TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt loại n SnO2 pha tạp Ta trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC

Bài viết này tập trung nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt SnO2 pha tạp Ta (TTO) đƣợc lắng đọng ở các nhiệt độ đế khác nhau. Màng TTO đƣợc lắng đọng trên đế thạch anh bằng phƣơng pháp phún xạ magnetron DC. Cấu trúc tinh thể và tính chất quang và điện của màng đƣợc khảo sát bằng giản đồ nhiễu xạ tia X, phổ truyền qua Uv-Vis và phép đo Hall. Mời các bạn cùng tham khảo! | Tạp chí Khoa học và Công nghệ Số 43B 2020 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT LOẠI n SnO2 PHA TẠP Ta TRÊN ĐẾ THẠCH ANH BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC NGÔ NGỌC HƢNG1 ĐẶNG HỮU PHÚC1 NGUYỄN THỊ MỸ HẠNH2 LÊ TRẤN3 TRẦN BÍCH THỦY 1 Khoa Khoa học Cơ bản trường Đại học Công nghiệp TP. HCM 2 Khoa cơ khí trường Đại học Công nghiệp TP. HCM 3 Khoa vật lý-vật lý kỹ thuật trường Đại học Khoa học tự nhiên danghuuphuc@ Tóm tắt. Công trình này tập trung nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt SnO 2 pha tạp Ta TTO đƣợc lắng đọng ở các nhiệt độ đế khác nhau. Màng TTO đƣợc lắng đọng trên đế thạch anh bằng phƣơng pháp phún xạ magnetron DC. Cấu trúc tinh thể và tính chất quang và điện của màng đƣợc khảo sát bằng giản đồ nhiễu xạ tia X phổ truyền qua Uv-Vis và phép đo Hall. Kết quả cho thấy màng có cấu trúc tứ giác rutile của SnO2 đa tinh thể với mặt ƣu tiên SnO2 101 . Màng đạt giá trị điện trở suất thấp nhất ở điều kiện tối ƣu ở 300oC là 4 50 x 10 -3 cm với nồng độ hạt tải và độ linh động lần lƣợt là 5 51 x 10 20 cm-3 3 08 cm2V-1s-1 đồng thời độ truyền qua trung bình của màng trong vùng khả kiến trên 80 . Đặc trƣng I-V của tiếp xúc dị thể n-TTO p-Si đƣợc khảo sát ở điều kiện đƣợc chiếu sáng và không chiếu sáng. Từ khóa. màng loại n SnO2 Ta phún xạ magnetron DC X-ray Hall I-V. STUDYING FABRICATING AND INVESTIGATING THE INFLUENCE OF DOPANTS ON ELECTRICAL AND OPTICAL PROPERTIES OF SnO 2 In TIO AND SnO2 Zn ZTO PREPARED BY DC MAGNETRON SPUTTERING Abstract. This report focuses on studying and fabricating Ta-doped SnO2 TTO films following various depositing temperatures. TTO films were deposited on quartz glass substrates using a direct current DC magnetron sputtering method. Structure and opto-electrical properties were investigated by X-ray patterns Uv-Vis spectra and Hall measurement. These results show a tetragonal rutile structure of the SnO2 in which the preferred 101 was dominant. The best conductivity of TTO film was achieved at the optimum .

• Vật lý
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ
• Vật lý kỹ thuật
• Chế tạo màng dẫn điện trong suốt
• Phương pháp phún xạ Magnetron DC
• Thiết bị quang điện
• Phương pháp chế tạo màng SnO2
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam
• Tạp chí Khoa học
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam năm 2020
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 3B
• Địa tầng và địa mạo đảo Lý Sơn
• Cà phê hòa tan ở Việt Nam
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 1+2A
• Startup Việt Nam
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 3A
• Ứng dụng tế bào gốc
• Dữ liệu ảnh Landsat đa thời gian
• Tạp chí khoa học và công nghệ số 4
• Tạp chí khoa học và công nghệ năm 2014
• Cấu trúc giếng lượng tử silicon
• Công thức khai triển nghiệm đa thức
• Cấu trúc giếng lượng tử
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 5B
• Biểu hiện mRNA của gen
• Mô bệnh học u lympho ác tính
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 10A
• Nhựa phân hủy sinh học
• Phát triển kinh tế xanh
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 6B
• Đánh giá lượng phát thải khí CH4
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 4A
• Nguồn gen bản địa quý hiếm
• Vắc xin phòng bệnh cúm A/H5N1
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 4B
• Thương mại biên giới của Việt Nam
• Hiệu quả tài chính
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 6A
• Phát triển sản phẩm quốc gia
• Cô đặc cao dược liệu
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 7A
• Chuỗi cung ứng toàn cầu
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 7B
• Khả năng kháng nấm Candida albicans
• Tổn thương phân tử DNA ở pha G2
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 2B
• Chuyển phôi bệnh teo cơ tủy
• Tài chính của doanh nghiệp
• Bất động sản Việt Nam
• Nông nghiệp ở Việt Nam
• Di sản ở Tây Nguyên
• Khởi nghiệp sáng tạo
• Phát triển kinh tế sau Covid 19
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 8B
• Nền kinh tế thu nhập cao
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 9A
• Xây dựng nông thôn mới
• Báo cáo khoa học và công nghệ
• Nghiên cứu khoa học và công nghệ
• Nghiên cứu khoa học
• Tạp chí công nghệ Việt Nam
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam năm 2018
• Tần số tim và huyết áp sau nhĩ
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam năm 2019
• Điều trị nhổ rễ thần kinh
• Công thức gel nhũ tương dầu dừa
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam năm 2017
• Công nghiệp ô tô Việt Nam
• Phân tích pentaclophenol
• Xử lý axit perflooctanoic
• Điều trị ung thư đại trực tràng
• Xương hàm mặt không chỉnh nha