Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Cơ khí - Chế tạo máy
Effect of temperature and time of baking phase on SU-8 PR film used as a hard mask for a deep lithography
TAILIEUCHUNG - Effect of temperature and time of baking phase on SU-8 PR film used as a hard mask for a deep lithography
The surface profile of Fresnel lens during the fabrication process depends on many factors including the thickness, flatness, and pattern clarity of a photoresist (PR) film used as a hard mask for the Si lithography. SU-8 PR with a high viscosity, which is capable of creating large thickness films, can be used as a hard mask in the Fresnel lens fabrication processes. However, it is not easy to achieve a film thickness of about 10 µm with the requirement of a flat surface, free of air bubbles after the baking phases. This paper presents the effect of temperature and baking time on the quality of SU-8 PR film. Accordingly, to achieve the required quality of PR film, a two-step baking phase was employed. The time and temperature for a soft-baking corresponds to 60 minutes and 60°C, respectively, while a post exposure baking (PEB) phase must be kept at 90°C for about one hour. The experimental results show that the defects including PR cracking, bubble problem on the PR layer are eliminated. Thus, these baking parameters are feasible for the application used a thick PR film as a hard mask in a deep lithography process. | Effect of temperature and time of baking phase on SU-8 PR film used as a hard mask for a deep lithography
Chiến Thắng
79
5
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Effect of temperature and time of baking phase on SU-8 PR film used as a hard mask for a deep lithography
5
65
1
Characterization of Spin Coated Polymers in Nano-environments as a Function of Film Thickness
1
36
0
Influence of spin fluctuation on the magnetic properties of euo ultra-thin film
6
77
0
An approach to determine the stable operating area for internal gear motors and pumps based on safe lubrication oil film thickness
7
54
0
The effect of content and thickness of chitosan thin films on resistive switching characteristics
8
29
1
Báo cáo sinh học: "Developing a theoretical relationship between electrical resistivity, temperature, and film thickness for conductors"
26
35
0
báo cáo hóa học:" Developing a theoretical relationship between electrical resistivity, temperature, and film thickness for conductors"
26
41
0
Báo cáo hóa học: " Developing a theoretical relationship between electrical resistivity, temperature, and film thickness for conductors"
26
51
0
Effect of annealing temperature on the structure of ZnO films
9
36
2
Film thickness
1
89
0
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
462080
59
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
23858
75
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
11130
537
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10376
458
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9656
106
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8664
1151
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8363
423
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7947
2250
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6992
260
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
6791
1614
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Cơ khí - Chế tạo máy
Film thickness
Baking temperature
Baking time
Hard mask for a deep lithography
Baking phase on SU 8 PR film
Polymer Synthesis
Film Polymers
Microwave Absorption
Hydrogel Films
Future Applications
Bulk Preparation
Communications in Physics
Influence of spin fluctuation
The magnetic properties
Euo ultra thin film
Neighbor exchange approximation
The EuO films thickness measured
Stable operating area
Minimum speed limit
Internal gear motor and pump
Lubrication oil film
Minimum oil lubrication
Thickness of chitosan thin films
Chitosan thin films
Resistive switching characteristics
FTIR spectra of chitosan powder
Thin film
báo cáo khoa học
báo cáo sinh học
công trình nghiên cứu về sinh học
tài liệu về sinh học
cách trình bày báo cáo
báo cáo hóa học
công trình nghiên cứu về hóa học
tài liệu về hóa học
ZnO films
Flower like structure
Porous structure
Particle like structure
kinh doanh
quản trị kinh doanh
quản trị doanh nghiệp
doanh nghiệp
quản trị nhân sự
cách cư xử
cách quản lý
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Giáo án mầm non chương trình đổi mới: Gia đình vui nhộn
4
357
1
02-07-2024
Đánh giá hao mòn và độ tin cậy của chi tiết và kết cấu trên đầu máy diezel part 3
12
386
1
02-07-2024
Bơm máy nén quạt trong công nghiệp part 8
20
232
3
02-07-2024
Báo cáo tốt nghiệp: Vận hành và bảo dưỡng trong MPLS
92
169
5
02-07-2024
Quy Trình Canh Tác Cây Bông Vải
8
130
0
02-07-2024
Báo cáo khoa học: " Principaux critères économiques de gestion des forêts : analyse critique et comparative"
29
108
0
02-07-2024
Bảng màu theo chữ cái – V
11
121
1
02-07-2024
Tổng hợp Đề thi học sinh giỏi môn Sinh lớp 9 cấp huyện vòng 1 năm 2010-2011
12
203
2
02-07-2024
báo cáo hóa học:" Quality of data collection in a large HIV observational clinic database in sub-Saharan Africa: implications for clinical research and audit of care"
7
129
2
02-07-2024
Báo cáo y học: "Aggrecanases and cartilage matrix degradation"
10
126
0
02-07-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7947
2250
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
6791
1614
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
4032
1303
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5725
1196
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8664
1151
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3656
667
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3849
601
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4420
548
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
11130
537
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4306
483
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.