TAILIEUCHUNG - Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian (Thanh Huyền)

Cảm biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở silicon, được phát triển để đo từ 20Bar tới trên 1000Bar cho những ứng dụng chuyển động trong không gian. Phần tử silicon có dạng ống với vị trí ngoài và cầu điện trở được mở rộng với tính ổn định cao để phát hiện áp suất do ứng suất mang lại, đã được xây dựng bởi chuẩn công nghệ silicon phẳng và quá trình riêng MEMs, như là liên kết nóng chảy silicon và thuật khắc điện tử. | THÉ GIỚI CẦM BIỂN Cảm biến áp suất MEM s Silicon cho không gian Cám biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở Silicon được phát triển để đo từ 20Bar tới trên lOOOBar cho những ứng dụng chuyển động trong không gian. Phần tử Silicon có dạng ống với vị trí ngoài và cầu điện trở được mở rộng với tính ổn định cao để phát hiện áp suãt do ứng suất mang lại đã được xây dựng bởi chuẩn công nghệ Silicon phẳng và quá trình riêng MEMs như là liên kết nóng cháy Silicon và thuật khắc điện tử. Cảm biến trên có triển vọng ứng dụng trong lĩnh vực gia công thô. Ưu điếm cúa nó là có sự khác biệt các thuộc tính quan trọng như kích thước và khoảng cách nhỏ mức độ cứng cùa kim loại trục đối xứng tín hiệu đầu ra lớn đáp ứng nhiệt độ và áp suất nhanh nhạy gia tốc thấp. Hiệu ứng trễ cũng đã được giảm thiểu bằng cách loại bỏ vỏ gây ra ứng suất bởi khoảng cách lớn giữa vùng cám nhận và vùng chết hoàn toàn chính xác trong phạm vi áp suất 700bar và dái nhiệt độ từ -70C tới 1350C là hơn 0 01 FS. Đặc điểm trễ và lặp lại được đo tới 10 ppm. 1. Giới thiệu. Nhà sản xuất Presens tập trung chính vào công nghiệp hoá phù hợp cho những ứng dụng cho áp suất trung bình và cao như áp suất dầu và gas có yêu cầu về độ chính xác ổn định lâu dài và khử độ rung. 2. Công nghệ Silicon Nguyên tắc đo lường được khai thác bởi Presens bao gồm sự hợp nhất cầu điện trở bên ngoài trên một cấu trúc Silicon dạng ống. Cho một õng thẳng ứng suất theo hướng ngang sẽ cao gấp đôi hướng trục sự khác biệt ứng suất giữa hai phương sẽ tương ứng với áp suất và có thế được đo lường bởi áp điện trở cúa cầu điện trở. Khi tác dụng áp lực bên ngoài đến phần tử ống là đế đo ứng suất nén luôn chống lại những áp lực gây hư hại. Phần tử càm biến được chế tạo bởi tiêu chuấn công nghệ mặt phẳng Silicon và tiêu chuẩn quá trình gia công kích thước nhỏ giống như hỗn hợp liên kết Silicon và khắc điện hoá. Cầu điện trở được chẽ tạo bởi một lớp epitaxial Silicon và kết nối điện với chuẩn lớp nhôm. Hình dạng mặt cắt của điện trở phố biến áp điện .

• Điện - Điện tử
• Hệ thống điện
• Cung cấp điện
• Công nghệ điện
• Tự động hóa điện
• Cảm biến áp suất MEMS silicon
• Cảm biến áp suất
• Bài giảng hệ thống điện
• Quá độ trong hệ thống điện
• Mô phỏng hệ thống điện
• Khái niệm hệ thống điện
• Bài toán hệ thống điện
• Điện tử trên ô tô hiện đại
• Hệ thống điện động cơ
• Hệ thống cung cấp điện
• Hệ thống điều khiển động cơ
• Chẩn đoán hệ thống điện xe mô tô
• Sửa chữa hệ thống điện xe mô tô
• Hệ thống điện xe mô tô đời mới
• Hệ thống đánh lửa
• Hệ thống phun nhiên liệu
• Xử lý sự cố trên các hệ thống điện
• Sơ đồ hệ thống điện
• Ổn định hệ thống điện
• hướng dẫn Ổn định hệ thống điện
• phương pháp Ổn định hệ thống điện
• cẩm nang Ổn định hệ thống điện
• tài liệu Ổn định hệ thống điện
• kỹ thuật Ổn định hệ thống điện
• Thiết kế hệ thống cơ điện tử
• Câu hỏi Thiết kế hệ thống cơ điện tử
• Đề Thiết kế hệ thống cơ điện tử số 5
• Bài tập Thiết kế hệ thống cơ điện tử
• Luyện thi Thiết kế hệ thống cơ điện tử
• Ôn tập Thiết kế hệ thống cơ điện tử
• Đề thi Thiết kế hệ thống cơ điện tử
• Đồ án tốt nghiệp
• tìm hiểu hệ thống cung cấp điện
• xây dựng hệ thống cung cấp điện
• thiết kế hệ thống cung cấp điện
• vận hành hệ thống cung cấp điện
• Tổng quan hệ thống điện
• Ý nghĩa đặc điểm của hệ thống điện
• Đặc điểm hệ thống điện
• Bài toán trong hệ thống điện
• Hệ thống đăng ký điện tử
• Tổng quan Hệ thống đăng ký điện tử
• Khái niệm hệ thống đăng ký điện tử
• Hiện trạng hệ thống đăng ký điện tử
• Cách sử dụng hệ thống đăng ký điện tử
• Hệ thống đăng ký điện tử Việt Nam
• Bài giảng Vận hành hệ thống điện
• Quản lý – Vận hành hệ thống điện
• Cấu trúc của hệ thống điện
• Chế độ làm việc của hệ thống điện
• Điều độ hệ thống điện
• Chuyên đề Hệ thống điện
• Môn học Phân tích hệ thống điện
• Điều khiển hệ thống điện
• Ôn định hệ thống điện
• Ôn thi về hệ thống điện
• Vận hành hệ thống điện
• Giới thiệu chung hệ thống điện
• Nhiệm vụ vận hành hệ thống điện
• Nâng cao độ tin cậy hệ thống điện
• Độ tin cậy hệ thống điện
• Điều khiển điện áp
• Điện áp trong hệ thống điện
• Bài giảng Kinh tế vận hành hệ thống
• Kinh tế vận hành hệ thống
• Phân loại hệ thống năng lượng
• Ưu điểm của hệ thống điện
• Nhược điểm hệ thống điện độc quyền
• Hệ thống điện Việt Nam
• Phụ tải hệ thống điện
• Chất lượng điện năng
• Điều chỉnh tần số điện
• Kỹ thuật điện
• Đề cương Hệ thống điện thân xe
• Hệ thống điện thân xe
• Tài liệu Hệ thống điện thân xe
• Bài tập Hệ thống điện thân xe
• Hệ thống thân xe
• Bài giảng Phân tích thiết kế hệ thống TMĐT
• Phân tích thiết kế hệ thống thương mại điện tử
• Hệ thống thương mại điện tử
• Nguyên tắc phát triển hệ thống thương mại điện tử
• Thiết kế hệ thống thương mại điện tử
• Dự án phát triển hệ thống thương mại điện tử
• Giáo trình Lắp đặt vận hành hệ thống điện công nghiệp
• Lắp đặt hệ thống điện công nghiệp
• Vận hành hệ thống điện công nghiệp
• Điện công nghiệp
• Lắp đặt điều khiển hệ thống băng tải
• Lắp đặt điều khiển hệ thống trộn dung dịch
• Lắp đặt điều khiển hệ thống máy dập tự động
• Bộ môn Hệ thống điện
• Phòng thí nghiệm điện
• Thí nghiệm hệ thống điện
• Tác động dòng điện
• Luận văn Thạc sĩ Khoa học
• Đo lường và các hệ thống điều khiển
• Nhà máy điện Phả Lại I
• Hệ thống IIT
• Dây chuyền sản xuất điện
• Hệ thống CAMAC
• Hệ thống SCADA
• Hệ thống DCS
• Hệ thống ABB DEMO SYSTEM FREELANCE 800F
• Hệ thống điều khiển mức nước bao hơi
• Quá điện áp
• Bài giảng Quá điện áp
• Bài giảng Quá điện áp hệ thống điện
• Quá điện áp trong hệ thống điện
• Bảo trì hệ thống điện
• Bảo trì hệ thống điện trong công nghiệp
• Động cơ điện
• Cấu trúc vận hành hệ thống điện
• Hệ thống điện tự động
• Hệ thống phun xăng điện tử
• Cấu tạo hệ thống phun xăng điện tử
• Phân loại hệ thống phun xăng điện tử
• Tìm hiểu hệ thống phun xăng điện tử
• Tài liệu hệ thống phun xăng điện tử
• Phun xăng điện tử