
• Đặc điểm lực ma sát
• Lực ma sát trượt
• Lực ma sát lăn
• Phân loại ma sát
• Hệ số ma sát
• Ứng dụng ma sát
• Giảm ma sát
• Ma sát lăn
• Ma sát học
• Tài liệu Ma sát học
• Giới thiệu về ma sát
• Phân tích ma sát
• Quá trình ma sát
• Thành phần cơ bản của ma sát
• Giáo trình ma sát học
• Ebook ma sát học
• Kỹ thuật ma sát học
• Lý thuyết ma sát
• Giáo trình kỹ thuật ma sát
• tài liệu học đại học
• Nguyên lý máy
• Ma sát trượt
• giáo án vật lý
• tác hại của ma sát
• tính lực ma sát
• giảm lực ma sát
• Bài giảng Cơ học kỹ thuật
• Cơ học kỹ thuật
• Ma sát trượt khô
• Ma sát Coulomb
• Ma sát giữa dây đai và đai
• Tìm hiểu về ma sát
• Bài giảng Chi tiết máy
• Chi tiết máy
• Các vấn đề về ma sát
• Hiện tượng ma sát
• Lợi ích của ma sát
• Định luật Coulomb
• Bài giảng Ma sát học
• máy và ma sát học
• lịch sử phát triển ngành Tribology
• chất lượng bề mặt ma sát
• tiếp xúc của bề mặt ma sát
• Kỹ thuật bôi trơn
• Bôi trơn khí
• Tính ma sát
• Ma sát ướt
• Mòn cặp ma sát
• bộ truyền bánh ma sát
• bài giảng truyền động
• truyền động bánh ma sát
• giáo trình cơ khí
• động cơ
• chế tạo máy
• bánh ma sát trục
• Chất lượng bề mặt tiếp xúc
• Ma sát ngoài
• Bề mặt ma sát
• Mòn vật liệu
• Tính mòn khớp ma sát
• Máy đo ma sát
• lí thuyết về ma sát
• Ghép nối máy tính
• kỹ thuật cơ điện tử
• Nguyên nhân ma sát
• Lực ma sát tĩnh
• Chuyển động tịnh tiến
• Chất lượng bề mặt
• Cặp ma sát
• Độ tin cậy
• Tuổi thọ chi tiết máy
• Hệ thống lái trợ lực thủy lực
• Mô hình ma sát LuGre
• Mô hình ma sát LuGre sửa đổi
• Mô hình ma sát ở trạng thái ổn định
• Đặc tính ma sát ở trạng thái ổn định
• Chế tạo máy xác định đặc tính ma sát
• Chế tạo máy xác định
• Đặc tính ma sát
• Máy kiểm tra ma sát – mòn
• Tốc độ mòn
• Mô hình Chốt trên Đĩa
• Mô hình mài mòn
• Ma sát mòn bôi trơn
• Cảm biến lực
• Kết nối Bluetooth
• Vi điều khiển Arduino
• Lực ma sát nghỉ
• Giáo trình
• giáo án
• giáo dục đào tạo
• giọt chất treo lơ lửng
• hiện tượng lực ma sát
• các hiện tượng vật lý
• tài liệu về lực ma sát
• tính toán ma sát
• khớp động
• tính toán hiệu suất
• cơ cấu và máy