TAILIEUCHUNG - Introduction To Microelectromechanical System P2

An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering The Sandbox: Materials for M E M S devices are made of n-type and p-type bismuth telluride elements, and are used to cool high-performance microprocessors, laser diodes, and infrared sensors. Peltier devices have proven difficult to implement as micromachined thin film structures. In the Seebeck effect, named for the scientist who made the discovery in 1822, a temperature gradient across an element gives rise to a measurable electric field that tends to oppose the charge flow (or electric current) resulting from the temperature imbalance. The measured voltage is, to first order, proportional to the temperature difference,. | 36 An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering devices are made of -type and p-type bismuth telluride elements and are used to cool high-performance microprocessors laser diodes and infrared sensors. Peltier devices have proven difficult to implement as micromachined thin film structures. In the Seebeck effect named for the scientist who made the discovery in 1822 a temperature gradient across an element gives rise to a measurable electric field that tends to oppose the charge flow or electric current resulting from the temperature imbalance. The measured voltage is to first order proportional to the temperature difference with the proportionality constant known as the Seebeck coefficient. While in theory a single material is sufficient to measure temperature in practice thermocouples employ a junction of two dissimilar materials. The measurable voltage at the leads AV is the sum of voltages across both legs of the thermocouple Figure . Therefore AV 71 Tcold Thot 72 Thot Tcold 72 Ql Thot Tcold where at and a2 are the Seebeck coefficients of materials 1 and 2 and Thot and Tcoid are the temperatures of the hot and cold sides of the thermocouple respectively. Alternately one may use this effect to generate electrical power by maintaining a temperature difference across a junction Table . Hot Material 1 Material 2 Cold a Figure The basic structure of a thermocouple using the Seebeck effect. The measured voltage is proportional to the difference in temperature. Thermocouples can be readily implemented on silicon substrates using combinations of thin metal films or polysilicon. The Sandbox Materials for MEMS 37 Table The Seebeck Coefficients Relative to Platinum for Selected Metals and for n- and -Type Polysilicon. zV K UV K Bi Ag Ni Cu Pa Zn Pt 0 Au Ta W Al Mo Sn n-poly 30 Q 0 -100 Mg n-poly 2600 Q 0 -450 Ir p-poly 400 Q 0 270 The sheet resistance is given for the .

• Tự động hoá
• Tự động hóa
• Năng lượng
• Cơ khí chế tạo máy
• Điện – điện tử
• Kiến trúc xây dựng
• Bài giảng Tự động hóa
• Tự động hóa quá trình sản xuất
• Tự động hóa quá trình lắp ráp
• Định vị chi tiết
• Lắp ráp tự động
• Xác định chế độ lắp ráp tự động
• Ứng dụng Robot trong lắp ráp tự động
• tự động hóa trong xây dựng
• giáo trình tự động hóa trong xây dựng
• bài giảng tự động hóa trong xây dựng
• tài liệu tự động hóa trong xây dựng
• lý thuyết tự động hóa trong xây dựng
• hệ thống tự động hóa trong xây dựng
• Giáo trình Tự động hóa
• Tự động hóa trong hệ thống điện
• Tài liệu tự động hóa
• Tìm hiểu tự động hóa hệ thống điện
• Khái niệm tự động hóa
• Lịch sử tự động hóa
• Sửa chữa thiết bị tự động hóa
• Thiết bị tự động hóa
• Giáo trình Lắp đặt thiết bị đo lường tự động hóa
• Lắp đặt thiết bị đo lường tự động hóa
• Thiết bị đo lường tự động hóa
• Dầu bôi trơn
• đề cương tự động hóa
• phương pháp tự động hóa
• Hệ thống tự động hóa
• Tự động hóa trong quá trình sản xuất
• Hệ thống điều khiển tự động
• Tự động hóa quá trình cắt phôi
• Tự động hóa quá trình kiểm tra
• Tự động điều khiển máy móc
• Tự động hóa quá trình công nghệ
• Lý thuyết điều khiển tự động
• Hệ thống rửa xe tự động
• Đồ án tự động hóa
• Hệ thống tự động
• Kiểm tra tự động
• Thiết bị phân loại tự động
• Hệ thống sản xuất tự động hóa
• lập trình tự động hóa
• tài liệu lập trình tự động hóa
• hướng dẫn lập trình tự động hóa
• phương pháp lập trình tự động hóa
• kinh nghiệm lập trình tự động hóa