TAILIEUCHUNG - Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 5

Mật độ tổ hợp của bóng bán dẫn đã tăng lên nhanh chóng đặc biệt với sự hỗ trợ của của công nghệ chân không, cơ khí chính xác, quang học, ngành công nghệ vi điện tử vẫn là ngành công nghệ làm thay đổi thế giới. | Vật liệu khổiđầu co thể la cát hoặc một khoang chát cua Si. Một lo hồ quang điện nong cháy được dung để tao ra Silic co độ sạch cáp luyện kim metallurgical grade silicon MGS độ sach khoang 98 . Cac hat MGS được đưa vao lo phan ưng long vỢi một khí tai chưa hydrochloric acid để chuyển MGS thanh cac khí chưa Si như silane va chlorosilane. Cac khí được tach va lam sach qua một day cac bộ tach va chưng cát. co hai phượng phap chính để tao ra Si sach cáp độ điện tư electronic grade 33 EGS . Một phương phap bao gồm sự phu Si từ khí chứa Si lên trên một ống Si nong ống Si nong tao ra các vị trí kích cơ nguyên tứ . Ồng Si lơn rát nhanh đên đương kính 20 cm. Nêu dung khí trichlorosilane thì phan ứng xay ra như sau SiHCl3 gas H2 gas Si solid 3HCl gas Phương phap thứ hai co nhiêu ứu điêm hơn sứ dung phan ứng trong bê long. Trong đo khí chứa Si va cac hat mầm Si tinh khiêt đứơc nuối. Si EGS co cầu truc đa tinh thê va chứa tap chầt co nống độ trong khoang ppm nho hơn 20 ppm . Tiêp theo Si EGS se đứơc cho nong chay đê nuối thanh thoi đơn tinh thê . co 3 phứơng phap chính đê nuối thoi đơn tinh thê tứ Si EGS. Phứơng phap đứơc sứ dung rống rai nhầt la ky thuầt Czochralski. Trong phứơng phap nay mốt hat đơn tinh thê mầm nho đứơc nhung trong EGS nong chay va tinh thê mầm se đứơc keo gradual sao cho thoi đơn tinh thê đứơc co đứơng kính 15 cm đứơc hình thanh tứ qua trình lam nguối. Mốt phứơng phap khac la phứơng phap nong chay vung. Trong phứơng phap nay mốt thoi Si đặt theo phứơng thẳng đứng đứơc lam nong chay cuc bố tứ dứơi lên sứ dung lo cuc bố quet tứ dứơi lên chẳng han lo vi song . Vung nong chay đứơc tai tinh thê hoa nhơ cac tinh thê mầm. Phứơng phap thứ ba la phứơng phap Bridgeman đứơc dung chu yêu cho GaAs. Trong đo vầt liêu đa tinh 34 thể được lam nong chảy dọc theo một thuyền hẹp dài nhợ lo quét dọc. Va âược lảm nguội tư một phía co gắn vỢi tinh thể mầm. Quả trình nuội âợn tinh thể co hai muc tiểu. Một lả chuyển cầu trUc đa tinh thể thanh cầu truc âợn tinh thể . Hai la loai .

• Điện - Điện tử
• Bài giảng vi điện tử
• vi mạch điện tử
• đề cương vi xử lí
• kỹ thuật mạch điện tử
• giáo trình thiết kế điện
• Bài giảng Toán 2 Chương 5 bài 23
• Chu vi tam giác
• Chu vi tứ giác
• Cách tìm chu vi tam giác
• Bài giảng điện tử Toán 2
• Bài giảng điện tử lớp 2
• Bài giảng điện tử
• Bài giảng Ví thanh toán điện tử
• Ví thanh toán điện tử
• Tài khoản điện tử
• Công cụ thanh toán điện tử
• Xây dựng ví thanh toán điện tử
• Ví điện tử
• Bài giảng Pháp luật thương mại điện tử
• Pháp luật thương mại điện tử
• Giải quyết tranh chấp trong thương mại điện tử
• Vi phạm pháp luật trong thương mại điện tử
• Phương thức giải quyết tranh chấp thương mại điện tử
• Phòng ngừa vi phạm pháp luật trong thương mại điện tử
• Bài giảng Toán 3 Chương 2 bài 35
• Chu vi hình chữ nhật
• Công thức tính chu vi hình chữ nhật
• Cách tính chu vi hình chữ nhật
• Bài giảng điện tử Toán 3
• Bài giảng điện tử lớp 3
• Bài giảng Toán 3 Chương 2 bài 36
• Chu vi hình vuông
• Công thức tính chu vi hình vuông
• Cách tính chu vi hình vuông
• Bài giảng Sinh học 6 bài 50
• Bài giảng điện tử Sinh học 6
• Bài giảng điện tử lớp 6
• Bài giảng lớp 6 Sinh học
• Hình dạng của vi khuẩn
• Kích thước của vi khuẩn
• Cấu tạo của vi khuẩn
• Bài giảng Vật lý 7 Bài 24
• Cường độ dòng điện
• Tác dụng dòng điện
• Đơn vị Am pe kế
• Đơn vị cường độ dòng điện
• Bài giảng điện tử Vật lý 7
• Bài giảng điện tử lớp 7
• Thương mại điện tử
• Tranh chấp thương mại điện tử
• Giải quyết tranh chấp thương mại điện tử
• Vi phạm pháp luật thương mại điện tử
• Bài giảng Vật lý 11 Bài 6
• Bài giảng điện tử Vật lý 11
• Bài giảng điện tử lớp 11
• Bài 6 Tụ điện
• Cấu tạo của tụ điện
• Đơn vị điện dung
• Ý nghĩa điện dung
• Bài giảng Thanh toán điện tử
• Thanh toán điện tử
• Hệ thống thanh toán ví điện tử
• Quy trình thanh toán ví điện tử
• Phân loại ví điện tử
• các vi mạch số
• Giáo trình vi xử lý
• kỹ thuật điện điện tử
• tài liệu điện tử viễn thông
• bài giảng vi xử lý
• điện tử số
• công nghệ điện tử
• tài liệu mạch điện tử
• Bài giảng Sinh học 6 bài 5
• Bài giảng môn Sinh học lớp 6
• Kính hiển vi và cách sử dụng
• Kính lúp và kính hiển vi
• Các bước sử dụng kính hiển vi
• Công nghệ vi điện tử
• Giáo trình Công nghệ vi điện tử
• Bài giảng Công nghệ vi điện tử
• Mạch tính hợp
• Đặc tính linh kiện MOS
• Công nghệ xử lý CMOS
• Bài giảng Sinh học 10 bài 26
• Bài giảng điện tử Sinh học 10
• Bài giảng điện tử lớp 10
• Bài giảng lớp 10 Sinh học
• Sinh sản của vi sinh vật
• Sinh trưởng của vi sinh vật
• Sinh sản ở vi sinh vật nhân sơ
• Bài giảng Tiếng việt 4 Tuần 13
• Tập đọc Người tìm đường lên các vì sao
• Người tìm đường lên các vì sao
• Tập viết Người tìm đường lên các vì sao
• Bài giảng điện tử Tiếng việt 4
• Bài giảng điện tử lớp 4
• Bài giảng Toán 3 Chương 3 bài 4
• So sánh số trong phạm vi 10000
• Đọc các số trong phạm vi 10000
• So sánh các số tự nhiên
• Bài giảng Toán 3 Chương 4 bài 3
• So sánh số trong phạm vi 100000
• Đọc các số trong phạm vi 100000
• Bài giảng Toán 1 chương 2 bài 17
• Bài giảng điện tử Toán 1
• Bài giảng Toán lớp 1
• Bài giảng điện tử lớp 1
• Bảng cộng và bảng trừ trong phạm vi 10
• Bảng cộng trong phạm vi 10
• Bảng trừ trong phạm vi 10
• giáo trình mạch điện tử
• vi điều khiển
• hệ thống vi xử
• lập trình hợp ngữ
• Bài giảng Linh kiện điện tử
• Linh kiện điện tử
• Vi mạch tích hợp
• Phân loại vi mạch tích hợp
• Phương pháp chế tạo vi mạch tích hợp
• Chế tạo vi mạch tích hợp bán dẫn
• Vi mạch tuyến tính
• hệ thống điện
• mạch điện ứng dụng
• điện tử công suất
• Trường điện từ
• tài liệu môn điện
• giáo trình điện tử