TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu ảnh hưởng của tải trọng nhỏ đến hệ số ma sát của cặp vật liệu Silic - Silic dùng trong hệ thống vi cơ điện tử

Mục tiêu nghiên cứu của bài viết này là đề xuất quy trình thí nghiệm xác định ảnh hưởng của tải trọng nhỏ tới hệ số ma sát của cặp vật liệu silic-silic bằng mô hình dạng chốt trên đĩa. | 044-048 1 1 2 1 - 2 - -11- -02-2017 Bài báo quy trình thí silic 3 còn c 2 SiO2 2 SiO2 cho T n . Abstract The paper proposes the experimental process to determine the impact of low load to frictional coefficient of silicon silicon couple by pin on disk model. The first experiment was performed with ranging of contact load from 2 mN to 30 mN. The coefficient of friction COF of Si Si couple varies from 0 15 to 0 16 and are considered to be constant and the COF of SiO2 SiO2 couple decreases from 0 35 to 0 24. When increasing the surface roughness the COF of SiO2 SiO2 couple changes from 0 15 to 0 30. Consequently the impact of surface force on frictional properties of materials have to be involved during the prediction of the frictional behavior of materials. The impact of surface roughness and different frictional behaviors of silicon between low and normal load are also mentioned in the second experiment. Keywords Micro-tribology Low load Coefficient of friction Silicon material 1 044-048 2 -3 và mô hình -3 i u ki n thí nghi m 2 044-048 2 o o 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 Fz o 044-048 2 . N 2 2 2 2 2 2 2 2 o 2 044-048 science engineering manufacturability and reliability. Acta Mater. 51 2003 5837 5866. 2 . B. Bhushan and S. Sundararajan Micro nano scale Tribology of MEMS Materials Lubricants and Devices. Springer 2001 . 3 . Yifeng Lu and Pengfei Gao Friction Measurement and lubrication in Rotatry Silicon MEMS Device. Chinese Academy of Sciences 2011. 4 . Bhushan B. Handbook of Micro Nanotribology. CRC Press LLC 1999. 5 . Mathew Mate C. Tribology on the small scale - A bottom up approach to friction lubrication and wear New York USA Oxford University Press 2008. 6 . Kaneko R. Microtribology today and tomorrow. 2 2 Wear 168 1993 1-5. 2 2 7 . Bhushan B. and . Kulkarni Effect of normal load on microscale friction measurements. Thin solid Films 278 1996 49-56. 2 2 8 . Rusu F. et al. Analysis of the surface effects on 2 2 adhesion in MEMS structures. Applied Surface .

• Điện - Điện tử
• Ảnh hưởng của tải trọng
• Hệ số ma sát của vật liệu Silic
• Vật liệu Silic Silic
• Hệ thống vi cơ điện tử
• Dự đoán ứng xử ma sát của vật liệu
• Công trình nhà nhiều tầng bê tông cốt thép
• Giải pháp thiết kế
• Tải trọng động đất
• Tầng bê tông cốt thép chịu tải
• Tải trọng địa chấn
• Ảnh hưởng của độ sâu nước
• Tải trọng sóng trôi dạt
• Công trình biển nổi neo xiên
• Công trình nổi có neo giữ
• Tải trọng sóng bậc cao
• Lực sóng trôi dạt dây neo xiên
• Nghiên cứu đập vòm
• Xác định giới hạn đập vòm
• Ảnh hưởng của nền
• Tải trọng truyền đập vòm
• Độ cứng của nền
• Kích thước đập
• Mô hình lưới
• Cơ học phá hủy
• Bê tông sợi thép
• Mô phỏng tính toán độ thấm
• Tải trọng nổ
• Tải trọng nổ trong đất
• Công trình ngầm
• Kết cấu bê tông cốt thép
• Công nghệ xây dựng
• Phân tích ảnh hưởng của nhiệt
• Tải trọng nhiệt
• Ứng suất đập bê tông đầm lăn
• Quá trình thi công đập lăn
• Bê tông đầm lăn
• Thi công đập lăn
• Ma sát âm
• Sức chịu tải của cọc
• Tải trọng bề mặt
• Tải trọng bề mặt lớn
• Phương pháp xác định ma sát âm
• Tải trọng di động
• Liên kết đàn hồi
• Phần tử vỏ suy biến
• Kết cấu vỏ composite
• Phương trình dao động của ống CPS
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ Biển
• Công trình biển
• Tải trọng sóng và gió
• Phương pháp phần tử hữu hạn
• Phương pháp tích phân trực tiếp Newmark
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ
• Tải trọng động
• Biến dạng nhiệt
• Xử động học của dầm Timoshenko
• Ma trận độ cứng
• Liên kết nửa cứng
• Véc tơ tải trọng nút
• Phần tử thanh vát tiết diện chữ I
• Bài toán phân tích kết cấu
• Bơm thay đổi lưu lượng
• Bơm tự động điều chỉnh lưu lượng
• Mô hình hệ thống bơm LS
• Hệ thống điều khiển tự động thủy lực
• Cảm biến tải trọng LS
• Bài viết về kiến trúc
• Công trình xây dựng
• Cọc chịu tải trọng ngang
• Tiết diện cọc
• Mô hình chống giằng
• Mặt phẳng trung hòa
• Ma sát âm lên cọc trong đất yếu
• Tải trọng tác dụng
• Chiều cao đất đắp tôn nền
• Phương pháp Thống nhất của Fellenius
• Tạp chí Khoa học Công nghệ và Thực phẩm
• Tải trọng nitơ
• Hiệu quả khử nitơ
• Hệ thống bể sinh học màng
• Khử nitơ dị dưỡng
• Khử nitơ tự dưỡng
• Tải trọng thứ cấp
• Kết cấu cầu cong
• Nút giao thông
• Bê tông cốt thép
• Phần mềm Midas/Civil
• Bể chứa chất lỏng
• Tương tác đất nền kết cấu
• Biến dạng nền
• Chiều cao chất lỏng
• Ảnh hưởng của nổ mìn
• Cường độ của kết cấu bê tông
• Bê tông đang đông cứng
• Kết cấu bê tông
• Bê tông đông cứng
• Tải trọng nổ mìn
• Tạp chí Khoa học Kỹ thuật Mỏ Địa chất
• Khung nhà nhiều tầng
• Kích thước hình học
• Lý thuyết tương tự
• Hiệu ứng P delta
• Phân tích phi tuyến kết cấu
• Nhà cao tầng
• Phổ phản ứng
• Luận văn Thạc sĩ Khoa học
• Hệ thống truyền lực thủy cơ ô tô
• Hệ thống truyền lực
• Thông số kết cấu
• Truyền lực thủy tĩnh
• Luận văn Thạc sĩ
• Kỹ thuật xây dựng
• Công trình dân dụng
• Xây dựng công trình công nghiệp
• Sự phân phối tải trọng
• Móng bè cọc nhà cao tầng
• Đường ảnh hưởng chuyển vị
• Chẩn đoán vị trí hư hỏng
• Giảm mô đung đàn hồi
• Chịu tải trọng di động trên dầm
• Dầm bê tông cốt thép
• Luận văn Thạc sĩ Kỹ thuật cơ khí
• Hệ thống treo ô tô tải
• Kỹ thuật cơ khí
• Mặt đường quèc lé
• Hệ số tải trọng động bánh xe
• Hệ thống treo